一种利用磁控溅射方法制备导电玻璃用陶瓷靶材

    公开(公告)号:CN105777107A

    公开(公告)日:2016-07-20

    申请号:CN201610158348.2

    申请日:2016-03-17

    发明人: 谢逊 孙景峰

    IPC分类号: C04B35/457 C04B35/622

    摘要: 一种利用磁控溅射方法制备导电玻璃用陶瓷靶材,本发明属于电容式触摸屏用导电玻璃领域,尤其涉及一种利用磁控溅射方法制备导电玻璃用SnO2陶瓷靶材的配方组成,所述陶瓷靶材的配方组成为:SnO291~98wt.%,Sb2O30.1~6.0wt.%,Bi2WO30.01~2wt.%,LaMnO30.1~4wt.%,ZnO 0.01~1.8wt.%;其中:Bi2WO3、LaMnO3分别是采用常规的化学原料以固相法合成。所制备的陶瓷靶材导电性能好,电阻率小于等于20mΩ·cm;体积密度较高,为5.858g/cm3以上;烧结温度较低,烧结温度低于1380℃;可以降低陶瓷靶材的成本,具有价格低廉、性能稳定、无毒等特点,该陶瓷靶材适合于利用磁控溅射方法制备高性能导电玻璃用靶材。