抛光设备与抛光方法
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118769101A

    公开(公告)日:2024-10-15

    申请号:CN202411048617.0

    申请日:2024-08-01

    摘要: 本申请公开了一种抛光设备与抛光方法,抛光设备中,机械抛光机对超声振动装置起支撑作用。超声波发生组件与抛光盘间隔,在超声振动传递端连接振动组件,振动组件的样品安装部可与抛光盘相对。将抛光样品与样品安装部连接,抛光样品可位于相对的样品安装部与抛光盘间,抛光盘对抛光样品抛光,超声波发生组件将振动传递到抛光样品,并对其施加预压力,使抛光样品相对抛光盘以预设振幅及振动频率振动。在抛光过程中,抛光剂颗粒进入抛光盘与抛光样品间隙,并在超声作用下高频振动,反复作用于抛光样品表面,显著提高抛光效率。且振动抛光本身就具有较高的通用性,一定程度上解决抛光设备难以兼具抛光效率与通用性的技术问题。