公开(公告)号：US08034250B2

公开(公告)日：2011-10-11

申请号：US12922824

申请日：2009-03-18

申请人： Jumpei Hayashi ,  Zuyi Zhang ,  Toshihiro Ifuku ,  Satoshi Wada ,  Keisuke Yamato ,  Nobuhiro Kumada ,  Masaki Azuma ,  Hiroshi Funakubo ,  Takashi Iijima ,  Soichiro Okamura

发明人： Jumpei Hayashi ,  Zuyi Zhang ,  Toshihiro Ifuku ,  Satoshi Wada ,  Keisuke Yamato ,  Nobuhiro Kumada ,  Masaki Azuma ,  Hiroshi Funakubo ,  Takashi Iijima ,  Soichiro Okamura

IPC分类号： C04B35/00 ,  C04B35/495

CPC分类号： H01L41/187 ,  C01G23/003 ,  C01G23/006 ,  C01G29/00 ,  C01P2002/34 ,  C01P2002/76 ,  C01P2004/20 ,  C01P2004/61 ,  C01P2004/62 ,  C01P2006/42 ,  C04B35/462 ,  C04B35/4682 ,  C04B35/475 ,  C04B35/499 ,  C04B35/547 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3224 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/3255 ,  C04B2235/3284 ,  C04B2235/3298

摘要： Provided is a piezoelectric material including a lead-free perovskite-type composite oxide which is excellent in piezoelectric characteristics and temperature characteristics and is represented by the general formula (1): xABO3-yA′BO3-zA″B′O3 in which A is a Bi element; A′ is a rare earth element including La; B is at least one element selected from Ti, Zn, Sn and Zr; A″ is at least one element selected from Ba, Sr and Ca; B′ is at least one element selected from divalent, trivalent, pentavalent, tetravalent, and hexavalent elements; and x is a value of 0.10 or more and 0.95 or less, y is a value of 0 or more and 0.5 or less, and z is a value of 0 or more and 0.7 or less, provided that x+y+z=1.

摘要翻译： 提供一种压电材料，其包括压电特性和温度特性优异的无铅钙钛矿型复合氧化物，并由通式（1）表示：XABO3-yA'BO3-zA“B'O3，其中A为 铋元素 A'是包括La的稀土元素; B是选自Ti，Zn，Sn和Zr中的至少一种元素; A“是选自Ba，Sr和Ca中的至少一种元素; B'是选自二价，三价，五价，四价和六价元素中的至少一种元素; x为0.10以上且0.95以下的值，y为0以上且0.5以下的范围，z为0以上且0.7以下的值，但x + y + z = 1 。

公开(公告)号：US20110012050A1

公开(公告)日：2011-01-20

申请号：US12922824

申请日：2009-03-18

申请人： Jumpei Hayashi ,  Zuyi Zhang ,  Toshihiro Ifuku ,  Satoshi Wada ,  Keisuke Yamato ,  Nobuhiro Kumada ,  Masaki Azuma ,  Hiroshi Funakubo ,  Takashi Iijima ,  Soichiro Okamura

发明人： Jumpei Hayashi ,  Zuyi Zhang ,  Toshihiro Ifuku ,  Satoshi Wada ,  Keisuke Yamato ,  Nobuhiro Kumada ,  Masaki Azuma ,  Hiroshi Funakubo ,  Takashi Iijima ,  Soichiro Okamura

IPC分类号： H01L41/18

CPC分类号： H01L41/187 ,  C01G23/003 ,  C01G23/006 ,  C01G29/00 ,  C01P2002/34 ,  C01P2002/76 ,  C01P2004/20 ,  C01P2004/61 ,  C01P2004/62 ,  C01P2006/42 ,  C04B35/462 ,  C04B35/4682 ,  C04B35/475 ,  C04B35/499 ,  C04B35/547 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3224 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/3255 ,  C04B2235/3284 ,  C04B2235/3298

摘要： Provided is a piezoelectric material including a lead-free perovskite-type composite oxide which is excellent in piezoelectric characteristics and temperature characteristics and is represented by the general formula (1): xABO3-yA′BO3-zA″B′O3 in which A is a Bi element; A′ is a rare earth element including La; B is at least one element selected from Ti, Zn, Sn and Zr; A″ is at least one element selected from Ba, Sr and Ca; B′ is at least one element selected from divalent, trivalent, pentavalent, tetravalent, and hexavalent elements; and x is a value of 0.10 or more and 0.95 or less, y is a value of 0 or more and 0.5 or less, and z is a value of 0 or more and 0.7 or less, provided that x+y+z=1.

