公开(公告)号：US5780727A

公开(公告)日：1998-07-14

申请号：US793788

申请日：1997-03-05

Applicant: James K. Gimzewski ,  Rato R. Schlittler ,  Mark E. Welland

Inventor： James K. Gimzewski ,  Rato R. Schlittler ,  Mark E. Welland

IPC: G01B21/30 ,  G01D5/12 ,  G01H1/00 ,  G01H11/06 ,  G01K5/72 ,  G01L1/16 ,  G01L9/00 ,  G01N37/00 ,  G01Q20/04 ,  G01Q60/38 ,  H01L29/786 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H04R17/00

CPC classification number: G01Q20/04 ,  B82Y35/00 ,  G01H11/06 ,  G01K5/72 ,  G01L1/16 ,  G01Q70/14 ,  Y10S977/721 ,  Y10S977/837 ,  Y10S977/849 ,  Y10S977/851 ,  Y10S977/863

Abstract: A field effect transistor and a piezoelectric sensor are positioned between layers of silicon and aluminum to function as a bimetallic electromechanical transducer. The transducer can be used in atomic force microscopy or as an actuator, a chemical sensor, or an oscillator.

Abstract translation: PCT No.PCT / EP95 / 03052。 371日期1997年3月5日 102（e）1997年3月5日PCT 1994年9月12日PCT PCT。 公开号WO96 / 08701 日期1996年3月21日场效应晶体管和压电传感器位于硅和铝层之间，用作双金属机电换能器。 传感器可用于原子力显微镜或致动器，化学传感器或振荡器。

公开(公告)号：US06313905B1

公开(公告)日：2001-11-06

申请号：US09407725

申请日：1999-09-28

Applicant: Juergen P. Brugger ,  James K. Gimzewski ,  Pierre L. Guéret ,  Roland Luethi-Oetterli ,  Räto R. Schlittler ,  Mark E. Welland

Inventor： Juergen P. Brugger ,  James K. Gimzewski ,  Pierre L. Guéret ,  Roland Luethi-Oetterli ,  Räto R. Schlittler ,  Mark E. Welland

IPC: G03B2752

CPC classification number: G03F7/2047 ,  G03F7/2049 ,  G03F7/70283 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/304 ,  H01J2237/31711 ,  H01J2237/31732 ,  H01J2237/31737 ,  H01J2237/31755 ,  Y10S977/855 ,  Y10S977/863 ,  Y10S977/869 ,  Y10S977/881 ,  Y10S977/888 ,  Y10S977/901

Abstract: The invention provides an apparatus and a method for defining a pattern on a substrate using a shadow masking technique. Said apparatus comprises a flexible member having a movable portion and at least one aperture. The flexible member is positioned in operation above the substrate thereby acting as a shadow mask. The apparatus further comprises a support for the substrate, distance-controlling means for controlling the distance between said movable portion and said substrate, and an actuator for moving the flexible member and substrate relative to each other parallel to a surface of the substrate. The apparatus further comprises an emission source which emits materials, electrons or light and which aims through the shadow mask at the substrate where the pattern is defined. Such a pattern might be employed in micromechanic, microoptic or microelectronic devices, for example. The described apparatus may be implemented using the AFM principal.

Abstract translation: 本发明提供一种使用阴影掩蔽技术在衬底上定义图案的装置和方法。 所述装置包括具有可移动部分和至少一个孔的柔性构件。 柔性构件被定位在基板上方，从而用作荫罩。 该装置还包括用于基板的支撑件，用于控制所述可移动部分和所述基板之间的距离的距离控制装置，以及用于相对于基板的表面平行移动柔性构件和基板的致动器。 该装置还包括发射材料，电子或光的发射源，其目的是通过限定图案的衬底处的荫罩。 例如，这种图案可以用在微机械，微光学或微电子器件中。 所描述的装置可以使用AFM主体来实现。

公开(公告)号：US06972423B2

公开(公告)日：2005-12-06

申请号：US10360513

申请日：2003-02-06

Applicant: Mark E. Welland ,  Trevor Rayment

Inventor： Mark E. Welland ,  Trevor Rayment

IPC: G01N33/50 ,  G01N21/78 ,  G01N33/15 ,  G01N33/543 ,  G01N15/06

CPC classification number: G01N33/54373

Abstract: The present invention pertains to a sensor, suitable for use in the detection of an analyte in a fluid, comprising: a tube (4) defining a flow path for the fluid; a generally planar member (3) mounted in the flow path (→) such that the plane is in the direction of flow, wherein the member has, bound thereto, a ligand that interacts with the analyte, wherein interaction causes the member to flex; and means (1, 2) for the detection of the flexing.

Abstract translation: 本发明涉及一种适于用于检测流体中分析物的传感器，包括：限定流体流动路径的管（4）; 安装在所述流动路径（→）中的大致平面的构件（3），使得所述平面处于流动方向，其中所述构件与其结合，与分析物相互作用的配体，其中相互作用导致构件弯曲 ; 以及用于检测弯曲的装置（1,2）。