公开(公告)号：US20070105704A1

公开(公告)日：2007-05-10

申请号：US11583619

申请日：2006-10-19

Applicant: Dana Bookbinder ,  Richard Fiacco ,  Ulrich Neukirch

Inventor： Dana Bookbinder ,  Richard Fiacco ,  Ulrich Neukirch

IPC: C03C3/06 ,  C03B8/00 ,  C03B19/06

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B19/12 ,  C03B19/14 ,  C03B19/1453 ,  C03B20/00 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/08 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/22 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/42 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/22 ,  C03C2201/23

Abstract: What is disclosed includes OD-doped synthetic silica glass capable of being used in optical elements for use in lithography below about 300 nm. OD-doped synthetic silica glass was found to have significantly lower polarization-induced birefringence value than non-OD-doped silica glass with comparable concentration of OH. Also disclosed are processes for making OD-doped synthetic silica glasses, optical member comprising such glasses, and lithographic systems comprising such optical member. The glass is particularly suitable for immersion lithographic systems due to the exceptionally low polarization-induced birefringence values at about 193 nm.

Abstract translation: 公开的内容包括能够用于低于约300nm的光刻中的光学元件的OD掺杂合成石英玻璃。 发现OD掺杂的合成二氧化硅玻璃具有比具有相当浓度的OH的非OD掺杂的石英玻璃具有显着更低的偏振诱导双折射值。 还公开了制造掺杂OD的合成二氧化硅玻璃，包含这种玻璃的光学构件以及包括这种光学构件的光刻系统的方法。 由于在约193nm处极度低的偏振诱发双折射值，该玻璃特别适用于浸没式光刻系统。

公开(公告)号：US20050223747A1

公开(公告)日：2005-10-13

申请号：US11004027

申请日：2004-12-02

Applicant: Laura Ball ,  Bruno Baney ,  Dana Bookbinder ,  Keith House ,  Rostislav Khrapko ,  Susan Schiefelbein ,  Lisa Moore

Inventor： Laura Ball ,  Bruno Baney ,  Dana Bookbinder ,  Keith House ,  Rostislav Khrapko ,  Susan Schiefelbein ,  Lisa Moore

IPC: C03B37/00 ,  C03B37/012 ,  C03B37/014 ,  C03B37/018 ,  C03C3/06 ,  C03C13/04 ,  C03C15/00 ,  C03C21/00 ,  C03C25/60 ,  C03C25/68 ,  C03B37/027

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B37/01211 ,  C03B37/01228 ,  C03B37/01426 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01861 ,  C03B37/01892 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/50 ,  C03B2201/54 ,  C03B2203/26 ,  C03B2207/30 ,  C03B2207/90 ,  C03C25/602 ,  C03C25/607 ,  C03C25/68 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/50 ,  C03C2203/50 ,  G02B6/02

Abstract: A method of forming an alkali metal oxide-doped optical fiber by diffusing an alkali metal into a surface of a glass article is disclosed. The silica glass article may be in the form of a tube or a rod, or a collection of tubes or rods. The silica glass article containing the alkali metal, and impurities that may have been unintentionally diffused into the glass article, is etched to a depth sufficient to remove the impurities. The silica glass article may be further processed to form a complete optical fiber preform. The preform, when drawn into an optical fiber, exhibits a low attenuation.

Abstract translation: 公开了一种通过将碱金属扩散到玻璃制品的表面中形成掺杂碱金属氧化物的光纤的方法。 石英玻璃制品可以是管或棒的形式，或者是管或棒的集合。 含有碱金属的二氧化硅玻璃制品和可能已经无意地扩散到玻璃制品中的杂质被蚀刻到足以除去杂质的深度。 石英玻璃制品可以进一步加工以形成完整的光纤预型件。 当预成型件被拉入光纤时，表现出低的衰减。

公开(公告)号：US20050201699A1

公开(公告)日：2005-09-15

申请号：US11046435

申请日：2005-01-28

Applicant: Laura Ball ,  Bruno Baney ,  Dana Bookbinder ,  Keith House ,  Rostislav Khrapko ,  Lisa Moore ,  Susan Schiefelbein

