SPECTROPHOTOMETER
    111.
    发明公开
    SPECTROPHOTOMETER 审中-公开
    分光光度计

    公开(公告)号:EP1963800A2

    公开(公告)日:2008-09-03

    申请号:EP06820509.5

    申请日:2006-12-13

    Applicant: Zinir Limited

    Abstract: A spectrophotometer has a first photodetector (24) and a second photodetector (25) which is displaced spatially from the first photodetector in the direction of increasing wavelength in the spectrum. At any given time the second photodetector receives light at a wavelength which is substantially greater than that being received simultaneously by the first photodetector at that time. The first photodetector has a first range of wavelengths over which it is operable and a first upper operating limit, and the second photodetector has a second range of wavelengths over which it is operable and a second upper operating limit, the second range overlapping the first range and the second upper operating limit being greater than the first upper operating limit. Thus the range of operation is extended, and data in two different ranges is processed simultaneously. The spectrophotometer comprises a housing (1) containing a light source (11), a monochromator (15, 16, 18) and the photodetectors, there being a fibre optic connected to a probe (2) for transmitting light from the light source to a sample to be analysed and receiving light from the sample. Optical components are mounted to a chassis (26) of the housing rigidly, the chassis being connected to the housing by shock absorbing mounts (28, 29). The light source is mounted to the housing by means of an adjuster (24) providing for adjustment laterally with respect to the optical axis of the light source.

    Abtastvorrichtung mit elektronischer Abstandsregelung und ohne Abstandsmessfühler
    113.
    发明公开
    Abtastvorrichtung mit elektronischer Abstandsregelung und ohne Abstandsmessfühler 有权
    Abstastvorrichtung mit elektronischer Abstandsregelung und ohneAbstandsmessfühler

    公开(公告)号:EP1936945A1

    公开(公告)日:2008-06-25

    申请号:EP06126912.2

    申请日:2006-12-21

    Abstract: Eine Abtastvorrichtung für die punktweise Ausmessung der Farbeigenschaften eines Messobjekts umfasst eine Auflagefläche für das Messobjekt, einen Farbmesskopf, eine Antriebseinrichtung zur Bewegung des Farbmesskopfs über die Auflagefläche in wenigstens einer Dimension derselben und zur Höhenverstellung des Farbmesskopfs in Richtung senkrecht zur Auflagefläche sowie eine die Antriebseinrichtung ansteuernde und mit dem Farbmesskopf zusammenarbeitende Mess- und Antriebssteuerung. Sie ist mit einer elektronischen Abstandsregelung ausgestattet, welche mittels der Antriebseinrichtung für jeden Messpunkt den Abstand des Farbmesskopfs über dem Messort in Richtung senkrecht zur Auflagefläche auf einen Soll-Messabstand einstellt. Die elektronische Abstandsregelung arbeitet mit vom Farbmesskopf erzeugten Messwerten und daraus berechneten Abstandswerten.
    Die Abtastvorrichtung ist aufgrund ihrer spezifischen Ausbildung für die berührungslose, hochpräzise Messung auch von kleinsten Messfeldern geeignet und erfordert für die Abstandsregelung keine separaten Messfühler.

    Abstract translation: 该装置具有用于将颜色测量头移动到支撑表面上的驱动单元。 测量和驱动控制与头部配合并由驱动单元控制。 电子距离控制系统通过垂直于支撑表面的方向上的测量点来调节头部与目标测量距离的距离。 系统执行支撑表面的行星测量并存储行星测量值,其中使用所存储的行星值执行距离调节。

    SYSTEM AND METHOD FOR ROBOT MOUNTED SENSOR
    114.
    发明公开
    SYSTEM AND METHOD FOR ROBOT MOUNTED SENSOR 审中-公开
    方法和系统的机器人安装的传感器

    公开(公告)号:EP1902300A2

    公开(公告)日:2008-03-26

    申请号:EP06824769.1

    申请日:2006-07-12

    Abstract: An apparatus and method for the remote analysis and identification of unknown compounds. A robotic arm positions a sensor on a surface. The sensor unit has a monitoring mechanism to monitor separation between the sensor unit and the surface when placed in contact with the surface to maintain the separation substantially constant. An illumination source illuminates the region of interest to produce scattered photons from an unknown compound. The scattered photons are collected by an optical system and delivered to a spectroscopic detector for analysis and identification. An algorithm is applied to the data generated by the spectroscopic detector to identify the unknown compound.