摘要翻译： 提供一种压电材料，其包括压电特性和温度特性优异的无铅钙钛矿型复合氧化物，并由通式（1）表示：XABO3-yA'BO3-zA“B'O3，其中A为 铋元素 A'是包括La的稀土元素; B是选自Ti，Zn，Sn和Zr中的至少一种元素; A“是选自Ba，Sr和Ca中的至少一种元素; B'是选自二价，三价，五价，四价和六价元素中的至少一种元素; x为0.10以上且0.95以下的值，y为0以上且0.5以下的范围，z为0以上且0.7以下的值，但x + y + z = 1 。

公开(公告)号：US08529785B2

公开(公告)日：2013-09-10

申请号：US12508968

申请日：2009-07-24

申请人： Makoto Kubota ,  Kaoru Miura ,  Toshihiro Ifuku ,  Jumpei Hayashi ,  Masaki Azuma ,  Olga Alexandrovna Smirnova ,  Hiroshi Funakubo ,  Hiroshi Uchida ,  Nobuhiro Kumada ,  Satoshi Wada ,  Takashi Iijima ,  Soichiro Okamura

发明人： Makoto Kubota ,  Kaoru Miura ,  Toshihiro Ifuku ,  Jumpei Hayashi ,  Masaki Azuma ,  Olga Alexandrovna Smirnova ,  Hiroshi Funakubo ,  Hiroshi Uchida ,  Nobuhiro Kumada ,  Satoshi Wada ,  Takashi Iijima ,  Soichiro Okamura

IPC分类号： C04B35/495 ,  C04B35/00 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187

CPC分类号： H01L41/1878 ,  C04B35/2658 ,  C04B35/44 ,  C04B35/475 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3272 ,  C04B2235/3284 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/441 ,  C04B2235/449 ,  C04B2235/76 ,  C04B2235/765 ,  C04B2235/768 ,  H01L41/318 ,  Y10T428/265

摘要： Provided is a piezoelectric material excellent in piezoelectricity. The piezoelectric material includes a perovskite-type complex oxide represented by the following General Formula (1). A(ZnxTi(1-x))yM(1-y)O3  (1) wherein A represents at least one kind of element containing at least a Bi element and selected from a trivalent metal element; M represents at least one kind of element of Fe, Al, Sc, Mn, Y, Ga, and Yb; x represents a numerical value satisfying 0.4≦x≦0.6; and y represents a numerical value satisfying 0.1≦y≦0.9.

摘要翻译： 提供压电性优异的压电材料。 压电材料包括由以下通式（1）表示的钙钛矿型复合氧化物。 A（Zn x Ti（1-x））yM（1-y）O 3（1）其中A表示至少一种至少含有Bi元素并选自三价金属元素的元素; M表示Fe，Al，Sc，Mn，Y，Ga和Yb中的至少一种元素; x表示满足0.4 @ x @ 0.6的数值; y表示满足0.1≤y≤0.9的数值。

公开(公告)号：US20100025617A1

公开(公告)日：2010-02-04

申请号：US12508968

申请日：2009-07-24

申请人： Makoto Kubota ,  Kaoru Miura ,  Toshihiro Ifuku ,  Jumpei Hayashi ,  Masaki Azuma ,  Olga Alexandrovna Smirnova ,  Hiroshi Funakubo ,  Hiroshi Uchida ,  Nobuhiro Kumada ,  Satoshi Wada ,  Takashi Iijima ,  Soichiro Okamura

