公开(公告)号：US09309149B2

公开(公告)日：2016-04-12

申请号：US14144828

申请日：2013-12-31

Applicant: Intermolecular Inc.

Inventor： Guowen Ding ,  Brent Boyce ,  Jeremy Cheng ,  Jose Ferreira ,  Muhammad Imran ,  Minh Huu Le ,  Daniel Schweigert ,  Yu Wang ,  Yongli Xu ,  Guizhen Zhang

IPC: C03C17/36 ,  C03C17/34 ,  C03C25/22 ,  C23C14/08 ,  C23C14/06 ,  C23C14/00

CPC classification number: C03C17/366 ,  C03C17/3435 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3613 ,  C03C17/3618 ,  C03C17/3626 ,  C03C17/3639 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/3681 ,  C03C25/226 ,  C03C2218/155 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/0652 ,  C23C14/0688 ,  C23C14/083 ,  C23C14/086

Abstract: Disclosed herein are systems, methods, and apparatus for forming a low emissivity panel. In various embodiments, a partially fabricated panel may be provided. The partially fabricated panel may include a substrate, a reflective layer formed over the substrate, and a top dielectric layer formed over the reflective layer such that the reflective layer is formed between the substrate and the top dielectric layer. The top dielectric layer may include tin having an oxidation state of +4. An interface layer may be formed over the top dielectric layer. A top diffusion layer may be formed over the interface layer. The top diffusion layer may be formed in a nitrogen plasma environment. The interface layer may substantially prevent nitrogen from the nitrogen plasma environment from reaching the top dielectric layer and changing the oxidation state of tin included in the top dielectric layer.

Abstract translation: 本文公开了用于形成低发射率面板的系统，方法和装置。 在各种实施例中，可以提供部分制造的面板。 部分制造的面板可以包括衬底，在衬底上形成的反射层，以及形成在反射层上的顶部电介质层，使得反射层形成在衬底和顶部电介质层之间。 顶部电介质层可以包括具有+4的氧化态的锡。 界面层可以形成在顶部介电层上。 可以在界面层上形成顶部扩散层。 顶部扩散层可以在氮等离子体环境中形成。 界面层可以基本上防止来自氮等离子体环境的氮到达顶部电介质层并改变顶部电介质层中包含的锡的氧化态。

公开(公告)号：US09297938B2

公开(公告)日：2016-03-29

申请号：US13715528

申请日：2012-12-14

Applicant: Intermolecular Inc.

Inventor： Minh Huu Le ,  Brent Boyce ,  Guowen Ding ,  Mohd Fadzli Anwar Hassan ,  Zhi-Wen Wen Sun

IPC: G02B5/20 ,  F21V9/04

CPC classification number: G02B5/208

Abstract: A method for making low emissivity panels, comprising forming a patterned layer on a transparent substrate. The patterned layers can offer different color schemes or different decorative appearance styles for the coated panels, or can offer gradable thermal efficiency through the patterned layers.

Abstract translation: 一种制造低辐射面板的方法，包括在透明基底上形成图案层。 图案化的层可以为涂覆的面板提供不同的配色方案或不同的装饰外观样式，或者可以通过图案化层提供可分级的热效率。

公开(公告)号：US09052456B2

公开(公告)日：2015-06-09

申请号：US13797412

申请日：2013-03-12

Applicant: Intermolecular Inc.

Inventor： Mohd Fadzli Anwar Hassan ,  Brent Boyce ,  Guowen Ding ,  Muhammad Imran ,  Minh Huu Le ,  Zhi-Wen Wen Sun ,  Yu Wang ,  Yongli Xu

IPC: C03C17/23 ,  G02B5/20 ,  C03C17/06 ,  C30B23/00 ,  C30B25/00 ,  C03C17/34 ,  C03C17/36

CPC classification number: C03C17/23 ,  C03C17/06 ,  C03C17/34 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3626 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/366 ,  C03C2217/211 ,  C03C2217/24 ,  C30B23/00 ,  C30B25/00 ,  G02B5/208 ,  G02B5/285 ,  Y10T428/24868 ,  Y10T428/24975 ,  Y10T428/265

Abstract: A bi-layer seed layer can exhibit good seed property for an infrared reflective layer, together with improved thermal stability. The bi-layer seed layer can include a thin zinc oxide layer having a desired crystallographic orientation for a silver infrared reflective layer disposed on a bottom layer having a desired thermal stability. The thermal stable layer can include aluminum, magnesium, or bismuth doped tin oxide (AlSnO, MgSnO, or BiSnO), which can have better thermal stability than zinc oxide but poorer lattice matching for serving as a seed layer template for silver (111).

Abstract translation: 双层种子层可以表现出良好的红外反射层的种子性质以及改进的热稳定性。 双层种子层可以包括具有设置在具有期望的热稳定性的底层上的银红外反射层的所需晶体取向的薄氧化锌层。 热稳定层可以包括铝，镁或铋掺杂的氧化锡（AlSnO，MgSnO或BiSnO），其可以比氧化锌具有更好的热稳定性，但是用作银（111）的种子层模板更差的晶格匹配。

公开(公告)号：US20140272455A1

公开(公告)日：2014-09-18

申请号：US13797504

申请日：2013-03-12

Applicant: INTERMOLECULAR INC.

