-
公开(公告)号：JP6327036B2
公开(公告)日：2018-05-23
申请号：JP2014149316
申请日：2014-07-22
Applicant: JSR株式会社
Inventor： 生井 準人
IPC: C08F220/26 , G03F7/039
-
公开(公告)号：JP6303943B2
公开(公告)日：2018-04-04
申请号：JP2014187118
申请日：2014-09-12
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/039 , C08F220/22 , C08F220/18 , C07C307/02 , G03F7/004
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0042 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , G03F7/11 , G03F7/2041 , G03F7/325
-
公开(公告)号：JP2018040911A
公开(公告)日：2018-03-15
申请号：JP2016174125
申请日：2016-09-06
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/038 , C08F220/26 , G03F7/20 , G03F7/039
Abstract: 【課題】LWR性能、解像性、断面形状の矩形性、焦点深度、MEEF性能及び膜収縮抑制性に優れる感放射線性樹脂組成物、レジストパターン形成方法、重合体及び化合物を提供する。 【解決手段】式(1)で表される基を含む第1構造単位を有する第1重合体と、感放射線性酸発生体と、溶媒とを含有する感放射線性樹脂組成物。式(1)中、R 1 は、酸素原子を含む環員数3〜20の1価の環状基である。L 1 は、単結合又は炭素数1〜20の2価の有機基である。但し、R 1 が単環のラクトン環基の場合、L 1 は単結合である。*は、上記第1構造単位における下記式(1)で表される基以外の部分との結合部位を示す。 【選択図】なし
-
公开(公告)号：JP2018036566A
公开(公告)日：2018-03-08
申请号：JP2016171218
申请日：2016-09-01
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 【課題】解像度、感度及びレンズ形状への成形性に優れるマイクロレンズ成形用ポジ型感放射線性樹脂組成物、及びそれを用いた成形方法の提供をする。 【解決手段】下記式(1−1)で表される基、下記式(1−2)で表される基、又はこれらの組み合わせを含む構造単位(I)を有する重合体、並びに感放射線性酸発生体を含有するマイクロレンズ形成用ポジ型感放射線性樹脂組成物である。式(1−1)及び(1−2)中、R 1 〜R 4 は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜4のアルキル基又は炭素数1〜4のフッ素化アルキル基である。但し、R 1 及びR 2 のうち、少なくとも一方は、ハロゲン原子又は炭素数1〜4のフッ素化アルキル基である。また、R 3 及びR 4 のうち、少なくとも一方は、ハロゲン原子又は炭素数1〜4のフッ素化アルキル基である。 【選択図】なし
-
公开(公告)号：JP2018035156A
公开(公告)日：2018-03-08
申请号：JP2017166922
申请日：2017-08-31
Applicant: JSR株式会社
IPC: C07C229/12 , C07C227/06 , C07D295/15 , C07D307/93 , C07D317/24 , C07D493/04 , C07D493/10 , C07D307/94 , C07D327/04 , C07D215/06 , C07D211/34
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C227/08 , C07C229/08 , C07C229/12 , C07C2603/74 , C07D211/14 , C07D215/04 , C07D215/06 , C07D223/10 , C07D277/60 , C07D295/108 , C07D295/15 , C07D307/00 , C07D307/20 , C07D307/94 , C07D311/74 , C07D317/24 , C07D327/04 , C07D405/06 , C07D411/12 , C07D493/04 , C07D493/10 , C07H9/04 , G03F7/038 , G03F7/0397 , G03F7/091 , G03F7/11 , G03F7/162 , G03F7/168 , G03F7/2041 , G03F7/322 , G03F7/38 , G03F7/40
Abstract: 【課題】化学増幅型感放射線性樹脂組成物における、酸発生剤から生成した、酸拡散制御剤として好適に用いることができる化合物の提供。 【解決手段】式(1)で表される化合物。 (R 1 は結合部位のCが3級であるアルキル基置換単環或は多環のシクロアルキル基又はシクロアルキル基置換アルキル基;R 2 及びR 3 は夫々独立にH又はC1〜10の1価の炭化水素基、R 2 及びR 3 の内の少なくとも一方がC1〜10の1価の炭化水素基;R 4 及びR 5 は夫々独立H又はC1〜10の1価の炭化水素基;R 6 及びR 7 は夫々独立H或いはC1〜10の1価の炭化水素基又はR 6 及びR 7 が互いに結合してそれらが結合するNと共に環員数3〜10の環構造を形成) 【選択図】なし
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2018005064A
公开(公告)日：2018-01-11
申请号：JP2016133773
申请日：2016-07-05
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 【課題】LWR性能、CDU性能、解像性、断面形状の矩形性、焦点深度、MEEF性能及び膜収縮抑制性に優れる感放射線性樹脂組成物の提供を目的とする。 【解決手段】本発明は、下記式(1)で表される基を含む第1構造単位を有する第1重合体と、感放射線性酸発生体と、溶媒とを含有する感放射線性樹脂組成物である。下記式(1)中、R 1 、R 2 及びR 3 は、それぞれ独立して、炭素数1〜20の1価の有機基である。R 4 及びR 5 は、それぞれ独立して、水素原子又は炭素数1〜20の1価の有機基である。Lは、単結合又は炭素数1〜20の2価の有機基である。R 1 〜R 5 及びLのうちの2つ以上が互いに合わせられこれらが結合する原子鎖と共に環員数3〜20の環構造を表してもよい。上記式(1)におけるR 4 及びR 5 が有機基であり、この有機基が置換又は非置換の炭素数1〜16の1価の炭化水素基であることが好ましい。 【選択図】なし
-
公开(公告)号：JP6237763B2
公开(公告)日：2017-11-29
申请号：JP2015506682
申请日：2014-03-03
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G03F7/039 , C07D307/33 , C07D307/93 , C07D327/04 , C07D493/18 , C08F12/22 , C08F12/32 , C08F212/14 , C08F220/18 , C08F220/28 , G03F7/0397 , G03F7/2041 , G03F7/322 , G03F7/325
-
公开(公告)号：JP6213328B2
公开(公告)日：2017-10-18
申请号：JP2014059096
申请日：2014-03-20
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/11 , H01L21/027 , C08F12/00
CPC classification number: H01L21/0332 , B05D3/0254 , C08F12/32 , C08F12/34 , C08L47/00 , C09D125/16 , G03F7/09 , G03F7/091 , G03F7/094 , G03F7/20 , H01L21/02118 , H01L21/0271 , H01L21/0276 , H01L21/31144
-
-
公开(公告)号：JP6146328B2
公开(公告)日：2017-06-14
申请号：JP2014019876
申请日：2014-02-04
Applicant: JSR株式会社
Inventor： 生井 準人
IPC: G03F7/039 , C07D231/54 , C07D209/02 , C07D487/08 , G03F7/004
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
149
records
(took 0.045 seconds)
