公开(公告)号：US08952832B2

公开(公告)日：2015-02-10

申请号：US12106921

申请日：2008-04-21

申请人： Steven S. Nasiri ,  Joseph Jiang ,  David Sachs

发明人： Steven S. Nasiri ,  Joseph Jiang ,  David Sachs

IPC分类号： H03M11/00 ,  G06F3/038 ,  G06F3/0346 ,  G06F3/01

CPC分类号： G06F3/0346 ,  A63F13/211 ,  A63F2300/105 ,  A63F2300/209 ,  B81B7/02 ,  G01C19/42 ,  G01P15/02 ,  G06F3/017 ,  G06F3/038

摘要： Interfacing application programs and motion sensors of a device. In one aspect, a high-level command is received from an application program running on a motion sensing device, where the application program implements one of multiple different types of applications available for use on the device. The high-level command requests high-level information derived from the output of motion sensors of the device that include rotational motion sensors and linear motion sensors. The command is translated to cause low-level processing of motion sensor data output by the motion sensors, the low-level processing following requirements of the type of application and determining the high-level information in response to the command. The application program is ignorant of the low-level processing, and the high-level information is provided to the application program.

摘要翻译： 接口应用程序和设备的运动传感器。 在一个方面，从运动感测装置上运行的应用程序接收高级命令，其中应用程序实现可用于设备上的多种不同类型的应用中的一种。 高级命令请求从包括旋转运动传感器和线性运动传感器的装置的运动传感器的输出得到的高级信息。 该命令被转换为对运动传感器输出的运动传感器数据进行低级处理，按照应用类型的要求进行低级处理，并根据命令确定高级信息。 应用程序对低级处理无知，向应用程序提供高级信息。

公开(公告)号：US08508039B1

公开(公告)日：2013-08-13

申请号：US12117264

申请日：2008-05-08

申请人： Steven S. Nasiri ,  Goksen G. Yaralioglu

发明人： Steven S. Nasiri ,  Goksen G. Yaralioglu

IPC分类号： H01L23/12

CPC分类号： B81C1/0023 ,  B81C1/00238 ,  B81C2203/0792 ,  H01L2224/11

摘要： In a method and system in accordance with the present invention, solder balls are added on top of vertically integrated MEMS with CMOS by using wafer scale fabrication compatible with existing chip scale packaging capabilities. In the present invention, both the MEMS and the CMOS dies are fabricated in equal dimensions. On the MEMS level, silicon islands are defined by DRIE etching to be bonded on top of CMOS pads. These conducting silicon islands later provide electrical connections between the CMOS pads and the conducting traces that lead to solder balls on top.

摘要翻译： 在根据本发明的方法和系统中，通过使用与现有芯片级封装能力兼容的晶片级制造，将焊球添加到具有CMOS的垂直集成MEMS的顶部上。 在本发明中，MEMS和CMOS晶体管的尺寸相同。 在MEMS级别上，硅岛由DRIE蚀刻限定，以连接在CMOS焊盘之上。 这些导电硅岛稍后提供CMOS焊盘和导致焊球顶部的导电迹线之间的电连接。

公开(公告)号：US08250921B2

公开(公告)日：2012-08-28

申请号：US11774488

申请日：2007-07-06

申请人： Steven S. Nasiri ,  David Sachs ,  Babak Taheri

发明人： Steven S. Nasiri ,  David Sachs ,  Babak Taheri

IPC分类号： G01P15/00 ,  G01P1/02

CPC分类号： G01C19/5776 ,  G01C19/5769 ,  G01P1/023 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0845 ,  G01P2015/0865 ,  G01P2015/088

摘要： A module operable to be mounted onto a surface of a board. The module includes a linear accelerometer to provide a first measurement output corresponding to a measurement of linear acceleration in at least one axis, and a first rotation sensor operable to provide a second measurement output corresponding to a measurement of rotation about at least one axis. The accelerometer and the first rotation sensor are formed on a first substrate. The module further includes an application specific integrated circuit (ASIC) to receive both the first measurement output from the linear accelerometer and the second measurement output from the first rotation sensor. The ASIC includes an analog-to-digital converter and is implemented on a second substrate. The first substrate is vertically bonded to the second substrate.