Inventor： Guowen Ding ,  Brent Boyce ,  Jeremy Cheng ,  Muhammad Imran ,  Jingyu Lao ,  Minh Huu Le ,  Daniel Schweigert ,  Zhi-Wen Wen Sun ,  Yu Wang ,  Yongli Xu ,  Guizhen Zhang

IPC: G02B1/10 ,  C23C14/08 ,  C23C14/14

CPC classification number: C23C14/083 ,  C03C17/3615 ,  C03C17/3618 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/366 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/08 ,  C23C14/185 ,  C23C14/3464 ,  G02B5/0875 ,  G02B5/208 ,  Y10T428/12611

Abstract: A method for making low emissivity panels, including control the composition of a barrier layer formed on a thin conductive silver layer. The barrier structure can include a ternary alloy of titanium, nickel and niobium, which showed improvements in overall performance than those from binary barrier results. The percentage of titanium can be between 5 and 15 wt %. The percentage of nickel can be between 30 and 50 wt %. The percentage of niobium can be between 40 and 60 wt %.

Abstract translation: 一种制造低发射率面板的方法，包括控制形成在薄导电银层上的阻挡层的组成。 阻挡结构可以包括钛，镍和铌的三元合金，其显示出比来自二元屏障结果的整体性能的改善。 钛的百分比可以在5和15重量％之间。 镍的百分比可以在30-50重量％之间。 铌的百分比可以在40至60重量％之间。

公开(公告)号：US20140272335A1

公开(公告)日：2014-09-18

申请号：US13797412

申请日：2013-03-12

Applicant: INTERMOLECULAR INC.

Inventor： Mohd Fadzli Anwar Hassan ,  Brent Boyce ,  Guowen Ding ,  Muhammad Imran ,  Minh Huu Le ,  Zhi-Wen Wen Sun ,  Yu Wang ,  Yongli Xu

IPC: G02B5/20 ,  C30B25/00 ,  C03C17/06 ,  C30B23/00 ,  C03C17/23

CPC classification number: C03C17/23 ,  C03C17/06 ,  C03C17/34 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3626 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/366 ,  C03C2217/211 ,  C03C2217/24 ,  C30B23/00 ,  C30B25/00 ,  G02B5/208 ,  G02B5/285 ,  Y10T428/24868 ,  Y10T428/24975 ,  Y10T428/265

Abstract: A bi-layer seed layer can exhibit good seed property for an infrared reflective layer, together with improved thermal stability. The bi-layer seed layer can include a thin zinc oxide layer having a desired crystallographic orientation for a silver infrared reflective layer disposed on a bottom layer having a desired thermal stability. The thermal stable layer can include aluminum, magnesium, or bismuth doped tin oxide (AlSnO, MgSnO, or BiSnO), which can have better thermal stability than zinc oxide but poorer lattice matching for serving as a seed layer template for silver (111).

Abstract translation: 双层种子层可以表现出良好的红外反射层的种子性质以及改进的热稳定性。 双层种子层可以包括具有设置在具有期望的热稳定性的底层上的银红外反射层的所需晶体取向的薄氧化锌层。 热稳定层可以包括铝，镁或铋掺杂的氧化锡（AlSnO，MgSnO或BiSnO），其可以比氧化锌具有更好的热稳定性，但是用作银（111）的种子层模板更差的晶格匹配。

公开(公告)号：US20140185034A1

公开(公告)日：2014-07-03

申请号：US13727854

申请日：2012-12-27

Applicant: Intermolecular Inc.

Inventor： Guowen Ding ,  Brent Boyce ,  Mohd Fadzli Anwar Hassan ,  Minh Huu Le ,  Zhi-Wen Wen Sun ,  Yu Wang

IPC: G01N21/41

CPC classification number: G01N21/4133 ,  G01N21/211 ,  G01N21/41

Abstract: Methods are provided to use data obtained from a single wavelength ellipsometer to determine the refractive index of materials as a function of wavelength for thin conductive films. The methods may be used to calculate the refractive index spectrum as a function of wavelength for thin films of metals, and conductive materials such as conductive metal nitrides or conductive metal oxides.

Abstract translation: 提供了使用从单个波长椭偏仪获得的数据来确定作为薄导电膜的波长的函数的材料的折射率的方法。 该方法可用于计算作为金属薄膜和导电材料如导电金属氮化物或导电金属氧化物的波长的函数的折射率谱。

公开(公告)号：US20140168759A1

公开(公告)日：2014-06-19

申请号：US13715528

申请日：2012-12-14

Applicant: INTERMOLECULAR INC.

Inventor： Minh Huu Le ,  Brent Boyce ,  Guowen Ding ,  Mohd Fadzli Anwar Hassan ,  Zhi-Wen Wen Sun

IPC: B05D5/06 ,  G02B5/20

CPC classification number: G02B5/208

Abstract: A method for making low emissivity panels, comprising forming a patterned layer on a transparent substrate. The patterned layers can offer different color schemes or different decorative appearance styles for the coated panels, or can offer gradable thermal efficiency through the patterned layers.

Abstract translation: 一种制造低辐射面板的方法，包括在透明基底上形成图案层。 图案化的层可以为涂覆的面板提供不同的配色方案或不同的装饰外观样式，或者可以通过图案化层提供可分级的热效率。