半導体装置およびその製造方法
    10.
    发明专利
    半導体装置およびその製造方法 有权
    半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:JP2015153958A

    公开(公告)日:2015-08-24

    申请号:JP2014027936

    申请日:2014-02-17

    Abstract: 【課題】超高耐圧で低オン抵抗の半導体装置を提供する。 【解決手段】実施形態の半導体装置は、p型の第1のダイヤモンド半導体層と、第1のダイヤモンド半導体層上に配置され、p型不純物濃度が第1のダイヤモンド半導体層のp型不純物濃度より低く、表面が酸素終端されたp型の第2のダイヤモンド半導体層と、第2のダイヤモンド半導体層上に配置され、表面が酸素終端された複数のn型の第3のダイヤモンド半導体層と、第2のダイヤモンド半導体層上および複数の第3のダイヤモンド半導体層上に配置され、第2のダイヤモンド半導体層および複数の第3のダイヤモンド半導体層との接合がショットキー接合である第1の電極と、を備える。 【選択図】図1

    Abstract translation: 要解决的问题:提供具有超高击穿电压和低导通电阻的半导体器件。解决方案:根据实施例的半导体器件包括:p型第一金刚石半导体层; p型第二金刚石半导体层,其布置在第一金刚石半导体层上,并且p型杂质浓度低于第一金刚石半导体层的p型杂质浓度,其表面为氧端接; 以及多个n型第三金刚石半导体层,其布置在所述第二金刚石半导体层上,并且其表面是氧端接的; 以及布置在第二金刚石半导体层和多个第三金刚石半导体层上并与第二金刚石半导体层和多个第三金刚石半导体层形成肖特基结的第一电极。

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