摘要翻译： 一种可操作以安装在电路板表面上的模块。 该模块包括线性加速度计，以提供对应于至少一个轴线性加速度测量的第一测量输出，以及第一旋转传感器，其可操作以提供对应于围绕至少一个轴线的旋转测量的第二测量输出。 加速度计和第一旋转传感器形成在第一基板上。 该模块还包括专用集成电路（ASIC），用于接收来自线性加速度计的第一测量输出和来自第一旋转传感器的第二测量输出。 ASIC包括模数转换器并且被实现在第二基板上。 第一衬底垂直地结合到第二衬底。

公开(公告)号：US08084332B2

公开(公告)日：2011-12-27

申请号：US12184231

申请日：2008-07-31

申请人： Steven S. Nasiri ,  Anthony Francis Flannery, Jr.

发明人： Steven S. Nasiri ,  Anthony Francis Flannery, Jr.

IPC分类号： H01L21/30 ,  H01L21/46 ,  H01L21/00 ,  H01L29/40

CPC分类号： B81C1/00238 ,  B23K20/023 ,  B81B3/0018 ,  B81B7/007 ,  B81B2203/0315 ,  B81B2207/012 ,  B81B2207/094 ,  B81C1/00269 ,  B81C3/001 ,  B81C2203/0118 ,  B81C2203/035 ,  B81C2203/038 ,  B81C2203/0792 ,  H01L21/187

摘要： A method of bonding of germanium to aluminum between two substrates to create a robust electrical and mechanical contact is disclosed. An aluminum-germanium bond has the following unique combination of attributes: (1) it can form a hermetic seal; (2) it can be used to create an electrically conductive path between two substrates; (3) it can be patterned so that this conduction path is localized; (4) the bond can be made with the aluminum that is available as standard foundry CMOS process. This has the significant advantage of allowing for wafer-level bonding or packaging without the addition of any additional process layers to the CMOS wafer.

摘要翻译： 公开了一种在两个基板之间将锗键合到铝以产生牢固的电气和机械接触的方法。 铝 - 锗键具有以下独特的属性组合：（1）可形成气密封; （2）可用于在两个基板之间形成导电路径; （3）可以对其进行图案化，使得该导电路径被定位; （4）可以用作为标准铸造CMOS工艺的铝制成。 这具有允许晶片级接合或封装而不向CMOS晶片添加任何附加工艺层的显着优点。

公开(公告)号：US08047075B2

公开(公告)日：2011-11-01

申请号：US11766776

申请日：2007-06-21

申请人： Steven S. Nasiri ,  Joseph Seeger ,  Goksen Yaralioglu

发明人： Steven S. Nasiri ,  Joseph Seeger ,  Goksen Yaralioglu

IPC分类号： G01P15/125

CPC分类号： G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0814 ,  G01P2015/0831

摘要： A system and method in accordance with the present invention provides for a low cost, bulk micromachined accelerometer integrated with electronics. The accelerometer can also be integrated with rate sensors that operate in a vacuum environment. The quality factor of the resonances is suppressed by adding dampers. Acceleration sensing in each axis is achieved by separate structures where the motion of the proof mass affects the value of sense capacitors differentially. Two structures are used per axis to enable full bridge measurements to further reduce the mechanical noise, immunity to power supply changes and cross axis coupling. To reduce the sensitivity to packaging and temperature changes, each mechanical structure is anchored to a single anchor pillar bonded to the top cover.

摘要翻译： 根据本发明的系统和方法提供了一种与电子器件集成的低成本，体积微机械加速度计。 加速度计也可以与在真空环境中运行的速率传感器集成。 通过加入阻尼器来抑制谐振的品质因数。 每个轴上的加速度感测通过单独的结构实现，其中检测质量的运动差异地影响感测电容器的值。 每个轴使用两个结构，以实现全桥测量，以进一步降低机械噪声，对电源变化的抗扰度和交叉轴耦合。 为了降低对包装和温度变化的敏感性，每个机械结构被锚定到结合到顶盖的单个锚柱上。

