公开(公告)号：US06985650B2

公开(公告)日：2006-01-10

申请号：US10772564

申请日：2004-02-05

申请人： Jun Ma ,  Joel A. Kubby ,  Kristine A. German ,  Peter M. Gulvin ,  Pinyen Lin

发明人： Jun Ma ,  Joel A. Kubby ,  Kristine A. German ,  Peter M. Gulvin ,  Pinyen Lin

IPC分类号： G02B6/26 ,  G02B6/42 ,  H01H37/00

CPC分类号： B81B3/0018 ,  G02B6/3566 ,  G02B6/3576 ,  G02B6/3584

摘要： A thermal actuator comprises a substantially straight beam. The beam has a beam length and a beam mid-point. The beam comprises a plurality of beam segments. Each beam segment has a beam segment width, the beam thus forming a corresponding plurality of beam segment widths. The beam segment widths vary along the beam length based on a predetermined pattern. As the beam is heated by an included heating means, the beam buckles. The buckling of the beam, in turn, causes the beam mid-point to translate or move in a predetermined direction. The beam mid-point movement, in turn, operates an included optical waveguide switch. The heating means comprises any of Joule heating, eddy current heating, conduction heating, convection heating and radiation heating.

摘要翻译： 热致动器包括基本上直的梁。 光束具有光束长度和光束中点。 梁包括多个梁段。 每个光束段具有光束段宽度，因此光束形成相应的多个光束段宽度。 光束段宽度基于预定图案沿着光束长度变化。 当束被加热装置加热时，光束弯曲。 光束的弯曲又使光束中点在预定方向上平移或移动。 光束中点运动依次运行附带的光波导开关。 加热装置包括焦耳加热，涡流加热，传导加热，对流加热和辐射加热中的任何一种。

公开(公告)号：US06506620B1

公开(公告)日：2003-01-14

申请号：US09724515

申请日：2000-11-27

申请人： Bruce R. Scharf ,  Joel A. Kubby ,  Chuang-Chia Lin ,  Alex T. Tran ,  Andrew J. Zosel ,  Peter M. Gulvin ,  Jingkuang Chen

发明人： Bruce R. Scharf ,  Joel A. Kubby ,  Chuang-Chia Lin ,  Alex T. Tran ,  Andrew J. Zosel ,  Peter M. Gulvin ,  Jingkuang Chen

IPC分类号： H01L2100

CPC分类号： B81C1/00484 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0118 ,  B81C1/00666 ,  B81C2201/0142

摘要： The present invention provides a micromechanical or microoptomechanical structure produced by a process comprising defining the structure in a single-crystal silicon layer separated by an insulator layer from a substrate layer; selectively etching the single crystal silicon layer; depositing and etching a polysilicon layer on the insulator layer, with remaining polysilicon forming mechanical elements of the structure; metalizing a backside of the structure; and releasing the formed structure.

摘要翻译： 本发明提供了一种微机械或微机电结构，其通过包括限定由绝缘体层与衬底层分隔的单晶硅层中的结构的方法而产生; 选择性地蚀刻单晶硅层; 沉积和蚀刻绝缘体层上的多晶硅层，剩余的多晶硅形成结构的机械元件; 金属化结构的背面; 并释放形成的结构。

公开(公告)号：US06479311B1

公开(公告)日：2002-11-12

申请号：US09724506

申请日：2000-11-27

申请人： Bruce R. Scharf ,  Joel A. Kubby ,  Jingkuang Chen ,  Peter M. Gulvin ,  Chuang-Chia Lin ,  Alex T. Tran

发明人： Bruce R. Scharf ,  Joel A. Kubby ,  Jingkuang Chen ,  Peter M. Gulvin ,  Chuang-Chia Lin ,  Alex T. Tran

IPC分类号： H01L2100

CPC分类号： B81C1/00666 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/0118

摘要： The present invention provides a micromechanical or microoptomechanical structure. The structure is produced by a process comprising defining a pattern on a single crystal silicon layer separated by an insulator layer from a substrate layer; defining a structure in the single-crystal silicon layer; depositing and etching a polysilicon layer on the single crystal silicon layer, with remaining polysilcon forming mechanical or optical elements of the structure; and releasing the formed structure.

摘要翻译： 本发明提供一种微机械或微机电结构。 该结构通过一种工艺制造，该方法包括在由绝缘体层与衬底层隔开的单晶硅层上限定图案; 限定单晶硅层中的结构; 沉积和蚀刻单晶硅层上的多晶硅层，其余的聚硅氧烷形成该结构的机械或光学元件; 并释放形成的结构。

公开(公告)号：US06467879B1

公开(公告)日：2002-10-22

申请号：US09687096

申请日：2000-10-16

申请人： Joel A. Kubby ,  Elliott A. Eklund ,  Peter M. Gulvin

发明人： Joel A. Kubby ,  Elliott A. Eklund ,  Peter M. Gulvin

IPC分类号： B41J204

CPC分类号： F04B43/043 ,  B41J2/14314 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/045 ,  B81B2201/052 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/053

摘要： A micro-electromechanical fluid ejector having an inner structure on the bottom of the top of the membrane for isolating the conductor, and an outer structure, away from the center of the membrane, on the bottom of the top of the membrane to stop excessive flexing of the membrane leading to inter-electrode contact.

摘要翻译： 微机电流体喷射器，其在膜的顶部底部具有用于隔离导体的内部结构，以及远离膜的中心的外部结构，位于膜的顶部的底部以阻止过度弯曲 的膜导致电极间接触。

公开(公告)号：US06465856B2

公开(公告)日：2002-10-15

申请号：US09812498

申请日：2001-03-19

申请人： Peter M. Gulvin ,  Jingkuang Chen

发明人： Peter M. Gulvin ,  Jingkuang Chen

IPC分类号： H01L2982

CPC分类号： B41J2/1639 ,  B41J2/16 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1645 ,  B41J2002/14403 ,  B81B7/0006

摘要： A microstructure that may be used as an electrical connection in a microfabricated electro-mechanical system (MEMS) apparatus. The microstructure may have one or more isolatable electrical connections for signal transmission. The microstructure allows a MEMS apparatus to shield signal transmissions from the effects of electromagnetic interference or conductive fluids.

摘要翻译： 微结构可用作微加工机电系统（MEMS）装置中的电连接。 微结构可以具有用于信号传输的一个或多个可分离的电连接。 微结构允许MEMS装置屏蔽信号传输免受电磁干扰或导电流体的影响。