发明人： Makoto Kubota ,  Kaoru Miura ,  Toshihiro Ifuku ,  Jumpei Hayashi ,  Masaki Azuma ,  Olga Alexandrovna Smirnova ,  Hiroshi Funakubo ,  Hiroshi Uchida ,  Nobuhiro Kumada ,  Satoshi Wada ,  Takashi Iijima ,  Soichiro Okamura

IPC分类号： C04B35/462

CPC分类号： H01L41/1878 ,  C04B35/2658 ,  C04B35/44 ,  C04B35/475 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3272 ,  C04B2235/3284 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/441 ,  C04B2235/449 ,  C04B2235/76 ,  C04B2235/765 ,  C04B2235/768 ,  H01L41/318 ,  Y10T428/265

摘要： Provided is a piezoelectric material excellent in piezoelectricity. The piezoelectric material includes a perovskite-type complex oxide represented by the following General Formula (1). A (ZnxTi1-x))yM(1-y)O3  (1) wherein A represents at least one kind of element containing at least a Bi element and selected from a trivalent metal element; M represents at least one kind of element of Fe, Al, Sc, Mn, Y, Ga, and Yb; x represents a numerical value satisfying 0.4≦x≦0.6; and y represents a numerical value satisfying 0.1≦y≦0.9.

摘要翻译： 提供压电性优异的压电材料。 压电材料包括由以下通式（1）表示的钙钛矿型复合氧化物。 A（Zn x Ti 1-x））yM（1-y）O 3（1）其中A表示至少一种至少含有Bi元素并选自三价金属元素的元素; M表示Fe，Al，Sc，Mn，Y，Ga和Yb中的至少一种元素; x表示满足0.4 <= x <= 0.6的数值; y表示满足0.1 <= y <0.9的数值。

公开(公告)号：US07931821B2

公开(公告)日：2011-04-26

申请号：US12639473

申请日：2009-12-16

申请人： Hiroshi Saito ,  Takanori Matsuda ,  Kaoru Miura ,  Kenji Takashima ,  Masaki Azuma ,  Takashi Iijima ,  Hiroshi Funakubo ,  Soichiro Okamura ,  Nobuhiro Kumada ,  Satoshi Wada

发明人： Hiroshi Saito ,  Takanori Matsuda ,  Kaoru Miura ,  Kenji Takashima ,  Masaki Azuma ,  Takashi Iijima ,  Hiroshi Funakubo ,  Soichiro Okamura ,  Nobuhiro Kumada ,  Satoshi Wada

IPC分类号： C04B35/495 ,  C04B35/00

CPC分类号： H01L41/187 ,  C01B21/0821 ,  C01P2002/34 ,  C01P2002/77 ,  C04B35/58 ,  C04B35/58014 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3236 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3287 ,  C04B2235/3293 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/3873 ,  C04B2235/3886 ,  C04B2235/3895 ,  C04B2235/465 ,  C04B2235/6025 ,  C04B2235/761 ,  C04B2235/765 ,  C04B2235/768 ,  C04B2235/787 ,  H01L41/43

摘要： An oxynitride piezoelectric material, which exhibits ferroelectricity and has good piezoelectric properties, and a method of producing the oxynitride piezoelectric material. The oxynitride piezoelectric material includes a tetragonal perovskite-type oxynitride represented by the following general formula (1): A1−xBix+δ1B1−yB′y+δ2O3−zNz  (1), where A represents a divalent element, B and B′ each represent a tetravalent element, x represents a numerical value of 0.35 or more to 0.6 or less, y represents a numerical value of 0.35 or more to 0.6 or less, z represents a numerical value of 0.35 or more to 0.6 or less, and δ1 and δ2 each represent a numerical value of −0.2 or more to 0.2 or less, in which the A includes at least one kind selected from Ba, Sr, and Ca and the B and the B′ each include at least one kind selected from Ti, Zr, Hf, Si, Ge, and Sn.

