公开(公告)号：US20080048520A1

公开(公告)日：2008-02-28

申请号：US11467660

申请日：2006-08-28

申请人： Peter M. Gulvin ,  Peter J. Nystrom

发明人： Peter M. Gulvin ,  Peter J. Nystrom

IPC分类号： H01G9/00 ,  H01H57/00

CPC分类号： H01H59/0009 ,  H01G5/18

摘要： The present application is directed to novel electrostatic actuators and methods of making the electrostatic actuators. In one embodiment, the electrostatic actuator comprises a substrate, an electrode formed on the substrate and a deflectable member positioned in proximity to the electrode so as to provide a gap between the electrode and the deflectable member. The deflectable member is anchored on the substrate via one or more anchors. The gap comprises at least one first region having a first gap height positioned near the one or more anchors and at least one second region having a second gap height positioned farther from the anchors than the first region. The first gap height is smaller than the second gap height.

摘要翻译： 本申请涉及新颖的静电致动器和制造静电致动器的方法。 在一个实施例中，静电致动器包括衬底，形成在衬底上的电极和位于电极附近的可偏转构件，以便在电极和可偏转构件之间提供间隙。 可偏转构件经由一个或多个锚固件锚定在基底上。 所述间隙包括至少一个第一区域，其具有位于所述一个或多个锚固件附近的第一间隙高度和至少一个第二区域，所述第二区域具有比所述第一区域更远离所述锚定件的第二间隙高度。 第一间隙高度小于第二间隙高度。

公开(公告)号：US06506620B1

公开(公告)日：2003-01-14

申请号：US09724515

申请日：2000-11-27

申请人： Bruce R. Scharf ,  Joel A. Kubby ,  Chuang-Chia Lin ,  Alex T. Tran ,  Andrew J. Zosel ,  Peter M. Gulvin ,  Jingkuang Chen

发明人： Bruce R. Scharf ,  Joel A. Kubby ,  Chuang-Chia Lin ,  Alex T. Tran ,  Andrew J. Zosel ,  Peter M. Gulvin ,  Jingkuang Chen

IPC分类号： H01L2100

CPC分类号： B81C1/00484 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0118 ,  B81C1/00666 ,  B81C2201/0142

摘要： The present invention provides a micromechanical or microoptomechanical structure produced by a process comprising defining the structure in a single-crystal silicon layer separated by an insulator layer from a substrate layer; selectively etching the single crystal silicon layer; depositing and etching a polysilicon layer on the insulator layer, with remaining polysilicon forming mechanical elements of the structure; metalizing a backside of the structure; and releasing the formed structure.

摘要翻译： 本发明提供了一种微机械或微机电结构，其通过包括限定由绝缘体层与衬底层分隔的单晶硅层中的结构的方法而产生; 选择性地蚀刻单晶硅层; 沉积和蚀刻绝缘体层上的多晶硅层，剩余的多晶硅形成结构的机械元件; 金属化结构的背面; 并释放形成的结构。

公开(公告)号：US06479311B1

公开(公告)日：2002-11-12

申请号：US09724506

申请日：2000-11-27

申请人： Bruce R. Scharf ,  Joel A. Kubby ,  Jingkuang Chen ,  Peter M. Gulvin ,  Chuang-Chia Lin ,  Alex T. Tran

发明人： Bruce R. Scharf ,  Joel A. Kubby ,  Jingkuang Chen ,  Peter M. Gulvin ,  Chuang-Chia Lin ,  Alex T. Tran

IPC分类号： H01L2100

CPC分类号： B81C1/00666 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/0118

摘要： The present invention provides a micromechanical or microoptomechanical structure. The structure is produced by a process comprising defining a pattern on a single crystal silicon layer separated by an insulator layer from a substrate layer; defining a structure in the single-crystal silicon layer; depositing and etching a polysilicon layer on the single crystal silicon layer, with remaining polysilcon forming mechanical or optical elements of the structure; and releasing the formed structure.

摘要翻译： 本发明提供一种微机械或微机电结构。 该结构通过一种工艺制造，该方法包括在由绝缘体层与衬底层隔开的单晶硅层上限定图案; 限定单晶硅层中的结构; 沉积和蚀刻单晶硅层上的多晶硅层，其余的聚硅氧烷形成该结构的机械或光学元件; 并释放形成的结构。

公开(公告)号：US06467879B1

公开(公告)日：2002-10-22

申请号：US09687096

申请日：2000-10-16

申请人： Joel A. Kubby ,  Elliott A. Eklund ,  Peter M. Gulvin

发明人： Joel A. Kubby ,  Elliott A. Eklund ,  Peter M. Gulvin

IPC分类号： B41J204

CPC分类号： F04B43/043 ,  B41J2/14314 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/045 ,  B81B2201/052 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/053

摘要： A micro-electromechanical fluid ejector having an inner structure on the bottom of the top of the membrane for isolating the conductor, and an outer structure, away from the center of the membrane, on the bottom of the top of the membrane to stop excessive flexing of the membrane leading to inter-electrode contact.

摘要翻译： 微机电流体喷射器，其在膜的顶部底部具有用于隔离导体的内部结构，以及远离膜的中心的外部结构，位于膜的顶部的底部以阻止过度弯曲 的膜导致电极间接触。

公开(公告)号：US06465856B2

公开(公告)日：2002-10-15

申请号：US09812498

申请日：2001-03-19

申请人： Peter M. Gulvin ,  Jingkuang Chen

发明人： Peter M. Gulvin ,  Jingkuang Chen

IPC分类号： H01L2982

CPC分类号： B41J2/1639 ,  B41J2/16 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1645 ,  B41J2002/14403 ,  B81B7/0006

摘要： A microstructure that may be used as an electrical connection in a microfabricated electro-mechanical system (MEMS) apparatus. The microstructure may have one or more isolatable electrical connections for signal transmission. The microstructure allows a MEMS apparatus to shield signal transmissions from the effects of electromagnetic interference or conductive fluids.

摘要翻译： 微结构可用作微加工机电系统（MEMS）装置中的电连接。 微结构可以具有用于信号传输的一个或多个可分离的电连接。 微结构允许MEMS装置屏蔽信号传输免受电磁干扰或导电流体的影响。