    ANALYTICAL QUANTIFICATION AND PROCESS CONTROL
    117.
    发明公开
    ANALYTICAL QUANTIFICATION AND PROCESS CONTROL 有权
    分析及含量测定过程控制

    公开(公告)号:EP1161659A4

    公开(公告)日:2007-05-02

    申请号:EP99954736

    申请日:1999-10-05

    Abstract: A method and device for high speed spectroscopic constituent verification. The method includes the steps of illuminating the sample with broadband light and measuring two preselected wavelenghts of reflected light: a first narrow-range of wavelenghts lambda 1 that is not significantly absorbed by the constituent of interest, and a second narrow-range of wavelengths lambda 2 that is substantially absorbed by the constituent of interest. Given the two measurements of reflection, upper and lower thresholds are determined, the latter based on a percentage of the measured baseline reflected light of wavelengths lambda 1. Finally, the presence of the constituent of interest is indicated if the measure of reflected discriminant wavelength lambda 2 is within the upper and lower threshold measures of reflected baseline light lambda 1. The compact device that implements the above described method includes a base unit (10) housing a near-IR discriminator circuit with a pair of selective light sensors and a light source. A sensor unit connects to the base unit (10). The sensor unit includes a flexible neck (20) with a connecting block (24) attached at one end for mating with the base unit (10), and a hood assembly (30) attached at the other end for enclosing a light collecting and transmitting lens (32). The optics are connected by an optical fiber bundle inside the flexible neck.

    Spektralphotometer zur Messung mit einer gegenüber Aussenlicht offenen Messzelle
    118.
    发明公开
    Spektralphotometer zur Messung mit einer gegenüber Aussenlicht offenen Messzelle 无效
    Spektralphotometer zur Messung mit einergegenüberAussenlicht offenen Messzelle

    公开(公告)号:EP1750106A1

    公开(公告)日:2007-02-07

    申请号:EP06118323.2

    申请日:2006-08-02

    CPC classification number: G01J3/42 G01J3/02 G01J3/0264 G01J3/027 G01J3/0272

    Abstract: Die Erfindung betrifft ein Spektralphotometer, enthaltend eine schaltbare Lichtquelle (10) zur Bereitstellung eines Messstrahls, eine Optik, die den Messstrahl durch eine Messzelle auf einen Lichtdetektor (16) leitet und eine Auswerteeinheit (20), die eingangsseitig mit dem Lichtdetektor und der Lichtquelle verbunden ist. Das Spektralphotometer zeichnet sich dadurch aus, dass (i) die Auswerteeinheit über ein Speichermittel (22) verfügt, in der ein Wert für eine Lichtintensität (I 0 ) der Lichtquelle hinterlegt ist, der durch Differenzmessung einer Intensität (I 0,ein ) bei eingeschalteter Lichtquelle und einer Intensität (I 0,aus ) bei ausgeschalteter Lichtquelle bei jeweils nicht geschlossener Messzelle ermittelt wurde, (ii) die Auswerteeinheit ausgelegt ist, bei einer im Messstrahl angeordneten Probe einen Wert für eine Lichtintensität (I) zu ermitteln, der durch Differenzmessung einer Intensität (I ein ) bei eingeschalteter Lichtquelle und einer Intensität (I aus ) bei ausgeschalteter Lichtquelle bei jeweils nicht geschlossener Messzelle ermittelt wurde, und (iii) die Auswerteeinheit ausgelegt ist, durch Differenzbildung aus den Intensitäten (I 0 ) und (I) einen Wert für die durch Absorption des Messstrahls in der Probe geminderte Intensität (I abs ) zu ermitteln.