摘要翻译： 表现出铁电性并且具有良好的压电性能的氮氧化合物压电材料以及氮氧化合物压电材料的制造方法。 氮氧化物压电材料包括由以下通式（1）表示的四方晶系钙钛矿型氧氮化物：A1-xBix +δ1B1-yB'y +δ2O3-zNz（1）其中A表示二价元素，B和B'各自 表示四价元素，x表示0.35以上且0.6以下的数值，y表示0.35以上且0.6以下的数值，z表示0.35以上且0.6以下的数值，δ表示 δ2分别表示-0.2以上0.2以下的数值，其中A包含选自Ba，Sr，Ca中的至少一种，B和B'分别为选自Ti， Zr，Hf，Si，Ge和Sn。

公开(公告)号：US20100155647A1

公开(公告)日：2010-06-24

申请号：US12639473

申请日：2009-12-16

申请人： Hiroshi Saito ,  Takanori Matsuda ,  Kaoru Miura ,  Kenji Takashima ,  Masaki Azuma ,  Takashi Iijima ,  Hiroshi Funakubo ,  Soichiro Okamura ,  Nobuhiro Kumada ,  Satoshi Wada

发明人： Hiroshi Saito ,  Takanori Matsuda ,  Kaoru Miura ,  Kenji Takashima ,  Masaki Azuma ,  Takashi Iijima ,  Hiroshi Funakubo ,  Soichiro Okamura ,  Nobuhiro Kumada ,  Satoshi Wada

IPC分类号： H01L41/187

CPC分类号： H01L41/187 ,  C01B21/0821 ,  C01P2002/34 ,  C01P2002/77 ,  C04B35/58 ,  C04B35/58014 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3236 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3287 ,  C04B2235/3293 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/3873 ,  C04B2235/3886 ,  C04B2235/3895 ,  C04B2235/465 ,  C04B2235/6025 ,  C04B2235/761 ,  C04B2235/765 ,  C04B2235/768 ,  C04B2235/787 ,  H01L41/43

摘要： Provided are an oxynitride piezoelectric material which exhibits ferroelectricity and has good piezoelectric properties and a method of producing the oxynitride piezoelectric material. The oxynitride piezoelectric material includes a tetragonal perovskite-type oxynitride represented by the following general formula (1): A1-xBix+δ1B1-yB′y+δ2O3-zNz  (1) where A represents a divalent element, B and B′ each represent a tetravalent element, x represents a numerical value of 0.35 or more to 0.6 or less, y represents a numerical value of 0.35 or more to 0.6 or less, z represents a numerical value of 0.35 or more to 0.6 or less, and δ1 and δ2 each represent a numerical value of −0.2 or more to 0.2 or less, in which the A includes at least one kind selected from Ba, Sr, and Ca and the B and the B′ each include at least one kind selected from Ti, Zr, Hf, Si, Ge, and Sn.

摘要翻译： 本发明提供一种表现出铁电性并且具有良好的压电性能的氮氧化合物压电材料以及制造氮氧化合物压电材料的方法。 氮氧化物压电材料包括由以下通式（1）表示的四方晶系钙钛矿型氧氮化物：A1-xBix +δ1B1-yB'y +δ2O3-zNz（1）其中A表示二价元素，B和B'各自表示 四价元素，x表示0.35以上且0.6以下的数值，y表示0.35以上且0.6以下的数值，z表示0.35以上且0.6以下的数值，δ1和δ2 各自表示-0.2以上至0.2以下的数值，其中A包括选自Ba，Sr和Ca中的至少一种，B和B'各自包含选自Ti，Zr中的至少一种 ，Hf，Si，Ge和Sn。

公开(公告)号：US20090315432A1

公开(公告)日：2009-12-24

申请号：US12470699

申请日：2009-05-22

申请人： Tatsuo Furuta ,  Kaoru Miura ,  Kenichi Takeda ,  Makoto Kubota ,  Hiroshi Funakubo ,  Masaki Azuma ,  Nobuhiro Kumada ,  Satoshi Wada ,  Takashi Iijima ,  Soichiro Okamura

发明人： Tatsuo Furuta ,  Kaoru Miura ,  Kenichi Takeda ,  Makoto Kubota ,  Hiroshi Funakubo ,  Masaki Azuma ,  Nobuhiro Kumada ,  Satoshi Wada ,  Takashi Iijima ,  Soichiro Okamura