Inventor： Laura Ball ,  Bruno Baney ,  Dana Bookbinder ,  Keith House ,  Rostislav Khrapko ,  Lisa Moore ,  Susan Schiefelbein

IPC: C03B37/00 ,  C03B37/012 ,  C03B37/014 ,  C03B37/018 ,  C03C3/06 ,  C03C13/04 ,  C03C15/00 ,  C03C21/00 ,  C03C25/60 ,  C03C25/68 ,  G02B6/02

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B37/01211 ,  C03B37/01228 ,  C03B37/01426 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01861 ,  C03B37/01892 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/50 ,  C03B2201/54 ,  C03B2203/26 ,  C03B2207/30 ,  C03B2207/90 ,  C03C25/602 ,  C03C25/607 ,  C03C25/68 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/50 ,  C03C2203/50 ,  G02B6/02

Abstract: A method of forming an alkali metal oxide-doped optical fiber by diffusing an alkali metal into a surface of a glass article is disclosed. The silica glass article may be in the form of a tube or a rod, or a collection of tubes or rods. The silica glass article containing the alkali metal, and impurities that may have been unintentionally diffused into the glass article, is etched to a depth sufficient to remove the impurities. The silica glass article may be further processed to form a complete optical fiber preform. The preform, when drawn into an optical fiber, exhibits a low attenuation.

Abstract translation: 公开了一种通过将碱金属扩散到玻璃制品的表面中形成掺杂碱金属氧化物的光纤的方法。 石英玻璃制品可以是管或棒的形式，或者是管或棒的集合。 含有碱金属的二氧化硅玻璃制品和可能已经无意地扩散到玻璃制品中的杂质被蚀刻到足以除去杂质的深度。 石英玻璃制品可以进一步加工以形成完整的光纤预型件。 当预成型件被拉入光纤时，表现出低的衰减。

公开(公告)号：US20080013905A1

公开(公告)日：2008-01-17

申请号：US11823681

申请日：2007-06-28

Applicant: Dana Bookbinder ,  Ming-Jun Li ,  Mark McDermott ,  Daniel Nolan

Inventor： Dana Bookbinder ,  Ming-Jun Li ,  Mark McDermott ,  Daniel Nolan

IPC: G02B6/02

CPC classification number: G02B6/0365 ,  G02B6/02333 ,  G02B6/02342 ,  G02B6/02347 ,  G02B6/02357 ,  G02B6/02395

Abstract: Optical fiber having a coating surrounding and in direct contact with the silica based cladding region of the fiber, the coating having a Young's modulus of elasticity greater than 30 MPa. The optical fiber has low bend losses, especially low microbend induced losses. The optical fiber has a core surrounded by a cladding, and the cladding has a ring portion that includes holes or doped silica or both.

Abstract translation: 具有围绕并与纤维的二氧化硅基包覆区直接接触的涂层的光纤，该涂层的杨氏弹性模量大于30MPa。 光纤具有低弯曲损耗，特别是低微弯损耗。 光纤具有由包层包围的芯，并且包层具有包括空穴或掺杂二氧化硅或两者的环部分。

公开(公告)号：US20070104437A1

公开(公告)日：2007-05-10

申请号：US11583098

申请日：2006-10-18

Applicant: Dana Bookbinder ,  Richard Fiacco ,  Ming-Jun Li ,  Michael Murtagh ,  Pushkar Tandon

Inventor： Dana Bookbinder ,  Richard Fiacco ,  Ming-Jun Li ,  Michael Murtagh ,  Pushkar Tandon

IPC: G02B6/032 ,  G02B6/02 ,  C03B37/023 ,  C03B37/028

CPC classification number: C03B37/02781 ,  C03B37/01446 ,  C03B2201/02 ,  C03B2201/31 ,  C03B2203/14 ,  C03B2203/42 ,  C03C13/00 ,  C03C13/04 ,  G02B1/048 ,  G02B6/02333 ,  G02B6/02357

Abstract: Microstructured optical fiber and method of making. Glass soot is deposited and then consolidated under conditions which are effective to trap a portion of the consolidation gases in the glass to thereby produce a non-periodic array of voids which may then be used to form a void containing cladding region in an optical fiber. Preferred void producing consolidation gases include nitrogen, argon, CO2, oxygen, chlorine, CF4, CO, SO2 and mixtures thereof.

