公开(公告)号：US3280019A

公开(公告)日：1966-10-18

申请号：US29258663

申请日：1963-07-03

Applicant: IBM

Inventor： HARDING WILLIAM E ,  SCHWARTZ ROBERT S

IPC: H01L21/288 ,  H01L21/304 ,  H01L21/316 ,  H01L21/56 ,  H01L21/68 ,  H01L21/78 ,  H01L23/29 ,  H01L23/31

CPC classification number: H01L21/6835 ,  H01L21/2885 ,  H01L21/3043 ,  H01L21/316 ,  H01L21/56 ,  H01L21/78 ,  H01L23/291 ,  H01L23/3157 ,  H01L2224/16 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2924/01012 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01066 ,  H01L2924/01078 ,  Y10T29/49789

公开(公告)号：US3301213A

公开(公告)日：1967-01-31

申请号：US23245662

申请日：1962-10-23

Applicant: IBM

Inventor： GROCHOWSKI EDWARD G ,  SCHWARTZ ROBERT S ,  WHITE WILLIAM H

IPC: C23C16/00 ,  C30B25/08 ,  C30B35/00 ,  H01L21/20

CPC classification number: C30B35/00 ,  C23C16/00 ,  C30B25/08

公开(公告)号：US3025763A

公开(公告)日：1962-03-20

申请号：US82323859

申请日：1959-06-26

Applicant: IBM

Inventor： SCHWARTZ ROBERT S ,  MILTON GENSER

IPC: G02B5/20

CPC classification number: G02B5/207

公开(公告)号：US3001895A

公开(公告)日：1961-09-26

申请号：US66406957

申请日：1957-06-06

Applicant: IBM

Inventor： SCHWARTZ ROBERT S ,  SLADE BERNARD N

IPC: C30B31/04 ,  H01L21/00 ,  H01L21/18 ,  H01L21/228 ,  H01L21/24 ,  H01L29/00 ,  H01L29/73

CPC classification number: H01L29/00 ,  C30B31/04 ,  H01L21/00 ,  H01L21/18 ,  H01L21/228 ,  H01L21/24 ,  H01L29/73

公开(公告)号：US3034478A

公开(公告)日：1962-05-15

申请号：US82625759

申请日：1959-07-10

Applicant: IBM

Inventor： SCHWARTZ ROBERT S

IPC: B23K3/06 ,  C23C2/00

CPC classification number: C23C2/00 ,  B23K3/06