IPC分类号： H01L41/187 ,  C04B35/468 ,  H01L41/047

CPC分类号： C04B35/645 ,  C01G23/002 ,  C01P2006/40 ,  C04B35/01 ,  C04B35/16 ,  C04B35/468 ,  C04B35/4682 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3287 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/444 ,  C04B2235/761 ,  C04B2235/765 ,  C04B2235/768 ,  H01L41/1871

摘要： Provided are a piezoelectric material without using lead or an alkali metal, the piezoelectric material having a stable crystal structure in a wide temperature range, high insulation property, and high piezoelectric property, and a piezoelectric element using the piezoelectric material, in which the piezoelectric material is made of a metal oxide having a tetragonal crystal structure and expressed by Ba(SixGeyTiz)O3 (here, 0≦x≦1, 0≦y≦1, and 0≦z≦0.5), the piezoelectric element includes the piezoelectric material and a pair of electrodes sandwiching the piezoelectric material, and at least one of the pair of electrodes is made of SrRuO3 or Ni.

摘要翻译： 提供一种不使用铅或碱金属的压电材料，压电材料在宽温度范围内具有稳定的晶体结构，高绝缘性和高压电性，以及使用压电材料的压电元件，其中压电材料 由具有四方晶体结构并由Ba（SixGeyTiz）O 3（这里，0 <= x <= 1,0 <= y <= 1，0 <= z <= 0.5）表示的金属氧化物制成，压电 元件包括压电材料和夹着压电材料的一对电极，并且该对电极中的至少一个由SrRuO 3或Ni制成。

公开(公告)号：US07906889B2

公开(公告)日：2011-03-15

申请号：US12470699

申请日：2009-05-22

申请人： Tatsuo Furuta ,  Kaoru Miura ,  Kenichi Takeda ,  Makoto Kubota ,  Hiroshi Funakubo ,  Masaki Azuma ,  Nobuhiro Kumada ,  Satoshi Wada ,  Takashi Iijima ,  Soichiro Okamura

发明人： Tatsuo Furuta ,  Kaoru Miura ,  Kenichi Takeda ,  Makoto Kubota ,  Hiroshi Funakubo ,  Masaki Azuma ,  Nobuhiro Kumada ,  Satoshi Wada ,  Takashi Iijima ,  Soichiro Okamura

IPC分类号： H01L41/187 ,  H01L41/047 ,  C04B35/00

CPC分类号： C04B35/645 ,  C01G23/002 ,  C01P2006/40 ,  C04B35/01 ,  C04B35/16 ,  C04B35/468 ,  C04B35/4682 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3287 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/444 ,  C04B2235/761 ,  C04B2235/765 ,  C04B2235/768 ,  H01L41/1871

摘要： Provided are a piezoelectric material without using lead or an alkali metal, the piezoelectric material having a stable crystal structure in a wide temperature range, high insulation property, and high piezoelectric property, and a piezoelectric element using the piezoelectric material, in which the piezoelectric material is made of a metal oxide having a tetragonal crystal structure and expressed by Ba(SixGeyTiz)O3 (here, 0≦x≦1, 0≦y≦1, and 0≦z≦0.5), the piezoelectric element includes the piezoelectric material and a pair of electrodes sandwiching the piezoelectric material, and at least one of the pair of electrodes is made of SrRuO3 or Ni.

摘要翻译： 提供一种不使用铅或碱金属的压电材料，压电材料在宽温度范围内具有稳定的晶体结构，高绝缘性和高压电性，以及使用压电材料的压电元件，其中压电材料 由具有四方晶系结构并由Ba（SixGeyTiz）O3（这里为0＆lt; nlE; x＆nlE; 1,0＆amp; nlE; y＆nlE; 1和0＆nlE; z＆nlE; 0.5）表示的金属氧化物制成，压电元件包括​​压电材料和 夹着压电材料的一对电极，所述一对电极中的至少一个由SrRuO 3或Ni制成。

公开(公告)号：US09461238B2

公开(公告)日：2016-10-04

申请号：US13581429

申请日：2011-02-28

申请人： Makoto Kubota ,  Kenichi Takeda ,  Jumpei Hayashi ,  Mikio Shimada ,  Yuichi Shimakawa ,  Masaki Azuma ,  Yoshitaka Nakamura ,  Masanori Kawai

