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公开(公告)号:CN102618844B
公开(公告)日:2017-04-12
申请号:CN201210020804.9
申请日:2012-01-30
申请人: FEI 公司
发明人: A.P.J.M.博特曼 , S.兰多夫 , M.托思
CPC分类号: C23C16/0263 , C23C16/10 , C23C16/14 , C23C16/4488 , C23C16/48 , C23C16/486 , C23C16/52
摘要: 改进的沉积低电阻率金属的束沉积方法。本发明的优选实施方案使用新型聚焦离子束诱导沉积前体来沉积低电阻率金属材料,如锡。申请人已经发现,通过使用甲基化或乙基化金属,如六甲基二锡作为前体,可以沉积电阻率低至40µΩ∙cm的材料。
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公开(公告)号:CN109243953B
公开(公告)日:2023-04-18
申请号:CN201810744936.3
申请日:2018-07-09
申请人: FEI 公司
IPC分类号: H01J37/22 , H01J37/305
摘要: 公开了一种用于观测和对准带电粒子束(CPB)系统(诸如电子显微镜或聚焦粒子束系统)的样本腔室中的光束的方法和系统。该方法包括在样本腔室内部提供具有校准表面的成像辅助设备,该校准表面被配置成使得当利用光照亮,并且同时被CPB照亮时,在也被光照亮的区中通过CPB引起的二次辐射的强度相对于具有较低光照明水平的区中通过CPB引起的二次辐射的强度是不同的,由此在校准表面上提供光束的图像。该光束的图像可以被用来使光束与带电粒子束对准。
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公开(公告)号:CN105784437A
公开(公告)日:2016-07-20
申请号:CN201610017172.9
申请日:2016-01-12
申请人: FEI公司
发明人: T.维斯塔维 , A.P.J.M.博特曼
IPC分类号: G01N1/28
CPC分类号: B05D5/02 , B05C3/10 , B05D3/0493 , B05D5/00 , C23C18/1633 , C25D5/16 , C25D7/12 , C25D21/04 , G01N1/32 , G01N1/44 , H01J37/20 , H01J37/317 , H01J2237/20 , H01J2237/2067 , H01J2237/31745 , H01L21/02041 , H01L21/30604 , H01L21/32051 , G01N1/28
摘要: 本发明涉及从显微样品修改样品表面层的方法,方法在真空中执行,方法包括以下步骤:提供附着到操纵器(116)的显微样品(120);提供第一(受控)温度处的第一液体(122A);在第一液体中浸泡样品,从而导致样品表面修改;从第一液体移除样品;提供第二(受控)温度处的第二液体(122B);在第二液体中浸泡样品;以及从第二液体移除样品。这使得能够实现样品原位的湿法处理,从而增加速度和/或避免样品的后续改变/污染(诸如氧化)等。该方法对于在利用(镓)FIB加工薄片之后蚀刻薄片以移除其中发生镓植入或其中晶格被扰乱的表面层而言特别有用。
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公开(公告)号:CN103855083A
公开(公告)日:2014-06-11
申请号:CN201310641651.4
申请日:2013-12-03
申请人: FEI公司
发明人: A.P.J.M.博特曼 , S.兰多尔夫 , M.W.乌特劳特
IPC分类号: H01L21/768 , H01L21/288 , C25D7/12 , C25F3/12
CPC分类号: B05D1/26 , C25D5/024 , C25F3/14 , G01N23/225 , Y10T137/0324
摘要: 在一些已知的实施例中,将少量液体分配到工件上的方法包括为从纳米分配器中流出的液体提供显微通道。在一些实施例中,对液体进行分配包括使用具有至少一个延伸至尖端的缝隙的纳米分配器对液体进行分配。一些方法包括对蒸发速率和液体流速进行控制以建立产生希望尺寸的泡沫的平衡。
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公开(公告)号:CN102618844A
公开(公告)日:2012-08-01
申请号:CN201210020804.9
申请日:2012-01-30
申请人: FEI公司
发明人: A.P.J.M.博特曼 , S.兰多夫 , M.托思
CPC分类号: C23C16/0263 , C23C16/10 , C23C16/14 , C23C16/4488 , C23C16/48 , C23C16/486 , C23C16/52
摘要: 改进的沉积低电阻率金属的束沉积方法。本发明的优选实施方案使用新型聚焦离子束诱导沉积前体来沉积低电阻率金属材料,如锡。申请人已经发现,通过使用甲基化或乙基化金属,如六甲基二锡作为前体,可以沉积电阻率低至40µΩ·cm的材料。
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