公开(公告)号：US20050223747A1

公开(公告)日：2005-10-13

申请号：US11004027

申请日：2004-12-02

申请人： Laura Ball ,  Bruno Baney ,  Dana Bookbinder ,  Keith House ,  Rostislav Khrapko ,  Susan Schiefelbein ,  Lisa Moore

发明人： Laura Ball ,  Bruno Baney ,  Dana Bookbinder ,  Keith House ,  Rostislav Khrapko ,  Susan Schiefelbein ,  Lisa Moore

IPC分类号： C03B37/00 ,  C03B37/012 ,  C03B37/014 ,  C03B37/018 ,  C03C3/06 ,  C03C13/04 ,  C03C15/00 ,  C03C21/00 ,  C03C25/60 ,  C03C25/68 ,  C03B37/027

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03B37/01211 ,  C03B37/01228 ,  C03B37/01426 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01861 ,  C03B37/01892 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/50 ,  C03B2201/54 ,  C03B2203/26 ,  C03B2207/30 ,  C03B2207/90 ,  C03C25/602 ,  C03C25/607 ,  C03C25/68 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/50 ,  C03C2203/50 ,  G02B6/02

摘要： A method of forming an alkali metal oxide-doped optical fiber by diffusing an alkali metal into a surface of a glass article is disclosed. The silica glass article may be in the form of a tube or a rod, or a collection of tubes or rods. The silica glass article containing the alkali metal, and impurities that may have been unintentionally diffused into the glass article, is etched to a depth sufficient to remove the impurities. The silica glass article may be further processed to form a complete optical fiber preform. The preform, when drawn into an optical fiber, exhibits a low attenuation.

摘要翻译： 公开了一种通过将碱金属扩散到玻璃制品的表面中形成掺杂碱金属氧化物的光纤的方法。 石英玻璃制品可以是管或棒的形式，或者是管或棒的集合。 含有碱金属的二氧化硅玻璃制品和可能已经无意地扩散到玻璃制品中的杂质被蚀刻到足以除去杂质的深度。 石英玻璃制品可以进一步加工以形成完整的光纤预型件。 当预成型件被拉入光纤时，表现出低的衰减。

公开(公告)号：US20050201699A1

公开(公告)日：2005-09-15

申请号：US11046435

申请日：2005-01-28

申请人： Laura Ball ,  Bruno Baney ,  Dana Bookbinder ,  Keith House ,  Rostislav Khrapko ,  Lisa Moore ,  Susan Schiefelbein

发明人： Laura Ball ,  Bruno Baney ,  Dana Bookbinder ,  Keith House ,  Rostislav Khrapko ,  Lisa Moore ,  Susan Schiefelbein

IPC分类号： C03B37/00 ,  C03B37/012 ,  C03B37/014 ,  C03B37/018 ,  C03C3/06 ,  C03C13/04 ,  C03C15/00 ,  C03C21/00 ,  C03C25/60 ,  C03C25/68 ,  G02B6/02

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03B37/01211 ,  C03B37/01228 ,  C03B37/01426 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01861 ,  C03B37/01892 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/50 ,  C03B2201/54 ,  C03B2203/26 ,  C03B2207/30 ,  C03B2207/90 ,  C03C25/602 ,  C03C25/607 ,  C03C25/68 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/50 ,  C03C2203/50 ,  G02B6/02

摘要： A method of forming an alkali metal oxide-doped optical fiber by diffusing an alkali metal into a surface of a glass article is disclosed. The silica glass article may be in the form of a tube or a rod, or a collection of tubes or rods. The silica glass article containing the alkali metal, and impurities that may have been unintentionally diffused into the glass article, is etched to a depth sufficient to remove the impurities. The silica glass article may be further processed to form a complete optical fiber preform. The preform, when drawn into an optical fiber, exhibits a low attenuation.

摘要翻译： 公开了一种通过将碱金属扩散到玻璃制品的表面中形成掺杂碱金属氧化物的光纤的方法。 石英玻璃制品可以是管或棒的形式，或者是管或棒的集合。 含有碱金属的二氧化硅玻璃制品和可能已经无意地扩散到玻璃制品中的杂质被蚀刻到足以除去杂质的深度。 石英玻璃制品可以进一步加工以形成完整的光纤预型件。 当预成型件被拉入光纤时，表现出低的衰减。

公开(公告)号：US20050187092A1

公开(公告)日：2005-08-25

申请号：US11064341

申请日：2005-02-22

申请人： Dana Bookbinder ,  Richard Fiacco ,  Kenneth Hrdina ,  Lisa Moore ,  Susan Schiefelbein

