公开(公告)号：KR20210026955A

公开(公告)日：2021-03-10

申请号：KR1020190108456A

申请日：2019-09-02

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 현승화 ,  김영환 ,  박화영 ,  유영수 ,  천유상

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/02 ,  H01L21/66 ,  H01L21/677 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L22/12 ,  H01L21/67253 ,  B05D1/005 ,  G01N21/9503 ,  G03F7/162 ,  G03F7/168 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67023 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67242 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/68764 ,  H01L22/24

Abstract: 예시적인 실시예들에 따른 반도체 소자 제조 장치는, 스핀 코터 및 코팅 층 검사기를 포함한다. 상기 스핀 코터는, 척, 척을 회전시키도록 구성된 회전 구동기; 상기 코팅 층 중 상기 웨이퍼의 에지부 상에 형성된 부분에 용해액을 분사하도록 구성된 용해액 디스펜서; 를 포함하고, 상기 코팅 층 검사기는, 에지부 카메라 및 상기 웨이퍼의 상기 에지부의 상기 이미지들에 기초하여 상기 코팅 층의 반경, 편심 및 위에서 본 형상을 결정하도록 구성된 검사 제어기를 포함한다.

公开(公告)号：JP2018128341A

公开(公告)日：2018-08-16

申请号：JP2017021404

申请日：2017-02-08

Applicant: トヨタ自動車株式会社

Inventor： 原 淳雅 ,  村井 盾哉

IPC: C08J7/04 ,  B32B27/20 ,  C08K3/10 ,  C08L101/00 ,  C09D201/00 ,  C09D7/40 ,  G01S7/03

CPC classification number: C09D5/004 ,  B05D1/005 ,  B05D3/0254 ,  B05D5/06 ,  B05D2201/00 ,  B05D2502/00 ,  B05D2601/28 ,  B22F9/24 ,  B22F2301/255 ,  B32B27/08 ,  B44C1/10 ,  B44F1/02 ,  B60R13/00 ,  C08J7/047 ,  C08J2300/00 ,  C08J2433/10 ,  C08K3/08 ,  C09D1/00 ,  C09D7/61 ,  C09D7/67 ,  C09D7/68 ,  C09D133/10

Abstract: 【課題】装飾被膜の輝度を確保するとともに、継続的に使用しても装飾被膜が変色し難い装飾被膜を提供する。 【解決手段】装飾被膜1は、レーダ装置Dの経路内に位置する樹脂基材20の表面に形成される装飾被膜1である。装飾被膜1は、銀からなる銀微粒子1aの表面の一部を取り囲むように、ニッケルと酸素を含む化合物1dが銀微粒子1aに付着した複合微粒子1eと、装飾被膜1内に分散した複合微粒子1eを結合する光透過性を有した結合樹脂1bと、を少なくとも備えており、ニッケルは銀に対して0.5〜30.0質量%の範囲で含有されている。 【選択図】図6

公开(公告)号：JP2018070891A

公开(公告)日：2018-05-10

申请号：JP2017231105

申请日：2017-11-30

Applicant: ザ ボード オブ トラスティーズ オブ ザ ユニバーシティ オブ イリノイ

Inventor： ウォルカー, スティーブン,ビー. ,  ルイス, ジェニファー, エー.

IPC: C09D11/03 ,  C09D11/033 ,  C09D11/30 ,  H01B1/22 ,  H01B13/00 ,  C09D11/52

CPC classification number: C09D11/52 ,  B05D1/005 ,  B05D1/04 ,  B05D1/18 ,  C23C18/161 ,  C23C18/168 ,  C23C18/1692 ,  C23C18/42 ,  C23C18/44 ,  C23C26/02

Abstract: 【課題】殆んどの基板が受け入れ可能な低処理温度を有し、高い伝導率を有する、導電性銀構造を形成するためのインク組成物の提供。 【解決手段】導電性銀構造を形成するためのインク組成物であって、銀塩と、(a)錯化剤と短鎖カルボン酸との錯体、または(b)錯化剤と短鎖カルボン酸の塩との錯体と、エチレンジアミンと、を含有し、前記錯化剤は、アルキルアミンであることを特徴とするインク組成物。 【選択図】なし