    Abstract translation: 分光光度计具有评价单元(20),其具有沉积光源(10)的光强度值的存储装置(22)。 通过差分测量,评估单元确定开关光源的光强度和关闭的每个测量单元处的关闭光源的强度。 评估单元布置有布置在测量光束中的样品,以通过开关光源和强度与关闭光源的强度的差异测量来确定测量单元未被关闭。 评估单元布置成通过不同的形式确定强度,并通过样品中测量光束的吸收减小强度值。

    GAS DISCHARGE MOPA LASER SPECTRAL ANALYSIS MODULE
    119.
    发明公开
    GAS DISCHARGE MOPA LASER SPECTRAL ANALYSIS MODULE 有权
    气体放电MOPA激光光谱分析模块

    公开(公告)号:EP1668312A1

    公开(公告)日:2006-06-14

    申请号:EP04784259.6

    申请日:2004-09-15

    Applicant: Cymer, Inc.

    CPC classification number: G01J3/26 G01J3/02 G01J3/027 G01J9/0246

    Abstract: A spectral analysis module for a high repetition rate gas discharge laser having a pulsed output beam with energy greater than or equal to 15 mJ per pulse, sub-nanometer bandwidth tuning range pulses having femptometer bandwidth precision and tens of femptometers bandwidth accuracy range, for measuring bandwidth on a pulse to pulse basis at repetition rates of 4000 Hz and above, comprising a beam-splitter in said laser's output path, said beam-splitter oriented at an angle to reduce incident fluence and creating overlapping fresnel reflections in the first portion of the laser output beam; a secondary beam-splitter tolerating the fluence created by said reflections in said first portion, the secondary beam-splitter reflecting most of said first portion and passing a second portion of the output beam; a telescoping optic (204, 220) that demagnifies said second portion onto a first diffuser (22), the demagnification selected to keep the fluence in the overlapping fresnel reflections in said second portion below the damage threshold of said first diffuser.

    Abstract translation: 一种用于高重复频率气体放电激光器的光谱分析模块,其具有能量大于或等于15mJ /脉冲的脉冲输出光束,具有毫微米带宽精度和几十毫微米带宽精度范围的亚纳米带宽调谐范围脉冲,用于测量 包括在所述激光器的输出路径中的分束器,所述分束器以一定角度取向以降低入射能量密度并且在所述激光器的输出路径的第一部分中产生重叠的菲涅耳反射 激光输出光束; 次级分束器,其容许由所述第一部分中的所述反射产生的注量,所述次级分束器反射大部分所述第一部分并且通过所述输出束的第二部分; 将所述第二部分缩小到第一漫射器(22)上的伸缩光学器件(204,220),所述缩小镜被选择用于将所述第二部分中的重叠菲涅耳反射中的注量保持在所述第一漫射器的损伤阈值以下。

    Vorrichtung zur bildgebenden spektroskopischen Erfassung von Gegenständen charakterisierenden Parametern
    120.
    发明公开
    Vorrichtung zur bildgebenden spektroskopischen Erfassung von Gegenständen charakterisierenden Parametern 有权
    一种用于成像光谱检测表征参数对象

    公开(公告)号:EP1612527A1

    公开(公告)日:2006-01-04

    申请号:EP04015458.5

    申请日:2004-07-01

    Abstract: Es wird eine Vorrichtung (10) zur bildgebenden, spektroskopischen Erfassung von von Gegenständen (11) charakterisierenden Parametern, insbesondere von Vorgängen, Abläufen und Gegenständen (11) und deren Analyse, vorgeschlagen, umfassend wenigstens eine optische Erfassungseinheit (13), wenigstens eine spektrographische Einheit (12), wenigstens ein optisch sensitives Detektorelement (14) sowie eine elektronische Steuer- und Regeleinrichtung (15), mit der die Erfassungseinheit (13), die spektrographische Einheit (12) sowie das Detektorelement (14) in bezug auf die spektrographische Erfassungsfunktion der Vorrichtung (10) zu deren Steuerung und/oder Regelung verknüpft sind. Die elektronische Steuer- und Regeleinheit (15) umfaßt eine Programmeinheit (16) in die ein anwenderspezifischer Steuer- und/oder Regelalgorithmus einschreibbar ist.

    Abstract translation: 一种用于在光谱的方式获取参数表征对象装置包括到电子控制或具有其中控制编程单元(16)和/或调节算法被写入调节单元(15)。

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