发明人： Dana Bookbinder ,  Richard Fiacco ,  Kenneth Hrdina ,  Lisa Moore ,  Susan Schiefelbein

IPC分类号： C03B19/14 ,  C03B32/00 ,  C03C3/06 ,  C03C21/00 ,  C03C23/00

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03B2207/32 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23

摘要： Disclosed is a synthetic silica glass optical material having high resistance to optical damage by ultraviolet radiation in the ultraviolet wavelength range, particularly in the wavelength less than about 250 nm and particularly, exhibiting a low laser induced wavefront distortion; specifically a laser induced wavefront distortion, measured at 633 nm, of between about −1.0 and 1.0 nm/cm when subjected to 10 billion pulses of a laser operating at approximately 193 nm and at a fluence of approximately 70 μJ/cm2. The synthetic silica glass optical material of the present invention comprises OH concentration levels of less than about 600 ppm, preferably less than 200 ppm, and H2 concentration levels less than about 5.0×1017 molecules/cm3,and preferably less than about 2.0×1017 molecules/cm3.

摘要翻译： 公开了一种合成石英玻璃光学材料，其特征在于波长小于约250nm，特别是具有低激光诱导波前失真的紫外线波长范围内具有高抗紫外线辐射的光学损伤， 特别是在经受100nm脉冲激光在约193nm下操作的激光诱导波前失真（在633nm处），介于约-1.0和1.0nm / cm之间，并且流量约为70μJ/ cm 2 。 本发明的合成石英玻璃光学材料包含小于约600ppm，优选小于200ppm的OH浓度水平和小于约5.0×10 17 H 2 O 2浓度水平， SUP>分子/ cm 3，优选小于约2.0×10 17分子/ cm 3。

公开(公告)号：US20070004579A1

公开(公告)日：2007-01-04

申请号：US11261005

申请日：2005-10-28

申请人： Dana Bookbinder ,  Kenneth Hrdina ,  Glenn Kohnke ,  Lisa Moore ,  Susan Schiefelbein ,  Charlene Smith ,  Ulrich Neukirch

发明人： Dana Bookbinder ,  Kenneth Hrdina ,  Glenn Kohnke ,  Lisa Moore ,  Susan Schiefelbein ,  Charlene Smith ,  Ulrich Neukirch

IPC分类号： C03C3/06 ,  C03B32/00 ,  C03C23/00

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03C4/0071 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/54

摘要： Disclosed in the application are a synthetic silica glass having low fluence-dependent transmission, particularly at about 193 nm, and a process for making the same. The glass may desirably exhibit a low level of fluorescence at 290 and 390 nm when activated at about 248 nm. The glass may desirably exhibit low level of LIWFD, [SiH*] and/or [ODC].

摘要翻译： 在本申请中公开了具有低注射度依赖性透射率，特别是约193nm的合成二氧化硅玻璃及其制造方法。 当在约248nm激活时，该玻璃可期望地在290和390nm处表现出低水平的荧光。 玻璃可能期望显示低水平的LIWFD，[SiH *]和/或[ODC]。

公开(公告)号：US20060137397A1

公开(公告)日：2006-06-29

申请号：US11148504

申请日：2005-06-08

申请人： Dana Bookbinder ,  Richard Fiacco ,  Kenneth Hrdina ,  Lisa Moore ,  Susan Schiefelbein

发明人： Dana Bookbinder ,  Richard Fiacco ,  Kenneth Hrdina ,  Lisa Moore ,  Susan Schiefelbein

IPC分类号： C03B20/00 ,  C03C3/06

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1469 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2203/40 ,  C03C2203/54 ,  G03F7/70958

摘要： Disclosed are high purity synthetic silica material having an internal transmission at 193 nm of at least 99.65%/cm and method of preparing such material. The material is also featured by a high compositional homogeneity in a plane transverse to the intended optical axis. The soot-to-glass process for making the material includes a step of consolidating the soot preform in the presence of H2O and/or O2.