公开(公告)号：JP2018502437A

公开(公告)日：2018-01-25

申请号：JP2017517268

申请日：2015-09-30

Applicant: エルジー・ケム・リミテッド

Inventor： セ・ジン・ク ,  ミ・ソク・イ ,  ヒョン・ジュ・リュ ,  ジュン・クン・キム ,  スン・ス・ユン ,  ノ・ジン・パク ,  ジェ・クォン・イ ,  ウン・ヨン・チェ

IPC: H01L21/027 ,  B05D7/14 ,  B05D7/24 ,  B32B37/14 ,  C08F293/00

CPC classification number: C09D153/00 ,  B05D1/005 ,  B05D3/007 ,  C01P2002/70 ,  C07B2200/00 ,  C08F2/14 ,  C08F32/06 ,  C08F212/08 ,  C08F216/12 ,  C08F220/10 ,  C08F220/26 ,  C08F220/30 ,  C08F293/00 ,  C08F293/005 ,  C08F299/00 ,  C08F299/024 ,  C08F2220/301 ,  C08F2438/03 ,  C08G61/08 ,  C08G61/128 ,  C08G2261/1424 ,  C08G2261/1426 ,  C08G2261/332 ,  C08G2261/3324 ,  C08G2261/40 ,  C08G2261/418 ,  C08J5/18 ,  C08J7/123 ,  C08J2353/00 ,  C08L53/00 ,  C08L53/005 ,  C08L53/02 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/039 ,  G03F7/091 ,  G03F7/16 ,  G03F7/162 ,  G03F7/2004 ,  G03F7/30 ,  H01L21/027 ,  C08F214/182

Abstract: 本出願は、パターン化基板の製造方法に関するものである。前記方法は、例えば、電子デバイスおよび集積回路のような装置の製造工程または他の用途、例えば集積光学システム、磁気ドメインメモリーのガイダンスおよび検出パターン、平板ディスプレイ、液晶ディスプレイ(LCD)、薄膜磁気ヘッドまたは有機光放出ダイオードなどの製造に適用され得、集積回路、ビット−パターン化された媒体および/またはハードドライブのような磁気保存デバイスなどの個別トラック媒体(discrete track medium)の製造に使うために表面上にパターンを構築することに用いられ得る。

公开(公告)号：JP2017531709A

公开(公告)日：2017-10-26

申请号：JP2017517261

申请日：2015-09-30

Applicant: エルジー・ケム・リミテッド

Inventor： ウン・ヨン・チェ ,  ノ・ジン・パク ,  ジュン・クン・キム ,  ジェ・クォン・イ ,  セ・ジン・ク ,  ミ・ソク・イ ,  ヒョン・ジュ・リュ ,  スン・ス・ユン

IPC: C08F265/04 ,  G03F7/40

CPC classification number: C09D153/00 ,  B05D1/005 ,  B05D3/007 ,  C01P2002/70 ,  C07B2200/00 ,  C08F2/14 ,  C08F32/06 ,  C08F212/08 ,  C08F216/12 ,  C08F220/10 ,  C08F220/26 ,  C08F220/30 ,  C08F293/00 ,  C08F293/005 ,  C08F299/00 ,  C08F299/024 ,  C08F2220/301 ,  C08F2438/03 ,  C08G61/08 ,  C08G61/128 ,  C08G2261/1424 ,  C08G2261/1426 ,  C08G2261/332 ,  C08G2261/3324 ,  C08G2261/40 ,  C08G2261/418 ,  C08J5/18 ,  C08J7/123 ,  C08J2353/00 ,  C08L53/00 ,  C08L53/005 ,  C08L53/02 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/039 ,  G03F7/091 ,  G03F7/16 ,  G03F7/162 ,  G03F7/2004 ,  G03F7/30 ,  H01L21/027 ,  C08F214/182

