化合物半導體裝置及其製造方法
    2.
    发明专利
    化合物半導體裝置及其製造方法 审中-公开
    化合物半导体设备及其制造方法

    公开(公告)号:TW201413961A

    公开(公告)日:2014-04-01

    申请号:TW102125224

    申请日:2013-07-15

    IPC分类号: H01L29/78 H01L21/28

    摘要: 一種化合物半導體裝置包括:一第一層;一第二層,係能帶間隙比該第一層大,且形成在該第一層上方;一第三層,其具有一p型導電型,且形成在該第二層上方;一閘極電極,係透過該第三層形成在該第二層上方;一第四層,係能帶間隙比該第二層大,且形成為與在該第二層上方之該第三層接觸;及一第五層,係能帶間隙比該第四層小,且形成為與在該第四層上方之該第三層接觸,作為多數化合物半導體層。

    简体摘要: 一种化合物半导体设备包括:一第一层;一第二层,系能带间隙比该第一层大,且形成在该第一层上方;一第三层,其具有一p型导电型,且形成在该第二层上方;一闸极电极,系透过该第三层形成在该第二层上方;一第四层,系能带间隙比该第二层大,且形成为与在该第二层上方之该第三层接触;及一第五层,系能带间隙比该第四层小,且形成为与在该第四层上方之该第三层接触,作为多数化合物半导体层。