光学特性測定システムおよび光学特性測定システムの校正方法
    51.
    发明专利
    光学特性測定システムおよび光学特性測定システムの校正方法 审中-公开
    校准光学特性测量系统和光学特性测量系统的方法

    公开(公告)号:JP2017020792A

    公开(公告)日:2017-01-26

    申请号:JP2015136036

    申请日:2015-07-07

    Abstract: 【課題】比較的短い時間でセットアップでき、かつ、検出感度をより高めることのできる光学特性測定システムが提供される。第1の測定装置と、第1の測定装置より検出感度が低くなるように構成されている第2の測定装置とを含む光学特性測定システムの校正方法が提供される。 【解決手段】ある実施の形態に従えば、第1の測定装置を備える光学特性測定システムが提供される。第1の測定装置は、筐体内に配置された第1の検出素子と、第1の検出素子に少なくとも部分的に接合し、検出素子を冷却する第1の冷却手段と、筐体内の検出素子の周囲に生じる温度変化を抑制する抑制手段とを含む。 【選択図】図4

    Abstract translation: 甲它可以在相对短的时间内建立,并且提供一种能够提高检测灵敏度的光学特性测量系统。 比所述第一测量装置的光学特性测量系统的灵敏度和第二测量装置的第一测量装置,校准方法被配置为低处。 根据一个实施方式,提供了包括第一测量装置的光学特性测量系统。 第一测量装置包括设置在所述壳体中的第一检测元件,至少部分地结合到所述第一检测元件,第一冷却装置,用于冷却所述检测器元件,所述检测装置的壳体 的以及抑制装置,用于抑制在周围发生的温度变化。 点域4

    生化学反応システム
    54.
    发明专利
    生化学反応システム 有权
    生化反应体系

    公开(公告)号:JP2016146835A

    公开(公告)日:2016-08-18

    申请号:JP2016036278

    申请日:2016-02-26

    Abstract: 【課題】ポリメラーゼ連鎖反応(PCR)などの化学反応及び生化学反応のためのシステムを提供する。 【解決手段】化応容器の温度は、少なくとも最高の所定の温度と最低の所定の温度との間で循環し、前記システムは、前記反応容器を支持するサーマルマウントを含み、該サーマルマウントは、熱電モジュールの第一の熱伝導性側面と熱的に結合され、前記熱電モジュールの第二の熱伝導性側面は、ヒートシンクと熱的に結合されるとともに、電源へ接続するための二つの導線が接続する二つの電気接点を有し、前記熱電モジュールの前記第一の熱伝導性側面と前記サーマルマウントとの間と、前記熱電モジュールの前記第二の熱伝導性側面と前記ヒートシンクとの間とに、柔軟接着剤が設けられ、第一と第二の熱伝導性側面と比較して断熱的であり、前記熱電モジュールと前記サーマルマウントとの間と、ヒートシンクとの間との、熱的又は機械的な唯一の結合を形成するシステム。 【選択図】なし

    Abstract translation: 要解决的问题:提供用于化学和生化反应的系统,例如聚合酶链式反应(PCR)。解决方案:提供具有反应容器的化学和/或生化系统,其中反应容器的温度循环 在至少最高预定温度和最低预定温度之间。 该系统包括支撑反应容器的热安装座,热安装件热耦合到热电模块的第一导热侧,热电模块的第二导热侧热耦合到散热器并且设置有两个电 连接有两根引线用于耦合到电源的触点,在热电模块的第一导热侧和热安装座之间以及热电模块的第二导热侧和散热片之间设置柔性粘合剂 ,与第一和第二导热侧相比,粘合剂相对绝热,并且在热电模块和热安装座之间以及热电模块和散热片之间形成热或机械底部耦合。选择图:无

    研磨パッドの表面性状測定方法および装置
    55.
    发明专利
    研磨パッドの表面性状測定方法および装置 审中-公开
    用于测量抛光垫表面性能的方法和装置

    公开(公告)号:JP2016124053A

    公开(公告)日:2016-07-11

    申请号:JP2014265694

    申请日:2014-12-26

    Abstract: 【課題】レーザ光を複数の入射角で研磨パッドに入射させることにより、CMP性能を反映した研磨パッドの表面性状を測定することができる研磨パッドの表面性状測定方法および装置を提供する。 【解決手段】研磨パッド2の表面にレーザ光を照射し、研磨パッド表面で反射された光を受光してフーリエ変換することで、研磨パッド2の表面性状を求める研磨パッド2の表面性状測定方法であって、複数の角度で研磨パッド2にレーザ光を入射せしめる。 【選択図】図2

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种用于测量抛光垫的表面性能的方法和装置,该抛光垫能够测量通过使激光束入射到抛光垫上而反射CMP(化学机械抛光)性能的抛光垫的表面性质 多个入射角。解决方案:在用于测量抛光垫2的表面性质的方法中,通过用激光束照射抛光垫2的表面,接收在表面上反射的光来确定抛光垫2的表面性质 并进行光的傅里叶变换。 激光束以多个角度入射在抛光垫2上。选择图:图2

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