Abstract: 本出願はブロック共重合体およびその用途に関するものである。本出願は、自己組織化特性が優秀で多様な用途で効果的に使われ得るブロック共重合体およびその用途を提供することができる。

公开(公告)号：JP2017530236A

公开(公告)日：2017-10-12

申请号：JP2017517270

申请日：2015-09-30

Applicant: エルジー・ケム・リミテッド

Inventor： ジュン・クン・キム ,  ジェ・クォン・イ ,  ジョン・キュ・イ ,  セ・ジン・ク ,  ノ・ジン・パク ,  ミ・ソク・イ ,  ウン・ヨン・チェ ,  ソン・ス・ユン ,  ヒョン・ジュ・リュ

IPC: C08F297/00

CPC classification number: C09D153/00 ,  B05D1/005 ,  B05D3/007 ,  C01P2002/70 ,  C07B2200/00 ,  C08F2/14 ,  C08F32/06 ,  C08F212/08 ,  C08F216/12 ,  C08F220/10 ,  C08F220/26 ,  C08F220/30 ,  C08F293/00 ,  C08F293/005 ,  C08F299/00 ,  C08F299/024 ,  C08F2220/301 ,  C08F2438/03 ,  C08G61/08 ,  C08G61/128 ,  C08G2261/1424 ,  C08G2261/1426 ,  C08G2261/332 ,  C08G2261/3324 ,  C08G2261/40 ,  C08G2261/418 ,  C08J5/18 ,  C08J7/123 ,  C08J2353/00 ,  C08L53/00 ,  C08L53/005 ,  C08L53/02 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/039 ,  G03F7/091 ,  G03F7/16 ,  G03F7/162 ,  G03F7/2004 ,  G03F7/30 ,  H01L21/027 ,  C08F214/182

Abstract: 本出願はブロック共重合体およびその用途に関するものである。本出願は、自己組織化特性が優秀で多様な用途で効果的に使われ得るブロック共重合体およびその用途を提供することができる。

公开(公告)号：JP2017530235A

公开(公告)日：2017-10-12

申请号：JP2017517260

申请日：2015-09-30

Applicant: エルジー・ケム・リミテッド

Inventor： ノ・ジン・パク ,  ジュン・クン・キム ,  ジェ・クォン・イ ,  スン・ソ・ユン ,  セ・ジン・ク ,  ミ・ソク・イ ,  ウン・ヨン・チェ ,  ヒョン・ジュ・リュ

IPC: C08F293/00

CPC classification number: C09D153/00 ,  B05D1/005 ,  B05D3/007 ,  C01P2002/70 ,  C07B2200/00 ,  C08F2/14 ,  C08F32/06 ,  C08F212/08 ,  C08F216/12 ,  C08F220/10 ,  C08F220/26 ,  C08F220/30 ,  C08F293/00 ,  C08F293/005 ,  C08F299/00 ,  C08F299/024 ,  C08F2220/301 ,  C08F2438/03 ,  C08G61/08 ,  C08G61/128 ,  C08G2261/1424 ,  C08G2261/1426 ,  C08G2261/332 ,  C08G2261/3324 ,  C08G2261/40 ,  C08G2261/418 ,  C08J5/18 ,  C08J7/123 ,  C08J2353/00 ,  C08L53/00 ,  C08L53/005 ,  C08L53/02 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/039 ,  G03F7/091 ,  G03F7/16 ,  G03F7/162 ,  G03F7/2004 ,  G03F7/30 ,  H01L21/027 ,  C08F214/182

Abstract: 本出願は単量体、ブロック共重合体の製造方法、ブロック共重合体およびその用途に関するものである。本出願の単量体は、優秀な自己組織化特性を有し、必要に応じて要求される多様な機能も自由に付与されたブロック共重合体を形成することができる。

