公开(公告)号：US07508510B2

公开(公告)日：2009-03-24

申请号：US11636786

申请日：2006-12-12

申请人： Galen L. Pfeiffer ,  Martin M. Liphardt ,  Blaine D. Johs ,  Craig M. Herzinger ,  Christopher A. Goeden ,  Ping He ,  John A. Woollam ,  James D. Welch

发明人： Galen L. Pfeiffer ,  Martin M. Liphardt ,  Blaine D. Johs ,  Craig M. Herzinger ,  Christopher A. Goeden ,  Ping He ,  John A. Woollam ,  James D. Welch

IPC分类号： G01J4/00

CPC分类号： G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0289 ,  G01N21/21 ,  G01N21/211 ,  G01N21/55 ,  G01N2021/213

摘要： System for and Method of analyzing a sample at substantially the exact same small spot thereon with a plurality of wavelengths using a lens system which provides the same focal length at at least two wavelengths at various positions thereof with respect to a sample, including analyzing data obtained at those wavelengths.

摘要翻译： 使用在相对于样本的各个位置处以至少两个波长提供相同焦距的透镜系统来分析具有多个波长的基本上与其上的基本上完全相同的小点处的样本的系统和方法，包括分析获得的数据 在那些波长。

公开(公告)号：US20150185136A1

公开(公告)日：2015-07-02

申请号：US14544706

申请日：2015-02-06

申请人： Martin M. Liphardt ,  Galen L. Pfeiffer

发明人： Martin M. Liphardt ,  Galen L. Pfeiffer

IPC分类号： G01N21/21 ,  H04N5/232

CPC分类号： G01N21/211 ,  G01N21/55 ,  H04N5/23212

摘要： In the context of an ellipsometer or the like, positioning a camera other than directly above a sample being investigated by an electromagnetic beam, while said camera provides an optical view of a surface of said sample which is in focus over the entire viewed extent of the sample, and wherein a contrast improving system involving two beams provided by a beam splitting system is utilized.

摘要翻译： 在椭偏仪等的上下文中，通过电磁光束将除正在研究的样品之外的相机定位，同时所述照相机提供所述样品的表面的光学视图，该光学视图在整个观察范围内聚焦 样本，并且其中利用涉及由分束系统提供的两个光束的对比度改善系统。

公开(公告)号：US08749782B1

公开(公告)日：2014-06-10

申请号：US13199311

申请日：2011-08-25

申请人： Martin M. Liphardt ,  Galen L. Pfeiffer

发明人： Martin M. Liphardt ,  Galen L. Pfeiffer

IPC分类号： G01J3/28

CPC分类号： G01J3/447 ,  G01J3/02 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0224 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/027 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/457 ,  G01N21/211 ,  G01N2021/213

摘要： Computer driven systems and methods involving at least one electromagnetic beam focuser and digital light processor that in combination serve to position selected wavelengths in a spectroscopic electromagnetic beam onto a small spot on a sample, and direct the one or more selected wavelengths reflected by the sample into, while diverting other wavelengths away from, a detector.

摘要翻译： 涉及至少一个电磁束聚焦器和数字光处理器的计算机驱动系统和方法，其组合起来将分光电磁波束中的选定波长定位在样品上的小点上，并将样品反射的一个或多个选定波长 ，同时将其他波长转移离开检测器。

公开(公告)号：US07821637B1

公开(公告)日：2010-10-26

申请号：US12070824

申请日：2008-02-21

申请人： Galen L. Pfeiffer ,  Martin M. Liphardt ,  James N. Hilfiker

发明人： Galen L. Pfeiffer ,  Martin M. Liphardt ,  James N. Hilfiker

IPC分类号： G01J4/00

CPC分类号： G01N21/211 ,  G01N2201/124

摘要： Disclosed is a system for controlling focus, angle of incidence and intensity of an electromagnetic beam over a spectrum of wavelengths, and methodology for optimizing investigation of samples which demonstrate low specular reflectance and/or are depolarizing of a polarized beam of electromagnetic radiation, such as solar cells.