摘要翻译： 公开了具有193nm以上的内透射率为至少99.65％/ cm 3的高纯度合成二氧化硅材料及其制备方法。 该材料的特征还在于横向于预期光轴的平面中具有高的组成均匀性。 用于制造材料的烟灰对玻璃工艺包括在H 2 O 2和/或O 2 2的存在下固化烟灰预制件的步骤。

公开(公告)号：US20050063663A1

公开(公告)日：2005-03-24

申请号：US10929142

申请日：2004-08-27

申请人： James Anderson ,  Dana Bookbinder ,  Lisa Chacon ,  Calvin Coffey ,  Adam Ellison ,  Gregory Gausman ,  Rostislav Khrapko ,  Stephan Logunov ,  Michael Murtagh ,  Clinton Osterhout ,  Sabyasachi Sen ,  William Whedon

发明人： James Anderson ,  Dana Bookbinder ,  Lisa Chacon ,  Calvin Coffey ,  Adam Ellison ,  Gregory Gausman ,  Rostislav Khrapko ,  Stephan Logunov ,  Michael Murtagh ,  Clinton Osterhout ,  Sabyasachi Sen ,  William Whedon

IPC分类号： C03B37/012 ,  C03B37/014 ,  C03B37/018 ,  C03C3/06 ,  C03C13/04 ,  G02B6/036 ,  G02B6/00

CPC分类号： G02B6/0228 ,  C03B37/01211 ,  C03B37/0124 ,  C03B37/014 ,  C03B37/01413 ,  C03B37/01446 ,  C03B37/0146 ,  C03B37/01466 ,  C03B37/01473 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01815 ,  C03B37/01838 ,  C03B37/01853 ,  C03B37/027 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/22 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/50 ,  C03B2203/22 ,  C03B2203/26 ,  C03B2203/29 ,  C03B2207/90 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C13/046 ,  C03C13/048 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/50 ,  G02B6/02242 ,  G02B6/02271 ,  G02B6/028 ,  G02B6/03611 ,  G02B6/03644 ,  G02B6/03694 ,  Y10T428/294

摘要： Disclosed is an optical fiber having a core with an alkali metal oxide dopant in an peak amount greater than about 0.002 wt. % and less than about 0.1 wt. %. The alkali metal oxide concentration varies with a radius of the optical fiber. By appropriately selecting the concentration of alkali metal oxide dopant in the core and the cladding, a low loss optical fiber may be obtained. Also disclosed are several methods of making the optical fiber including the steps of forming an alkali metal oxide-doped rod, and adding additional glass to form a draw perform. Preferably, the draw preform has a final outer dimension (d2), wherein an outer dimension (d1) of the rod is less than or equal to 0.06 times the final outer dimension (d2). In a preferred embodiment, the alkali metal oxide-doped rod is inserted into the centerline hole of a preform to form an assembly.

摘要翻译： 公开了一种光纤，其具有具有大于约0.002重量％的峰值的碱金属氧化物掺杂剂的芯。 ％且小于约0.1wt。 ％。 碱金属氧化物浓度随着光纤的半径而变化。 通过适当地选择芯和包层中的碱金属氧化物掺杂剂的浓度，可以获得低损耗光纤。 还公开了几种制造光纤的方法，包括形成碱金属氧化物掺杂棒的步骤，并且添加额外的玻璃以形成拉伸性能。 优选地，拉伸预成型件具有最终外部尺寸（d2），其中杆的外部尺寸（d1）小于或等于最终外部尺寸（d2）的0.06倍。 在一个优选实施例中，将掺入碱金属氧化物的棒插入到预成型件的中心线孔中以形成组件。

公开(公告)号：US20050092030A1

公开(公告)日：2005-05-05

申请号：US10699446

申请日：2003-10-31

申请人： Jitendra Balakrishnan ,  Dana Bookbinder ,  Lisa Chacon ,  Steven Dunwoody ,  Kintu Early ,  Daniel Hawtof ,  Prantik Mazumder ,  Amy Rovelstad ,  Susan Schiefelbein ,  Pushkar Tandon

发明人： Jitendra Balakrishnan ,  Dana Bookbinder ,  Lisa Chacon ,  Steven Dunwoody ,  Kintu Early ,  Daniel Hawtof ,  Prantik Mazumder ,  Amy Rovelstad ,  Susan Schiefelbein ,  Pushkar Tandon

IPC分类号： C03B37/014 ,  C03B37/018

CPC分类号： C03B37/0142 ,  C03B37/01486 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/075 ,  C03B2203/29 ,  C03B2207/38 ,  C03B2207/52 ,  C03B2207/66 ,  C03B2207/70

摘要： The invention includes methods and apparatus for depositing soot onto a glass surface to minimize water in the deposited soot and the diffusion of the water into the glass surface. The invention includes depositing a first layer of soot a on the glass surface at a first forward traverse rate and depositing a second layer of soot at a second forward traverse rate.

