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公开(公告)号：CN108109982A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201810053234.0
申请日：2013-03-27
申请人： 通用电气公司
IPC分类号： H01L23/488 , H01L23/31 , H01L23/48 , H01L23/522 , H01L23/538 , H01L21/56 , H05K1/02 , H05K1/18 , H05K3/46
CPC分类号： H01L23/5383 , H01L21/4857 , H01L21/561 , H01L23/3114 , H01L23/481 , H01L23/5226 , H01L23/5384 , H01L23/5386 , H01L23/5387 , H01L23/5389 , H01L24/19 , H01L24/24 , H01L24/25 , H01L25/105 , H01L2021/60 , H01L2224/04105 , H01L2224/12105 , H01L2224/24227 , H01L2224/32225 , H01L2224/73267 , H01L2224/92144 , H01L2224/92244 , H01L2225/1035 , H01L2225/1058 , H01L2924/10253 , H01L2924/10329 , H01L2924/12042 , H01L2924/14 , H01L2924/15311 , H01L2924/15313 , H01L2924/3511 , H05K1/0271 , H05K1/144 , H05K1/185 , H05K1/189 , H05K3/4602 , H05K3/4644 , H05K3/4661 , H05K3/467 , H05K3/4673 , H05K2201/0187 , H05K2201/0191 , H05K2201/09136 , H05K2201/10734 , H01L2924/00
摘要： 本公开涉及超薄包埋模模块及其制造方法。一种形成包埋模模块的方法包括提供初始柔性叠层和形成穿过该初始柔性叠层的模开口。借助于粘合剂材料将第一未切柔性叠层固连至初始柔性叠层的第一表面并且将模定位在初始柔性叠层的模开口内和粘合剂材料上。借助粘合剂材料将第二未切柔性叠层固连至初始柔性叠层的第二表面，并且使在第一未切柔性叠层与初始柔性叠层之间以及在第二未切柔性叠层与初始柔性叠层之间的粘合剂材料固化。在第一和第二未切柔性叠层中和其上形成多个通孔和金属互连部，其中金属互连部中的每一个都延伸穿过相应的通孔并被直接金属化至在初始柔性叠层上的金属互连部或模上的模垫。
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公开(公告)号：CN103367169B
公开(公告)日：2018-02-27
申请号：CN201310101675.0
申请日：2013-03-27
申请人： 通用电气公司
IPC分类号： H01L21/48 , H05K3/46 , H01L23/498 , H05K1/00
CPC分类号： H01L23/5383 , H01L21/4857 , H01L21/561 , H01L23/3114 , H01L23/481 , H01L23/5226 , H01L23/5384 , H01L23/5386 , H01L23/5387 , H01L23/5389 , H01L24/19 , H01L24/24 , H01L24/25 , H01L25/105 , H01L2021/60 , H01L2224/04105 , H01L2224/12105 , H01L2224/24227 , H01L2224/32225 , H01L2224/73267 , H01L2224/92144 , H01L2224/92244 , H01L2225/1035 , H01L2225/1058 , H01L2924/10253 , H01L2924/10329 , H01L2924/12042 , H01L2924/14 , H01L2924/15311 , H01L2924/15313 , H01L2924/3511 , H05K1/0271 , H05K1/144 , H05K1/185 , H05K1/189 , H05K3/4602 , H05K3/4644 , H05K3/4661 , H05K3/467 , H05K3/4673 , H05K2201/0187 , H05K2201/0191 , H05K2201/09136 , H05K2201/10734 , H01L2924/00
摘要： 本公开涉及超薄包埋模模块及其制造方法。一种形成包埋模模块的方法包括提供初始柔性叠层和形成穿过该初始柔性叠层的模开口。借助于粘合剂材料将第一未切柔性叠层固连至初始柔性叠层的第一表面并且将模定位在初始柔性叠层的模开口内和粘合剂材料上。借助粘合剂材料将第二未切柔性叠层固连至初始柔性叠层的第二表面，并且使在第一未切柔性叠层与初始柔性叠层之间以及在第二未切柔性叠层与初始柔性叠层之间的粘合剂材料固化。在第一和第二未切柔性叠层中和其上形成多个通孔和金属互连部，其中金属互连部中的每一个都延伸穿过相应的通孔并被直接金属化至在初始柔性叠层上的金属互连部或模上的模垫。
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公开(公告)号：CN103367169A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310101675.0
申请日：2013-03-27
申请人： 通用电气公司
IPC分类号： H01L21/48 , H05K3/46 , H01L23/498 , H05K1/00
CPC分类号： H01L23/5383 , H01L21/4857 , H01L21/561 , H01L23/3114 , H01L23/481 , H01L23/5226 , H01L23/5384 , H01L23/5386 , H01L23/5387 , H01L23/5389 , H01L24/19 , H01L24/24 , H01L24/25 , H01L25/105 , H01L2021/60 , H01L2224/04105 , H01L2224/12105 , H01L2224/24227 , H01L2224/32225 , H01L2224/73267 , H01L2224/92144 , H01L2224/92244 , H01L2225/1035 , H01L2225/1058 , H01L2924/10253 , H01L2924/10329 , H01L2924/12042 , H01L2924/14 , H01L2924/15311 , H01L2924/15313 , H01L2924/3511 , H05K1/0271 , H05K1/144 , H05K1/185 , H05K1/189 , H05K3/4602 , H05K3/4644 , H05K3/4661 , H05K3/467 , H05K3/4673 , H05K2201/0187 , H05K2201/0191 , H05K2201/09136 , H05K2201/10734 , H01L2924/00
摘要： 本公开涉及超薄包埋模模块及其制造方法。一种形成包埋模模块的方法包括提供初始柔性叠层和形成穿过该初始柔性叠层的模开口。借助于粘合剂材料将第一未切柔性叠层固连至初始柔性叠层的第一表面并且将模定位在初始柔性叠层的模开口内和粘合剂材料上。借助粘合剂材料将第二未切柔性叠层固连至初始柔性叠层的第二表面，并且使在第一未切柔性叠层与初始柔性叠层之间以及在第二未切柔性叠层与初始柔性叠层之间的粘合剂材料固化。在第一和第二未切柔性叠层中和其上形成多个通孔和金属互连部，其中金属互连部中的每一个都延伸穿过相应的通孔并被直接金属化至在初始柔性叠层上的金属互连部或模上的模垫。
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