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公开(公告)号：JP6428389B2
公开(公告)日：2018-11-28
申请号：JP2015046523
申请日：2015-03-09
Applicant: JSR株式会社
Inventor： 生井 準人
IPC: G03F7/038 , G03F7/20 , C08F220/10 , C08F299/00 , G03F7/039
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公开(公告)号：JP2018177916A
公开(公告)日：2018-11-15
申请号：JP2017077428
申请日：2017-04-10
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 【課題】十分に異物が取り除かれ、経時安定性も高い精製組成物を得ることができ、この精製組成物からは良好な赤外線遮蔽性及びコントラスト特性を兼ね備える赤外線遮断フィルターを得ることができる赤外線吸収組成物の精製方法及び赤外線吸収組成物の製造方法を提供する。 【解決手段】本発明は、波長800nm以上2000nm以下の範囲に極大吸収波長を有する金属酸化物を含有する赤外線吸収組成物の精製方法において、濾材(I)、及び上記濾材(I)の下流側に配置される濾材(II)を有する濾過装置により上記赤外線吸収組成物を濾過する工程を備え、上記濾材(I)の臨界表面張力が、上記濾材(II)の臨界表面張力より小さい赤外線吸収組成物の精製方法である。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6421757B2
公开(公告)日：2018-11-14
申请号：JP2015539041
申请日：2014-08-29
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: C07C69/73 , C07C2601/10 , C07C2601/16 , C08F2/50 , C08F12/22 , C08F12/32 , C08F20/28 , C08F220/18 , C08F2220/281 , C08F2220/282 , C08F2220/283 , C08F2220/382 , C08F2222/1013 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/11 , G03F7/2041
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公开(公告)号：JP2018162466A
公开(公告)日：2018-10-18
申请号：JP2018117465
申请日：2018-06-20
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/038 , G03F7/039 , C08F228/02 , C08F220/26
Abstract: 【課題】LWR性能及びMEEF性能に優れる感放射線性樹脂組成物を提供する。 【解決手段】本発明は、下記式(1)で表される化合物に由来する構造単位を有する重合体、及び感放射線性酸発生体を含有する感放射線性樹脂組成物である。下記式(1)中、R 1 は、重合性基を含む炭素数2〜20の1価の基である。R 2 は、置換又は非置換の炭素数1〜20の1価の炭化水素基である。R 1 及びR 2 は、環員数3〜20の環構造を形成していてもよい。Xは、C(R 3 ) 2 又はNR 3 である。R 3 は、それぞれ独立して、水素原子、置換若しくは非置換の炭素数1〜20の1価の炭化水素基、置換若しくは非置換の炭素数1〜20のオキシ炭化水素基又は置換若しくは非置換の炭素数2〜20のカルボニルオキシ炭化水素基である。R 2 及び1若しくは2のR 3 のうちの2つ以上は、環員数3〜20の環構造を形成していてもよい。 【選択図】なし
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公开(公告)号：JP6365715B2
公开(公告)日：2018-08-01
申请号：JP2017056733
申请日：2017-03-22
Applicant: JSR株式会社
IPC: C07D307/94 , C07D493/10 , G03F7/039 , G03F7/038 , G03F7/004
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C227/08 , C07C229/08 , C07C229/12 , C07C2603/74 , C07D211/14 , C07D215/04 , C07D215/06 , C07D223/10 , C07D277/60 , C07D295/108 , C07D295/15 , C07D307/00 , C07D307/20 , C07D307/94 , C07D311/74 , C07D317/24 , C07D327/04 , C07D405/06 , C07D411/12 , C07D493/04 , C07D493/10 , C07H9/04 , G03F7/038 , G03F7/0397 , G03F7/091 , G03F7/11 , G03F7/162 , G03F7/168 , G03F7/2041 , G03F7/322 , G03F7/38 , G03F7/40
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2018077528A
公开(公告)日：2018-05-17
申请号：JP2018008201
申请日：2018-01-22
Applicant: JSR株式会社
Inventor： 生井 準人
IPC: G03F7/20 , H01L21/027 , G03F7/11