公开(公告)号：US20110197677A1

公开(公告)日：2011-08-18

申请号：US13096732

申请日：2011-04-28

申请人： Steven S. NASIRI ,  Goksen G. Yaralioglu ,  Joseph Seeger ,  Babak Taheri

发明人： Steven S. NASIRI ,  Goksen G. Yaralioglu ,  Joseph Seeger ,  Babak Taheri

IPC分类号： G01P15/08

CPC分类号： G01P15/0888 ,  B60R2021/01327 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18

摘要： Sensors for measuring angular acceleration about three mutually orthogonal axes, X, Y, Z or about the combination of these axes are disclosed. The sensor comprises a sensor subassembly. The sensor subassembly further comprises a base which is substantially parallel to the X-Y sensing plane; a proof mass disposed in the X-Y sensing plane and constrained to rotate substantially about the X, and/or Y, and/or Z, by at least one linkage and is responsive to angular accelerations about the X, and/or Y, and/or Z directions. Finally, the sensor includes at least one electrode at the base plate or perpendicular to the base plate and at least one transducer for each sensing direction of the sensor subassembly responsive to the angular acceleration. Multi-axis detection is enabled by adjusting a configuration of flexures and electrodes.

摘要翻译： 公开了用于测量围绕三个相互正交的轴X，Y，Z或围绕这些轴的组合的角加速度的传感器。 传感器包括传感器子组件。 传感器子组件还包括基本上平行于X-Y感测平面的基座; 设置在XY感测平面中并被约束以基于X和/或Y和/或Z 1至少一个连杆旋转的检测质量体，并响应于围绕X和/或Y的角加速度和/ 或Z方向。 最后，传感器在基板处包括至少一个电极或垂直于基板，以及至少一个传感器，用于响应于角加速度的传感器子组件的每个感测方向。 通过调整弯曲和电极的配置可实现多轴检测。

公开(公告)号：US20100290769A1

公开(公告)日：2010-11-18

申请号：US12726244

申请日：2010-03-17

申请人： Steven S. NASIRI ,  Mansur KIADEH ,  Yuan ZHENG ,  Shang-Hung LIN ,  Sheena SHI

发明人： Steven S. NASIRI ,  Mansur KIADEH ,  Yuan ZHENG ,  Shang-Hung LIN ,  Sheena SHI

IPC分类号： G03B17/00

CPC分类号： G03B17/00

摘要： An optical image stabilization system for a camera module is disclosed. The stabilization system comprises a voice coil motor (VCM), at least one digital gyroscope for receiving signals from the VCM, and an angular velocity sensor for receiving signals from the digital gyroscope and outputting an angular position error signal. The stabilization system further comprises signal processing logic for receiving the error signal, and comparing the error signal to a reference signal and providing a stabilized image based upon that comparison, wherein the hard-coded logic, digital gyroscope and rate and position sensor resides on the same chip.

摘要翻译： 公开了一种用于相机模块的光学图像稳定系统。 稳定系统包括音圈电机（VCM），用于接收来自VCM的信号的至少一个数字陀螺仪和用于从数字陀螺仪接收信号并输出​​角位置误差信号的角速度传感器。 稳定系统还包括用于接收误差信号的信号处理逻辑，以及将误差信号与参考信号进行比较并基于该比较提供稳定图像，其中硬编码逻辑，数字陀螺仪和速率和位置传感器位于 相同的芯片

公开(公告)号：US20100132460A1

公开(公告)日：2010-06-03

申请号：US12621463

申请日：2009-11-18

申请人： Joseph SEEGER ,  Steven S. NASIRI ,  Alexander CASTRO

发明人： Joseph SEEGER ,  Steven S. NASIRI ,  Alexander CASTRO

IPC分类号： G01C19/56

CPC分类号： G01C19/56 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5719 ,  G01C19/574

摘要： An angular velocity sensor has two masses which are laterally disposed in an X-Y plane and indirectly connected to a frame. The two masses are linked together by a linkage such that they necessarily move in opposite directions along Z. Angular velocity of the sensor about the Y axis can be sensed by driving the two masses into Z-directed antiphase oscillation and measuring the angular oscillation amplitude thereby imparted to the frame. In a preferred embodiment, the angular velocity sensor is fabricated from a bulk MEMS gyroscope wafer, a cap wafer and a reference wafer. In a further preferred embodiment, this assembly of wafers provides a hermetic barrier between the masses and an ambient environment.

