半導体加工用テープ、及び半導体加工用テープの製造方法

    公开(公告)号:JP2018195822A

    公开(公告)日:2018-12-06

    申请号:JP2018094014

    申请日:2018-05-15

    发明人: 小山 太一

    IPC分类号: H01L23/29 H01L23/31 H01L21/60

    CPC分类号: H01L23/29 H01L23/31

    摘要: 【課題】アンダーフィルフィルム用接着剤層にアクリル系の粘着剤層をラミネートした場合であっても、良好な使用可能期間を達成可能な半導体加工用テープを提供する。 【解決手段】半導体加工用テープ1は、基材層2と、基材層上に設けられた粘着剤層3と、粘着剤層上に設けられたエポキシ樹脂及びアクリル樹脂などから成る接着剤層4とを備える。粘着剤層がアクリル系共重合体と架橋剤とを含有し、アクリル系共重合体の酸価が1.0mgKOH/g以下である。 【選択図】図1