Abstract translation: 微结构光纤及其制造方法。 玻璃烟灰沉积，然后在有效地捕获玻璃中的一部分固结气体的条件下固化，从而产生非周期性的空隙阵列，然后可以将其用于在光纤中形成含有空隙的包层区域。 优选的产生空隙的固结气体包括氮，氩，CO 2，氧，氯，CF 4，CO，SO 2和它们的混合物。

公开(公告)号：US20060137399A1

公开(公告)日：2006-06-29

申请号：US11241075

申请日：2005-09-30

Applicant: Douglas Alan ,  Dana Bookbinder ,  Ulrich Neukirch ,  Charlene Smith

Inventor： Douglas Alan ,  Dana Bookbinder ,  Ulrich Neukirch ,  Charlene Smith

IPC: C03C3/06 ,  C03B20/00

CPC classification number: C03B19/1453 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/23 ,  C03C2203/54

Abstract: Disclosed are synthetic silica glass having a low polarization-induced birefringence, process for making the glass and lithography system comprising optical element made of the glass. The silica glass has a polarization-induced birefringence measured at 633 nm of less than about 0.1 nm/cm when subjected to excimer laser pulses at about 193 nm having a fluence of about 40 μJ·cm−2·pulse−1 and a pulse length of about 25 ns for 5×109 pulses.

Abstract translation: 公开了具有低偏振诱发双折射的合成石英玻璃，用于制造玻璃的方法和包含由玻璃制成的光学元件的光刻系统。 当经受约193nm的准分子激光脉冲时，二氧化硅玻璃在633nm处测量的偏振诱发双折射小于约0.1nm / cm，具有约40μJ·cm -2的注量。 对于5×10 9个脉冲，脉冲 ^{-1 和约25ns的脉冲长度。}

公开(公告)号：US20050092030A1

公开(公告)日：2005-05-05

申请号：US10699446

申请日：2003-10-31

Applicant: Jitendra Balakrishnan ,  Dana Bookbinder ,  Lisa Chacon ,  Steven Dunwoody ,  Kintu Early ,  Daniel Hawtof ,  Prantik Mazumder ,  Amy Rovelstad ,  Susan Schiefelbein ,  Pushkar Tandon

Inventor： Jitendra Balakrishnan ,  Dana Bookbinder ,  Lisa Chacon ,  Steven Dunwoody ,  Kintu Early ,  Daniel Hawtof ,  Prantik Mazumder ,  Amy Rovelstad ,  Susan Schiefelbein ,  Pushkar Tandon

IPC: C03B37/014 ,  C03B37/018

CPC classification number: C03B37/0142 ,  C03B37/01486 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/075 ,  C03B2203/29 ,  C03B2207/38 ,  C03B2207/52 ,  C03B2207/66 ,  C03B2207/70

Abstract: The invention includes methods and apparatus for depositing soot onto a glass surface to minimize water in the deposited soot and the diffusion of the water into the glass surface. The invention includes depositing a first layer of soot a on the glass surface at a first forward traverse rate and depositing a second layer of soot at a second forward traverse rate.

Abstract translation: 本发明包括用于将烟灰沉积在玻璃表面上以最小化沉积的烟灰中的水和将水扩散到玻璃表面中的方法和装置。 本发明包括以第一向前横移速率沉积玻璃表面上的第一层烟灰a并以第二前进横向速率沉积第二层烟灰。

公开(公告)号：US20070105703A1

公开(公告)日：2007-05-10

申请号：US11348956

申请日：2006-02-06

Applicant: Dana Bookbinder ,  Richard Fiacco

Inventor： Dana Bookbinder ,  Richard Fiacco

IPC: C03B8/00 ,  C03B19/06

CPC classification number: C03B19/12 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/22 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/42 ,  C03B2201/58 ,  C03B2207/30 ,  C03B2207/38

