鍍覆裝置以及使用於該鍍覆裝置之清潔裝置
    52.
    发明专利
    鍍覆裝置以及使用於該鍍覆裝置之清潔裝置 审中-公开
    镀覆设备以及使用于该镀覆设备之清洁设备

    公开(公告)号:TW201514347A

    公开(公告)日:2015-04-16

    申请号:TW103133878

    申请日:2014-09-30

    IPC分类号: C25D17/00 C25D21/08

    摘要: 提供一種無須增大設置面積,可減少附著於基板保持器之鍍覆液,進一步可對基板連續進行多階段鍍覆之鍍覆裝置。 本發明之鍍覆裝置具備:浸漬式鍍覆槽34,其係保持浸漬保持基板W之基板保持器8的第一鍍覆液;乾式鍍覆槽35,其係保持第二鍍覆液,並在側壁36具有孔36a;及按壓機構115,其係將保持基板W之基板保持器8按壓於乾式鍍覆槽35的側壁36,並以保持基板W之基板保持器8堵住孔36a。基板保持器8具備:第一密封部66,其係密封基板W與保持部件58之間的間隙;第二密封部68,其係密封基底部件54與保持部件58之間的間隙;及第三密封部69,其係密封保持部件58與乾式鍍覆槽35的側壁36之間的間隙。

    简体摘要: 提供一种无须增大设置面积,可减少附着于基板保持器之镀覆液,进一步可对基板连续进行多阶段镀覆之镀覆设备。 本发明之镀覆设备具备:浸渍式镀覆槽34,其系保持浸渍保持基板W之基板保持器8的第一镀覆液;干式镀覆槽35,其系保持第二镀覆液,并在侧壁36具有孔36a;及按压机构115,其系将保持基板W之基板保持器8按压于干式镀覆槽35的侧壁36,并以保持基板W之基板保持器8堵住孔36a。基板保持器8具备:第一密封部66,其系密封基板W与保持部件58之间的间隙;第二密封部68,其系密封基底部件54与保持部件58之间的间隙;及第三密封部69,其系密封保持部件58与干式镀覆槽35的侧壁36之间的间隙。