摘要翻译： 公开了一种用于控制波长范围内的电磁束的聚焦，入射角和强度的系统，以及用于优化对具有低镜面反射率和/或正电极的偏振光束的去极化的样品的优化研究的方法，例如 太阳能电池。

公开(公告)号：US07327456B1

公开(公告)日：2008-02-05

申请号：US11145470

申请日：2005-06-06

申请人： John A. Woollam ,  Steven E. Green ,  Ping He ,  Blaine D. Johs ,  Craig M. Herzinger ,  Galen L. Pfeiffer ,  Brian D. Guenther ,  Martin M. Liphardt ,  Gerald T. Cooney

发明人： John A. Woollam ,  Steven E. Green ,  Ping He ,  Blaine D. Johs ,  Craig M. Herzinger ,  Galen L. Pfeiffer ,  Brian D. Guenther ,  Martin M. Liphardt ,  Gerald T. Cooney

IPC分类号： G01J4/00

CPC分类号： G01J3/02 ,  G01J1/02 ,  G01J1/0266 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0224 ,  G01J3/0235 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/0289 ,  G01J3/04 ,  G01J3/18 ,  G01J4/00 ,  G01N21/211

摘要： Disclosed are improvements in ellipsometer and the like systems capable of operating in the Vacuum-Ultra-Violet (VUV) to Near Infrared (NIR) wavelength range, and methodology of use.

摘要翻译： 公开了能够在真空 - 紫外（VUV）至近红外（NIR）波长范围内操作的椭偏仪等系统的改进以及使用方法。

公开(公告)号：US07317529B1

公开(公告)日：2008-01-08

申请号：US10928429

申请日：2004-08-27

申请人： Martin M. Liphardt ,  Ping He ,  Blaine D. Johs ,  Galen L. Pfeiffer ,  James D. Welch ,  John A. Woollam

发明人： Martin M. Liphardt ,  Ping He ,  Blaine D. Johs ,  Galen L. Pfeiffer ,  James D. Welch ,  John A. Woollam

IPC分类号： G01N21/88

CPC分类号： G01N21/211 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0216 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/10 ,  G01J4/00 ,  G01N21/55 ,  G01N2021/213

摘要： Systems and methods for providing and enhancing electromagnetic radiation beam radial energy homogeneity and intensity vs. wavelength content, for reliably directing electromagnetic radiation emitted by a source thereof in a common direction, for achromatically reducing spot size on a sample (eg. liquid cavity containing lenses and low aberration 1:1 imaging systems modified to perform as spatial filters), and for directing different wavelengths into different detectors, in ellipsometer, polarizer or the like systems.

摘要翻译： 用于提供和增强电磁辐射束径向能量均匀性和强度与波长含量的系统和方法，用于可靠地引导由其源沿着共同方向发射的电磁辐射，用于减少样品上的光斑尺寸（例如，含有液体腔的透镜 和被修改为执行空间滤波器的低像差1：1成像系统），以及用于将不同波长引导到椭偏仪，偏振器等系统中的不同检测器中。

公开(公告)号：US06982792B1

公开(公告)日：2006-01-03

申请号：US10376677

申请日：2003-02-28

申请人： John A. Woollam ,  Steven E. Green ,  Ping He ,  Blaine D. Johs ,  Craig M. Herzinger ,  Galen L. Pfeiffer ,  Brian D. Guenther ,  Martin M. Liphardt

发明人： John A. Woollam ,  Steven E. Green ,  Ping He ,  Blaine D. Johs ,  Craig M. Herzinger ,  Galen L. Pfeiffer ,  Brian D. Guenther ,  Martin M. Liphardt

IPC分类号： G01J4/00

CPC分类号： G01N21/211 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0235 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/04 ,  G01J3/12 ,  G01J4/00 ,  G01N2021/213

摘要： Disclosed are improvements in ellipsometer and the like systems capable of operating in the Vacuum-Ultra-Violet (VUV) to Near Infrared (NIR) wavelength range, and methodology of use.