发明人： Makoto Kubota ,  Kenichi Takeda ,  Jumpei Hayashi ,  Mikio Shimada ,  Yuichi Shimakawa ,  Masaki Azuma ,  Yoshitaka Nakamura ,  Masanori Kawai

IPC分类号： H01L41/18 ,  H01L41/187 ,  B41J2/14 ,  H01L41/047 ,  H01L41/08 ,  H01L41/318 ,  H02N2/10 ,  H02N2/16 ,  H01L41/09

CPC分类号： H01L41/1878 ,  B41J2/14233 ,  H01L41/0478 ,  H01L41/081 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/318 ,  H02N2/106 ,  H02N2/163 ,  Y10T29/42

摘要： Provided are a piezoelectric thin film having good piezoelectricity in which a rhombohedral structure and a tetragonal structure are mixed, and a piezoelectric element using the piezoelectric thin film. The piezoelectric thin film includes a perovskite type metal oxide, in which the perovskite type metal oxide is a mixed crystal system of at least a rhombohedral structure and a tetragonal structure, and a ratio between an a-axis lattice parameter and a c-axis lattice parameter of the tetragonal structure satisfies 1.15≦c/a≦1.30. The piezoelectric element includes on a substrate: the above-mentioned piezoelectric thin film; and a pair of electrodes provided in contact with the piezoelectric thin film.

摘要翻译： 提供一种压电薄膜，其具有混合菱方结构和四边形结构的压电性，以及使用压电薄膜的压电元件。 压电薄膜包括钙钛矿型金属氧化物，其中钙钛矿型金属氧化物是至少具有菱方结构和四方结构的混晶系统，a轴晶格参数与c轴晶格之比 四方结构的参数满足1.15≤c/a≤1.30。 压电元件包括​​在基板上：上述压电薄膜; 以及设置成与压电薄膜接触的一对电极。

公开(公告)号：US20120319533A1

公开(公告)日：2012-12-20

申请号：US13581429

申请日：2011-02-28

申请人： Makoto Kubota ,  Kenichi Takeda ,  Jumpei Hayashi ,  Mikio Shimada ,  Yuichi Shimakawa ,  Masaki Azuma ,  Yoshitaka Nakamura ,  Masanori Kawai

发明人： Makoto Kubota ,  Kenichi Takeda ,  Jumpei Hayashi ,  Mikio Shimada ,  Yuichi Shimakawa ,  Masaki Azuma ,  Yoshitaka Nakamura ,  Masanori Kawai

IPC分类号： H01L41/18 ,  H01L41/22

CPC分类号： H01L41/1878 ,  B41J2/14233 ,  H01L41/0478 ,  H01L41/081 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/318 ,  H02N2/106 ,  H02N2/163 ,  Y10T29/42

摘要： Provided are a piezoelectric thin film having good piezoelectricity in which a rhombohedral structure and a tetragonal structure are mixed, and a piezoelectric element using the piezoelectric thin film. The piezoelectric thin film includes a perovskite type metal oxide, in which the perovskite type metal oxide is a mixed crystal system of at least a rhombohedral structure and a tetragonal structure, and a ratio between an a-axis lattice parameter and a c-axis lattice parameter of the tetragonal structure satisfies 1.15≦c/a≦1.30. The piezoelectric element includes on a substrate: the above-mentioned piezoelectric thin film; and a pair of electrodes provided in contact with the piezoelectric thin film.

摘要翻译： 提供一种压电薄膜，其具有混合菱方结构和四边形结构的压电性，以及使用压电薄膜的压电元件。 压电薄膜包括钙钛矿型金属氧化物，其中钙钛矿型金属氧化物是至少具有菱方结构和四方结构的混晶系统，a轴晶格参数与c轴晶格之比 四方结构的参数满足1.15＆nlE; c / a＆nlE; 1.30。 压电元件包括​​在基底上：上述压电薄膜; 以及设置成与压电薄膜接触的一对电极。