公开(公告)号：JP2017177639A

公开(公告)日：2017-10-05

申请号：JP2016070406

申请日：2016-03-31

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 伊藤 豊 ,  竹中 幸子

IPC: C23C16/42 ,  H05B33/02 ,  H01L51/50 ,  B32B9/00

CPC classification number: H01L51/5253 ,  C23C16/401 ,  C23C16/509 ,  H01J37/244 ,  H01J37/285 ,  H01L51/0097 ,  H01L51/56 ,  B05D1/005 ,  B05D3/067 ,  C23C16/402 ,  H01L2251/303 ,  Y02E10/549

Abstract: 【課題】 水蒸気の透過をより高水準で防止することができる積層フィルムを提供すること。 【解決手段】 樹脂基材上に、ガスバリア層と無機ポリマー層とが少なくとも積層された積層フィルムであって、無機ポリマー層の、断面の透過型電子顕微鏡像より以下の(a)〜(d)の手順で算出されるY値が、0.220以下である、積層フィルム。 (a)無機ポリマー層の電子線未照射部のコントラストの標準偏差(σ)を算出する。 (b)無機ポリマー層の電子線照射部を膜厚方向に均等な膜厚となるように20分割を行い、各分割部のコントラストの標準偏差(σn:n分割目の標準偏差、n=1〜20)を算出する。 (c)式(1)より各分割部のXn(n=1〜20)を算出する。 Xn=σn/σ(n=1〜20) ・・・(1) (d)X3〜X18の標準偏差をYとする。 【選択図】 図1

公开(公告)号：JPWO2017006571A1

公开(公告)日：2017-07-13

申请号：JP2017517813

申请日：2016-07-08

Applicant: 日本板硝子株式会社

Inventor： 雄一郎 久保 ,  雄一郎 久保 ,  新毛　勝秀 ,  勝秀 新毛

IPC: G02B5/22

CPC classification number: G02B5/223 ,  B05D1/005 ,  G02B5/22

Abstract: 本発明の赤外線カットフィルタは、有機色素含有層と、ホスホン酸銅の微粒子を含有しているホスホン酸銅含有層とを備えている。有機色素含有層は、赤外線カットフィルタのカットオフ波長に対し50nm小さい波長と赤外線カットフィルタのカットオフ波長に対し50nm大きい波長との間の波長域で、波長の増加に従って、分光透過率が70%以上から50%以下に低下するように有機色素を含有している。

公开(公告)号：JPWO2015194507A1

公开(公告)日：2017-06-15

申请号：JP2016529334

申请日：2015-06-15

Applicant: 富士フイルム株式会社

Inventor： 北川　浩隆 ,  浩隆 北川 ,  大松　禎 ,  禎 大松

IPC: C08F8/14 ,  B05D1/38 ,  B05D3/06 ,  B05D3/12 ,  B32B27/00 ,  B32B27/30 ,  C08F2/46 ,  C08F220/10 ,  C08F299/00 ,  C09D5/00 ,  C09D133/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: C09D133/14 ,  B05D1/005 ,  B05D3/06 ,  B05D3/107 ,  B05D3/12 ,  B29C59/022 ,  B29C59/026 ,  B29K2067/04 ,  B29L2009/005 ,  B32B27/30 ,  C08F8/14 ,  C08F290/062 ,  C08F290/142 ,  C08F2438/03 ,  C08F220/06 ,  C08F2220/305 ,  C08F220/30

Abstract: 接着性が良好で、表面平坦性に優れた下層膜を形成可能な下層膜形成用樹脂組成物、積層体、パターン形成方法およびデバイスの製造方法を提供する。一般式(A)で表される基および一般式(B)で表される基を有する樹脂と、溶剤とを含有する下層膜形成用樹脂組成物。Ra1は、水素原子またはメチル基を表し、Rb1およびRb2は、各々独立に炭素数1〜20の直鎖または分岐の無置換アルキル基および炭素数3〜20の無置換シクロアルキル基から選択される基を表し、Rb3は炭素数2〜20の直鎖または分岐の無置換アルキル基および炭素数3〜20の無置換シクロアルキル基から選択される基を表し、Rb2とRb3は互いに結合して環を形成していてもよい。