半導体発光素子用基板、および、半導体発光素子

    公开(公告)号:JP2018061057A

    公开(公告)日:2018-04-12

    申请号:JP2017236272

    申请日:2017-12-08

    IPC分类号: H01L33/22

    摘要: 【課題】半導体発光素子における光の取り出し効率を高めることの可能な半導体発光素子用基板、および、半導体発光素子を提供する。 【解決手段】半導体発光素子用基板であって、半導体層を含む発光構造体が形成される発光構造体形成面を有し、発光構造体形成面は、基板の1つの結晶面に沿って広がる平坦部14と、平坦部14から突き出た複数の大径突部12と、大径突部12よりも小さい複数の小径突部13と、を備え、複数の小径突部13のうちの少なくとも一部は、大径突部12の外表面から突き出ている第1の小径突部13であり、大径突部12は、平坦部14に接続する基端と先端とを有し、大径突部12の先端よりも基端の方で、相互に隣接する前記第1の小径突部13の間における溝の深さが浅い。 【選択図】図2

    窒化物半導体発光素子
    10.
    发明专利

    公开(公告)号:JPWO2015186478A1

    公开(公告)日:2017-04-20

    申请号:JP2016525747

    申请日:2015-05-12

    IPC分类号: H01L33/24 H01L33/32

    摘要: 窒化物半導体発光素子は、基板(1)と、基板(1)の上に順に設けられたn型窒化物半導体層(7)、単一量子井戸構造又は多重量子井戸構造を含む発光層(15)、及び、p型窒化物半導体層(17)とを備える。n型窒化物半導体層(7)は、基板(1)側から発光層(15)側へ向かう方向に順に設けられた第1n型窒化物半導体層(9)、第2n型窒化物半導体層(11)、及び、第3n型窒化物半導体層(13)を有する。第2n型窒化物半導体層(11)のn型ドーパント濃度が、第1n型窒化物半導体層(9)のn型ドーパント濃度よりも低い。第3n型窒化物半導体層(13)のn型ドーパント濃度が、第2n型窒化物半導体層(11)のn型ドーパント濃度よりも高い。第2n型窒化物半導体層(11)と第3n型窒化物半導体層(13)と発光層(15)とには、Vピット構造(27)が部分的に形成されている。Vピット構造(27)の開始点(27C)の平均的な位置は、第2n型窒化物半導体層(11)内に存在する。