摘要翻译： 本发明包括用于将烟灰沉积在玻璃表面上以最小化沉积的烟灰中的水和将水扩散到玻璃表面中的方法和装置。 本发明包括以第一向前横移速率沉积玻璃表面上的第一层烟灰a并以第二前进横向速率沉积第二层烟灰。

公开(公告)号：US20050044802A1

公开(公告)日：2005-03-03

申请号：US10873049

申请日：2004-06-22

申请人： Robert Bellman ,  Dana Bookbinder ,  Amy Rovelstad ,  Kamal Soni ,  Susan Schiefelbein

发明人： Robert Bellman ,  Dana Bookbinder ,  Amy Rovelstad ,  Kamal Soni ,  Susan Schiefelbein

IPC分类号： B24D3/02 ,  C09C1/68 ,  C09K3/14 ,  G03C5/00 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/70916 ,  G03F7/70933

摘要： The invention is directed to improving the lifetime of optical assemblies by placing such assemblies in a housing and placing a “getter” material within the housing to remove substances that affect the surface of the optical elements used in such assemblies. The “getter” materials are those materials that can remove H2O and O2 from the operating environment of the optical element. The invention is useful in protecting the optical elements of below 250 nm laser lithography systems from damage due to pitting.

摘要翻译： 本发明旨在通过将这种组件放置在壳体中并将“吸气剂”材料放置在壳体内以去除影响这些组件中使用的光学元件的表面的物质来改善光学组件的使用寿命。 “吸气剂”材料是能够从光学元件的操作环境中去除H2O和O2的材料。 本发明可用于保护低于250nm激光光刻系统的光学元件免受点蚀损伤。

公开(公告)号：US20070105704A1

公开(公告)日：2007-05-10

申请号：US11583619

申请日：2006-10-19

申请人： Dana Bookbinder ,  Richard Fiacco ,  Ulrich Neukirch

发明人： Dana Bookbinder ,  Richard Fiacco ,  Ulrich Neukirch

IPC分类号： C03C3/06 ,  C03B8/00 ,  C03B19/06

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B19/12 ,  C03B19/14 ,  C03B19/1453 ,  C03B20/00 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/08 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/22 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/42 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/22 ,  C03C2201/23

摘要： What is disclosed includes OD-doped synthetic silica glass capable of being used in optical elements for use in lithography below about 300 nm. OD-doped synthetic silica glass was found to have significantly lower polarization-induced birefringence value than non-OD-doped silica glass with comparable concentration of OH. Also disclosed are processes for making OD-doped synthetic silica glasses, optical member comprising such glasses, and lithographic systems comprising such optical member. The glass is particularly suitable for immersion lithographic systems due to the exceptionally low polarization-induced birefringence values at about 193 nm.

摘要翻译： 公开的内容包括能够用于低于约300nm的光刻中的光学元件的OD掺杂合成石英玻璃。 发现OD掺杂的合成二氧化硅玻璃具有比具有相当浓度的OH的非OD掺杂的石英玻璃具有显着更低的偏振诱导双折射值。 还公开了制造掺杂OD的合成二氧化硅玻璃，包含这种玻璃的光学构件以及包括这种光学构件的光刻系统的方法。 由于在约193nm处极度低的偏振诱发双折射值，该玻璃特别适用于浸没式光刻系统。

公开(公告)号：US20080013905A1

公开(公告)日：2008-01-17

申请号：US11823681

申请日：2007-06-28

申请人： Dana Bookbinder ,  Ming-Jun Li ,  Mark McDermott ,  Daniel Nolan

发明人： Dana Bookbinder ,  Ming-Jun Li ,  Mark McDermott ,  Daniel Nolan

IPC分类号： G02B6/02

CPC分类号： G02B6/0365 ,  G02B6/02333 ,  G02B6/02342 ,  G02B6/02347 ,  G02B6/02357 ,  G02B6/02395

摘要： Optical fiber having a coating surrounding and in direct contact with the silica based cladding region of the fiber, the coating having a Young's modulus of elasticity greater than 30 MPa. The optical fiber has low bend losses, especially low microbend induced losses. The optical fiber has a core surrounded by a cladding, and the cladding has a ring portion that includes holes or doped silica or both.

摘要翻译： 具有围绕并与纤维的二氧化硅基包覆区直接接触的涂层的光纤，该涂层的杨氏弹性模量大于30MPa。 光纤具有低弯曲损耗，特别是低微弯损耗。 光纤具有由包层包围的芯，并且包层具有包括空穴或掺杂二氧化硅或两者的环部分。