온도 제어 유닛용 써멀 클러치 및 그 방법
    3.
    发明公开
    온도 제어 유닛용 써멀 클러치 및 그 방법 审中-实审
    用于温度控制单元的热离合器及其方法

    公开(公告)号:KR1020170073505A

    公开(公告)日:2017-06-28

    申请号:KR1020160170695

    申请日:2016-12-14

    IPC分类号: G01R31/28

    摘要: 집적칩과같은전자소자를테스트하기위한장치, 시스템및 방법을특징으로한다. 이러한테스트방법은열에너지를흡수하는가변히트싱크와열에너지를선택적으로전달하는열원부재사이에써멀클러치를배치하는것을포함한다. 써멀클러치가제1 방식으로작동할때, 써멀클러치는가변히트싱크를테스트중인전자소자(DUT)에열적으로접속시키고, 상기써멀클러치가제2 방식으로작동할때, 써멀클러치는가변히트싱크를 DUT로부터열적으로분리시킨다. 써멀클러치가제2 방식으로작동할때, 열원부재는 DUT에열적으로접속되고, 열적으로접속된 DUT에제공되는열에너지를발생시키도록작동한다.

    摘要翻译: 用于测试集成芯片等电子设备的系统和方法。 这种测试方法包括将热离合器设置在用于吸收热能的可变散热器和用于选择性地传输热能的热源构件之间。 当热离合器在第一方式中,当连接和热连接到测试中的可变散热器的热离合器以第二方式操作电子设备(DUT)的热离合器操作时,热离合器具有可变的散热器 与DUT热分离。 当热离合器以第二模式操作时,热源构件热连接到DUT并且操作以产生提供给热连接的DUT的热能。

    웨이퍼 레벨 Z-축 서멀 인터포저를 위한 광패턴화가능한 실리콘
    4.
    发明公开
    웨이퍼 레벨 Z-축 서멀 인터포저를 위한 광패턴화가능한 실리콘 审中-实审
    用于晶圆级Z轴热内插器的可光刻图案硅

    公开(公告)号:KR1020170041688A

    公开(公告)日:2017-04-17

    申请号:KR1020177000813

    申请日:2015-05-29

    摘要: 저응력광패턴화가능한실리콘을사용하는서멀인터포저(thermal interposer)의제조방법이제공되며, 이러한서멀인터포저는 LED, 로직및 메모리소자및 열관리가요구되는다른그러한반도체제품의패키징내로공급되는전자제품의생산에서의사용을위한것이다. 광패턴화가능한실리콘조성물, 열전도성재료및 저융점순응성솔더가완전한반도체패키지모듈을형성한다. 광패턴화가능한실리콘을웨이퍼의표면상에적용하고, 선택적으로방사선조사하여개구들을형성하는데, 개구들은사용자에게명확한접합라인두께제어를제공한다. 이어서, 개구들에고전도성페이스트를충전하여고전도성서멀링크(thermal link)를형성한다. 이어서, 저융점경화성솔더를적용하는데, 이때솔더는실리콘뿐만아니라열 전도성경로도습윤시키며, 이는구조화된 z-축서멀인터포저와웨이퍼또는 PCB일수 있는기판및/또는히트싱크사이의낮은열 접촉저항으로이어진다.

    摘要翻译: 低应力,提供了生产使用硅的热插器(热插器)的方法,光学图案化可能的,例如热插器的LED,逻辑和存储器件以及E是热管理被送入的需要等半导体产品的包装 它旨在用于生产产品。 光图案化有机硅组合物,导热材料和低熔点柔性焊料形成完整的半导体封装模块。 以施加图案化的光尽可能在硅晶片的表面上,有选择地形成通过照射开口,小孔提供清晰的粘结层厚度控制给用户。 然后用导电膏填充开口以形成高度导电的热连接。 然后,以施加低熔点固化焊料,其中所述焊料是sikimyeo以及硅热传导路径,水分其中结构化z轴热插板和晶片或衬底和/或散热器,其PCB天之间的低的接触热阻 它导致。