Abstract: What is disclosed includes OD-doped synthetic silica glass capable of being used in optical elements for use in lithography below about 300 nm. OD-doped synthetic silica glass was found to have significantly lower polarization-induced birefringence value than non-OD-doped silica glass with comparable concentration of OH. Also disclosed are processes for making OD-dopes synthetic silica glasses, optical member comprising such glasses, and lithographic systems comprising such optical member. The glass is particularly suitable for immersion lithographic systems due to the exceptionally low polarization-induced birefringence values at about 193 nm.

Abstract translation: 公开的内容包括能够用于低于约300nm的光刻中的光学元件的OD掺杂合成石英玻璃。 发现OD掺杂的合成二氧化硅玻璃具有比具有相当浓度的OH的非OD掺杂的石英玻璃具有显着更低的偏振诱导双折射值。 还公开了制备OD-掺杂合成二氧化硅玻璃，包括这种玻璃的光学部件以及包括这种光学部件的光刻系统的方法。 由于在约193nm处极度低的偏振诱发双折射值，该玻璃特别适用于浸没式光刻系统。

公开(公告)号：US20060140560A1

公开(公告)日：2006-06-29

申请号：US11359223

申请日：2006-02-21

Applicant: Martin Allen ,  Dana Bookbinder ,  Dipakbin Chowdhury ,  Daniel Hawtof ,  Dale Powers

Inventor： Martin Allen ,  Dana Bookbinder ,  Dipakbin Chowdhury ,  Daniel Hawtof ,  Dale Powers

IPC: G02B6/02

CPC classification number: G02B6/02285 ,  C03B37/01245 ,  C03B37/01473 ,  C03B37/01869 ,  C03B37/02754 ,  C03B2201/31 ,  C03B2203/36 ,  C03B2205/08 ,  C03B2205/10 ,  G02B6/03622

Abstract: A method of fabricating an optical waveguide fiber that includes the steps of providing a cylindrical glass optical fiber preform having a longitudinally extending centerline hole, and closing the hole under conditions suitable to result in uniform and symmetric hole closure. The method may include first plugging a first end and a second end of the centerline hole to prevent gas flow therethrough. The method preferably involves closing the centerline hole of the preform by drawing the preform down into an optical waveguide fiber.

Abstract translation: 一种制造光波导光纤的方法，包括以下步骤：提供具有纵向延伸的中心线孔的圆柱形玻璃光纤预制件，并在适于导致均匀和对称的孔封闭的条件下闭合孔。 该方法可以包括首先堵塞中心线孔的第一端和第二端以防止气体流过其中。 该方法优选地包括通过将预成型件向下拉入光纤光纤中来封闭预成型件的中心线孔。

公开(公告)号：US20060137397A1

公开(公告)日：2006-06-29

申请号：US11148504

申请日：2005-06-08

Applicant: Dana Bookbinder ,  Richard Fiacco ,  Kenneth Hrdina ,  Lisa Moore ,  Susan Schiefelbein

Inventor： Dana Bookbinder ,  Richard Fiacco ,  Kenneth Hrdina ,  Lisa Moore ,  Susan Schiefelbein

IPC: C03B20/00 ,  C03C3/06

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1469 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2203/40 ,  C03C2203/54 ,  G03F7/70958

Abstract: Disclosed are high purity synthetic silica material having an internal transmission at 193 nm of at least 99.65%/cm and method of preparing such material. The material is also featured by a high compositional homogeneity in a plane transverse to the intended optical axis. The soot-to-glass process for making the material includes a step of consolidating the soot preform in the presence of H2O and/or O2.

Abstract translation: 公开了具有193nm以上的内透射率为至少99.65％/ cm 3的高纯度合成二氧化硅材料及其制备方法。 该材料的特征还在于横向于预期光轴的平面中具有高的组成均匀性。 用于制造材料的烟灰对玻璃工艺包括在H 2 O 2和/或O 2 2的存在下固化烟灰预制件的步骤。