摘要翻译： 公开了能够在真空 - 紫外（VUV）至近红外（NIR）波长范围内操作的椭偏仪等系统的改进以及使用方法。

公开(公告)号：US08953030B1

公开(公告)日：2015-02-10

申请号：US13385762

申请日：2012-03-06

申请人： Martin M. Liphardt ,  Galen L. Pfeiffer

发明人： Martin M. Liphardt ,  Galen L. Pfeiffer

IPC分类号： H04N7/18

CPC分类号： G01N21/211 ,  G01N21/55

摘要： In the context of an ellipsometer or the like, positioning a camera other than directly above a sample being investigated by an electromagnetic beam, while said camera provides an optical view of a surface of said sample which is in focus over the entire viewed extent of the sample.

摘要翻译： 在椭偏仪等的上下文中，通过电磁光束将除正在研究的样品之外的相机定位，同时所述照相机提供所述样品的表面的光学视图，该光学视图在整个观察范围内聚焦 样品。

公开(公告)号：US08493565B1

公开(公告)日：2013-07-23

申请号：US13385018

申请日：2012-01-30

申请人： Galen L. Pfeiffer ,  Thomas E. Tiwald ,  Martin M. Liphardt

发明人： Galen L. Pfeiffer ,  Thomas E. Tiwald ,  Martin M. Liphardt

IPC分类号： G01N21/55 ,  G01N1/10

CPC分类号： G01N21/55 ,  G01N1/10 ,  G01N21/0332 ,  G01N21/05 ,  G01N21/211 ,  G01N2021/0346 ,  G01N2021/054

摘要： A small internal volume cell having fluid entry, and exit ports wherein at least one bubble trap is present in a fluid pathway which is continuous with the fluid exit port. There further being present an input/output aperture, for entering and exiting electromagnetic radiation, positioned to allow causing an input beam of electromagnetic radiation to impinge on a sample substrate at a location thereon at which, during use, fluid contacts; and a mirror for directing electromagnetic radiation which reflects from said sample substrate, toward and out of said input/output aperture; as well as methodology of its use.

摘要翻译： 具有流体入口的小内部体积电池和出口端口，其中在与流体出口连续的流体路径中存在至少一个气泡阱。 进一步存在用于进入和退出电磁辐射的输入/输出孔径，其被定位成允许电磁辐射的输入束在其使用期间在其上的位置处撞击在样品基板上; 以及用于引导从所述样品基板反射并朝向和离开所述输入/输出孔的电磁辐射的反射镜; 以及其使用方法。

公开(公告)号：US07535566B1

公开(公告)日：2009-05-19

申请号：US11453656

申请日：2006-06-15

申请人： Blaine D. Johs ,  Galen L. Pfeiffer ,  Jeffrey S. Hale ,  Christopher A. Goeden ,  Brian D. Guenther ,  Martin M. Liphardt ,  Ping He

发明人： Blaine D. Johs ,  Galen L. Pfeiffer ,  Jeffrey S. Hale ,  Christopher A. Goeden ,  Brian D. Guenther ,  Martin M. Liphardt ,  Ping He

IPC分类号： G01J4/00 ,  G02B5/20 ,  F21V9/06

CPC分类号： G01N21/211 ,  G01J3/02 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0224 ,  G01J2003/1213 ,  G01J2003/1282 ,  G01N21/274 ,  G01N2021/213 ,  G02B27/141

摘要： An electromagnetic beam chromatic shifting and directing means for use in reflectively directing a spectroscopic beam of electromagnetic radiation while simultaneously de-emphasizing intensity in a first range of wavelengths, (eg. the Visible wavelengths), and simultaneously relatively emphasizing intensity in another wavelength range, (eg. UV wavelengths).

摘要翻译： 一种用于反射地引导电磁辐射的分光束同时在第一波长范围（例如可见波长）中强调强度的电磁光束色移和引导装置，同时相对强调另一波长范围内的强度， （例如UV波长）。