液晶配向剤および液晶配向膜の形成方法

    公开(公告)号:JPWO2009081692A1

    公开(公告)日:2011-05-06

    申请号:JP2009547004

    申请日:2008-11-25

    CPC classification number: G02F1/133788 C08G77/388 G02F1/133719

    Abstract: 本発明は、下記式(1)(式(1)中、RIは、水素原子または炭素数1〜40の1価の有機基であり、RII、RIVおよびRVはそれぞれ独立に水素原子、メチル基、シアノ基またはフッ素原子であり、RIが水素原子のときRIIIは炭素数1〜40の1価の有機基であり、RIが水素原子以外であるときRIIIはカルボキシル基である。)で表される化合物と、エポキシ基を有する特定のポリオルガノシロキサンとを反応させて得られる感放射線性ポリオルガノシロキサンを含有する液晶配向剤に関する。

    感放射線性組成物
    129.
    发明专利

    公开(公告)号:JPWO2009041556A1

    公开(公告)日:2011-01-27

    申请号:JP2009534394

    申请日:2008-09-26

    CPC classification number: G03F7/0397 G03F7/0045 G03F7/2041

    Abstract: 本発明の感放射線性組成物は、下記一般式(1)で表される繰り返し単位(1)及び下記一般式(2)で表される繰り返し単位(2)を有する重合体(A)と、感放射線性酸発生剤(B)とを含有するものであり、解像性能に優れるだけでなく、LWRが小さく、PEB温度依存性が良好で、パターン倒れ耐性に優れ、且つ、欠陥性にも優れたレジスト膜を形成可能な感放射線性組成物である。(一般式(1)及び一般式(2)において、R1は互いに独立して、メチル基等を示し、R2は炭素数1〜12の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基等を示し、R3は炭素数1〜4の直鎖状又は分岐状アルキル基を示し、nは1〜5の整数を示す。)

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