반도체 장치의 제조 방법
    9.
    发明公开
    반도체 장치의 제조 방법 审中-实审
    制造半导体器件的方法

    公开(公告)号:KR1020160102214A

    公开(公告)日:2016-08-29

    申请号:KR1020167018602

    申请日:2014-12-22

    摘要: 보이드가적은반도체장치를제조할수 있는반도체장치의제조방법을제공한다. 칩실장기판, 칩실장기판위에배치된열경화성수지시트, 및열경화성수지시트와접하는중앙부및 중앙부의주변에배치된주변부를구비하는필름을구비하는적층체의주변부를칩 실장기판과접하는스테이지에압박함으로써, 스테이지및 필름을구비하는밀폐용기를형성하는공정과, 밀폐용기의외부의압력을밀폐용기의내부의압력보다높이는것에의해, 반도체칩을열경화성수지시트로덮으면서, 기판과반도체칩의갭에열경화성수지시트를충전하는공정을포함하는반도체장치의제조방법에관한것이다.

    摘要翻译: 提供一种制造能够制造空隙少的半导体装置的半导体装置的方法。 通过按压具有芯片安装板的层叠体的外周,设置在所述热固性树脂片的周边上,和该热固性树脂片,并与中心部分和设置在芯片安装板的阶段与所述芯片安装板接触的中央部接触其周边部分的膜 ,通过所述方法和所述密闭容器的外部压力,以形成设置有级和膜高度低于密闭容器的压力的内部的密闭容器中,而覆盖所述半导体芯片,热固性树脂片,基板和半导体芯片之间的间隙 以及填充热固性树脂片的步骤。