公开(公告)号：JP6641879B2

公开(公告)日：2020-02-05

申请号：JP2015207573

申请日：2015-10-21

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 若松 剛史 ,  野坂 直矢 ,  松村 裕史 ,  滝本 嘉夫 ,  阿部 翼 ,  木村 徹

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/11

公开(公告)号：JP2017125182A

公开(公告)日：2017-07-20

申请号：JP2016243826

申请日：2016-12-15

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 野坂 直矢 ,  若松 剛史 ,  阿部 翼 ,  松村 裕史 ,  滝本 嘉夫 ,  木村 徹

IPC: C08G8/30 ,  G03F7/40 ,  G03F7/11 ,  H01L21/027 ,  G03F7/26 ,  C08G8/24

Abstract: 【課題】溶媒としてPGMEA等を用いることができ、エッジリンス性、溶媒耐性、エッチング耐性、耐熱性及び埋め込み性に優れるレジスト下層膜を形成できるレジスト下層膜形成用重合体並びにレジスト下層膜形成用組成物の提供を目的とする。 【解決手段】本発明は下記式(1)で表される第1繰り返し単位を有するレジスト下層膜形成用重合体である。下記式(1)中、Ar 1 、Ar 2 及びAr 3 は、それぞれ独立して、置換又は非置換の炭素数6〜30のアレーンジイル基である。R 1 は、置換又は非置換の炭素数1〜30の2価の炭化水素基である。nは、0又は1である。R 2 は、水素原子、置換若しくは非置換の炭素数1〜10のアルキル基又は置換若しくは非置換の炭素数6〜30のアリール基である。R 3 は、置換又は非置換の炭素数6〜30の1価の芳香族炭化水素基である。R 4 は、水素原子又は置換若しくは非置換の炭素数1〜30の1価の炭化水素基である。 【選択図】なし

公开(公告)号：JP6458799B2

公开(公告)日：2019-01-30

申请号：JP2016510192

申请日：2015-03-04

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 青木 俊 ,  田中 博允 ,  若松 剛史 ,  滝本 嘉夫 ,  石川 真義 ,  木村 徹

IPC: G03F7/09 ,  G03F7/11 ,  G03F7/26 ,  H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  C08G8/20 ,  G03F7/40

公开(公告)号：JP5842503B2

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：JP2011208764

申请日：2011-09-26

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 峯岸 信也 ,  中藤 慎也 ,  村上 暁 ,  木村 徹

IPC: C08G10/04 ,  G03F7/11

CPC classification number: C09D161/14 ,  G03F7/094 ,  G03F7/11 ,  H01L21/31144 ,  C08K5/42 ,  C08L101/02

公开(公告)号：JP5724798B2

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：JP2011214135

申请日：2011-09-29

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 木村 徹 ,  中島 浩光 ,  木村 礼子 ,  笠原 一樹 ,  堀 雅史 ,  吉田 昌史

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039

CPC classification number: G03F7/2041 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397

公开(公告)号：JP6907522B2

公开(公告)日：2021-07-21

申请号：JP2016243826

申请日：2016-12-15

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 野坂 直矢 ,  若松 剛史 ,  阿部 翼 ,  松村 裕史 ,  滝本 嘉夫 ,  木村 徹

IPC: C08G8/24 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027 ,  G03F7/26 ,  G03F7/11

公开(公告)号：JP6288090B2

公开(公告)日：2018-03-07

申请号：JP2015528248

申请日：2014-07-16

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 栗田 俊輔 ,  木村 徹 ,  滝本 嘉夫 ,  高梨 和憲

IPC: G03F7/40 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/3065 ,  G03F7/11

CPC classification number: G03F7/32 ,  C09K13/00 ,  G03F7/0043 ,  G03F7/0757 ,  G03F7/20 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31122

公开(公告)号：JP6163770B2

公开(公告)日：2017-07-19

申请号：JP2013016155

申请日：2013-01-30

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 栗田 俊輔 ,  高梨 和憲 ,  中島 浩光 ,  木村 徹

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/11

CPC classification number: G03F7/0757 ,  G03F7/0752 ,  G03F7/094

公开(公告)号：JP6146305B2

公开(公告)日：2017-06-14

申请号：JP2013538506

申请日：2012-10-02

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 香村 和彦 ,  峯岸 信也 ,  森 隆 ,  保田 慶友 ,  滝本 嘉夫 ,  中藤 慎也 ,  木村 徹

IPC: G03F7/26 ,  H01L21/027 ,  G03F7/11

CPC classification number: H01L21/3081 ,  G03F7/094 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/0271 ,  H01L21/033 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/31138

公开(公告)号：JP6361657B2

公开(公告)日：2018-07-25

申请号：JP2015523959

申请日：2014-06-09

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 中藤 慎也 ,  豊川 郁宏 ,  若松 剛史 ,  高杉 晋吾 ,  木村 徹

IPC: G03F7/11 ,  G03F7/40 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  C07C15/50 ,  C07C15/54 ,  C07C33/28 ,  C07C211/53 ,  C08F38/00

CPC classification number: G03F7/11 ,  C07C15/14 ,  C07C15/18 ,  C07C15/50 ,  C07C15/54 ,  C07C15/58 ,  C07C25/24 ,  C07C33/28 ,  C07C33/38 ,  C07C39/21 ,  C07C43/215 ,  C07C211/50 ,  C07C211/58 ,  C08F38/00 ,  G03F7/094 ,  G03F7/168 ,  G03F7/36 ,  H01L21/0271