摘要翻译： 角速度传感器具有横向设置在X-Y平面中并间接连接到框架的两个质量块。 两个质量通过联动使得它们必须沿着相反方向移动。传感器绕Y轴的角速度可以通过将两个质量驱动成Z向反相振荡并测量角振荡幅度来感测 传给框架。 在优选实施例中，角速度传感器由体MEMS陀螺仪晶片，盖晶片和参考晶片制成。 在另一优选实施例中，晶片组件提供了质量和周围环境之间的密封屏障。

公开(公告)号：US20090265671A1

公开(公告)日：2009-10-22

申请号：US12252322

申请日：2008-10-15

申请人： DAVID SACHS ,  STEVEN S. NASIRI ,  JOSEPH JIANG ,  ANJIA GU

发明人： DAVID SACHS ,  STEVEN S. NASIRI ,  JOSEPH JIANG ,  ANJIA GU

IPC分类号： G06F3/01

CPC分类号： G06F3/017 ,  G06F3/0346 ,  G06F2200/1636 ,  G06F2200/1637 ,  H04M2250/12

摘要： Mobile devices using motion gesture recognition. In one aspect, processing motion to control a portable electronic device includes receiving, on the device, sensed motion data derived from motion sensors of the device and based on device movement in space. The motion sensors include at least three rotational motion sensors and at least three accelerometers. A particular operating mode is determined to be active while the movement of the device occurs, the mode being one of multiple different operating modes of the device. Motion gesture(s) are recognized from the motion data from a set of motion gestures available for recognition in the active operating mode. Each of the different operating modes, when active, has a different set of gestures available. State(s) of the device are changed based on the recognized gestures, including changing output of a display screen on the device.

摘要翻译： 移动设备使用运动手势识别。 在一个方面，用于控制便携式电子设备的处理运动包括在设备上接收从设备的运动传感器导出的感测运动数据，并且基于设备在空间中的运动。 运动传感器包括至少三个旋转运动传感器和至少三个加速度计。 当设备的移动发生时，确定特定操作模式是活动的，该模式是设备的多种不同的操作模式之一。 从活动操作模式中可用于识别的一组运动手势的运动数据中识别运动手势。 每种不同的操作模式在活动时具有不同的手势集。 基于识别的手势改变设备的状态，包括改变设备上的显示屏幕的输出。

公开(公告)号：US20090184849A1

公开(公告)日：2009-07-23

申请号：US12106921

申请日：2008-04-21

申请人： Steven S. NASIRI ,  Joseph Jiang ,  David Sachs

发明人： Steven S. NASIRI ,  Joseph Jiang ,  David Sachs

IPC分类号： H03K17/94 ,  H03M11/00

CPC分类号： G06F3/0346 ,  A63F13/211 ,  A63F2300/105 ,  A63F2300/209 ,  B81B7/02 ,  G01C19/42 ,  G01P15/02 ,  G06F3/017 ,  G06F3/038

摘要： Interfacing application programs and motion sensors of a device. In one aspect, a high-level command is received from an application program running on a motion sensing device, where the application program implements one of multiple different types of applications available for use on the device. The high-level command requests high-level information derived from the output of motion sensors of the device that include rotational motion sensors and linear motion sensors. The command is translated to cause low-level processing of motion sensor data output by the motion sensors, the low-level processing following requirements of the type of application and determining the high-level information in response to the command. The application program is ignorant of the low-level processing, and the high-level information is provided to the application program.

摘要翻译： 接口应用程序和设备的运动传感器。 在一个方面，从运动感测装置上运行的应用程序接收高级命令，其中应用程序实现可用于设备上的多种不同类型的应用中的一种。 高级命令请求从包括旋转运动传感器和线性运动传感器的装置的运动传感器的输出得到的高级信息。 该命令被转换为对运动传感器输出的运动传感器数据进行低级处理，按照应用类型的要求进行低级处理，并根据命令确定高级信息。 应用程序对低级处理无知，向应用程序提供高级信息。