CPC classification number: G03F7/0397 , C08F216/165 , C08F220/28 , C08F220/68 , C08F2220/281 , C08F2220/282 , C08F2220/283 , C09D129/10 , C09D133/10 , C09D133/14 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/038 , G03F7/091 , G03F7/11 , G03F7/162 , G03F7/168 , G03F7/20 , G03F7/2004 , G03F7/2037 , G03F7/2041 , G03F7/32 , G03F7/322 , G03F7/38
Abstract: 【課題】優れた焦点深度及び露光余裕度を発揮して、LWR性能、CDU性能、解像性及び断面形状の矩形性に優れるレジストパターンを形成できる樹脂組成物を提供する。 【解決手段】本発明は、下記式(1)で表される基を含む構造単位を有する第1重合体、及び溶媒を含有し、液浸露光用保護膜形成樹脂組成物として用いられる樹脂組成物である。式(1)中、R 1 〜R 4 は、それぞれ独立して、水素原子、フッ素原子又は炭素数1〜20の1価の有機基である。但し、R 1 〜R 4 のうちの少なくとも1つは、フッ素原子又はフッ素原子を含むである。R 5 は、置換又は非置換の炭素数1〜7の3価の鎖状炭化水素基である。*は上記構造単位の他の部分に結合する部位を示す。 【選択図】なし
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公开(公告)号：JP6304246B2
公开(公告)日：2018-04-04
申请号：JP2015518126
申请日：2014-03-11
Applicant: JSR株式会社
Inventor： 生井 準人
IPC: G03F7/038 , G03F7/039 , C07C67/30 , C07C59/205 , C07C59/21 , C07C51/02 , C07C59/185 , C07C69/36 , C07C327/20 , C07C381/12 , C08F220/10 , C08F212/14 , G03F7/004
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C51/02 , C07C51/41 , C07C59/185 , C07C59/205 , C07C59/21 , C07C59/84 , C07C67/30 , C07C69/36 , C07C69/63 , C07C327/06 , C07C327/32 , C07C381/12 , C07C2601/08 , C07C2601/14 , C07C2601/18 , C07C2603/74 , C07D307/77 , C07D307/93 , C07D313/04 , C07D313/10 , C07D315/00 , C07D317/46 , C07D317/72 , C07D327/04 , C08F2/38 , C08F4/00 , C08F12/24 , C08F212/14 , G03F7/004 , G03F7/0046 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/0397 , G03F7/2041 , G03F7/30 , G03F7/322 , G03F7/325 , C07C319/20 , C07C323/52
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公开(公告)号：JP2018049177A
公开(公告)日：2018-03-29
申请号：JP2016184902
申请日：2016-09-21
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/038 , G03F7/20 , C07C381/12 , C07C309/19 , C09K3/00 , G03F7/004
Abstract: 【課題】LWR性能、解像性、断面形状の矩形性、焦点深度、MEEF性能及び膜収縮抑制性に優れる感放射線性樹脂組成物の提供を目的とする。 【解決手段】本発明は、酸解離性基を含む構造単位を有する重合体と、感放射線性酸発生剤とを含有し、上記感放射線性酸発生剤が、−SO 3 − と、第1炭素原子と、第2炭素原子と、2個以上の電子求引性基(フッ素原子、フルオロアルキル基、−SO 3 − 及びスルホ基を除く。)とを含む1価のアニオン、及び1価の感放射線性オニウムカチオンを有する第1化合物であり、上記第1炭素原子に上記−SO 3 − 及び上記第2炭素原子が結合し、上記第1炭素原子及び上記第2炭素原子の一方又は両方に合計2個以上の上記電子求引性基が結合している感放射線性樹脂組成物である。上記第1炭素原子及び上記第2炭素原子の一方又は両方に、上記電子求引性基以外の有機基がさらに結合しているとよい。 【選択図】なし
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公开(公告)号：JP6269766B2
公开(公告)日：2018-01-31
申请号：JP2016188888
申请日：2016-09-27
Applicant: JSR株式会社
Inventor： 生井 準人
CPC classification number: G03F7/0392 , C07C69/54 , C07C2601/08 , C07C2601/10 , C07C2601/14 , C07C2601/16 , C07C2602/28 , C07C2602/42 , C07D307/33 , C07D307/77 , C07D307/93 , C07D307/935 , C07D317/36 , C07D317/70 , C07D333/78 , C07D491/056 , C07D493/04 , C08F20/10 , C08F22/10 , C08F220/28 , C08F220/40 , C08L33/14 , G03C1/73 , G03F7/0397 , G03F7/11 , G03F7/20 , G03F7/2041 , G03F7/38 , C08F2220/283 , C08F220/18 , C08F2220/185 , C08F220/24 , C08L33/10
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