公开(公告)号：US09543480B2

公开(公告)日：2017-01-10

申请号：US13992805

申请日：2011-12-02

申请人： Dai Inamori ,  Takafumi Kawano ,  Toshiro Doi ,  Syuhei Kurokawa

发明人： Dai Inamori ,  Takafumi Kawano ,  Toshiro Doi ,  Syuhei Kurokawa

IPC分类号： B24B37/00 ,  C09K11/08 ,  C09K11/80 ,  C09K3/14 ,  H01L33/50 ,  H01B3/12 ,  B24B37/04 ,  C09G1/02 ,  C04B35/117 ,  C04B35/44 ,  C04B35/65 ,  H01L21/304

CPC分类号： H01L33/502 ,  B24B37/044 ,  C04B35/117 ,  C04B35/44 ,  C04B35/652 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3229 ,  C04B2235/6581 ,  C04B2235/764 ,  C04B2235/80 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1409 ,  H01B3/12 ,  H01L33/50

摘要： A ceramic composite for light conversion comprising a solidified body in which crystalline phases of oxides are three-dimensionally entangled and a method for manufacture thereof. A manufacture method of a ceramic composite for light conversion is characterized in that a polishing step is provided in a chemical mechanical polishing (CMP) process applied to the surface of a solidified body with a structure in which an Al2O3 phase and other phases are three-dimensionally entangled.

摘要翻译： 一种用于光转化的陶瓷复合材料，其包含其中氧化物的结晶相三维缠结的凝固体及其制造方法。 一种用于光转换的陶瓷复合材料的制造方法的特征在于，在施加到固化体的表面的化学机械抛光（CMP）工艺中提供了研磨步骤，其中Al 2 O 3相和其它相是三相的结构， 尺寸纠缠。

公开(公告)号：US20120240479A1

公开(公告)日：2012-09-27

申请号：US13514683

申请日：2010-11-18

申请人： Toshiro Doi ,  Syuhei Kurokawa ,  Osamu Ohnishi ,  Tadashi Hasegawa ,  Yasuhiro Kawase ,  Yasuhide Yamaguchi

发明人： Toshiro Doi ,  Syuhei Kurokawa ,  Osamu Ohnishi ,  Tadashi Hasegawa ,  Yasuhiro Kawase ,  Yasuhide Yamaguchi

IPC分类号： C09K3/14 ,  H01L21/304

CPC分类号： C09K3/1463 ,  B24B37/044 ,  C09G1/02 ,  H01L21/02024 ,  H01L29/1608

摘要： The present invention provides an abrasive treatment technique capable of planarizing at an extremely high rate silicon carbide, which is thermally and chemically extremely stable and for which it is extremely difficult to efficiently perform an abrasive treatment. The present invention is a polishing slurry for silicon carbide wherein the polishing slurry includes a suspension liquid in which the pH thereof is 6.5 or more and manganese dioxide particles are suspended. The polishing slurry for silicon carbide is preferably a suspension in which manganese dioxide particles are suspended in an aqueous solution allowed to have a redox potential falling in a range enabling manganese to be present as manganese dioxide. The redox potential V of the polishing slurry preferably falls within the range specified by the following formula representing a relation between V and pH, pH being a variable: 1.014−0.591 pH≦V≦1.620−0.0743 pH

摘要翻译： 本发明提供一种能够以极高速率碳化硅平坦化的磨料处理技术，该碳化硅在热和化学上极其稳定，极难有效地进行研磨处理。 本发明是一种用于碳化硅的抛光浆料，其中抛光浆料包括其pH为6.5以上的悬浮液和二氧化锰颗粒悬浮。 用于碳化硅的抛光浆料优选是其中二氧化锰颗粒悬浮在允许氧化还原电位落在使锰以二氧化锰存在的范围内的水溶液中的悬浮液。 抛光浆料的氧化还原电位V优选落在由下式表示的范围内，表示V和pH之间的关系，pH是可变的：1.014-0.591 pH＆NlE; V＆lt; IL; 1.620-0.0743 pH

公开(公告)号：US20130327985A1

公开(公告)日：2013-12-12

申请号：US13992805

申请日：2011-12-02

申请人： Dai Inamori ,  Takafumi Kawano ,  Toshiro Doi ,  Syuhei Kurokawa

发明人： Dai Inamori ,  Takafumi Kawano ,  Toshiro Doi ,  Syuhei Kurokawa

IPC分类号： H01L33/50

CPC分类号： H01L33/502 ,  B24B37/044 ,  C04B35/117 ,  C04B35/44 ,  C04B35/652 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3229 ,  C04B2235/6581 ,  C04B2235/764 ,  C04B2235/80 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1409 ,  H01B3/12 ,  H01L33/50

摘要： A ceramic composite for light conversion comprising a solidified body in which crystalline phases of oxides are three-dimensionally entangled and a method for manufacture thereof. A manufacture method of a ceramic composite for light conversion is characterized in that a polishing step is provided in a chemical mechanical polishing (CMP) process applied to the surface of a solidified body with a structure in which an Al2O3 phase and other phases are three-dimensionally entangled.

摘要翻译： 一种用于光转化的陶瓷复合材料，其包含其中氧化物的结晶相三维缠结的凝固体及其制造方法。 一种用于光转换的陶瓷复合材料的制造方法的特征在于，在施加到固化体的表面的化学机械抛光（CMP）工艺中提供了研磨步骤，其中Al 2 O 3相和其它相是三相的结构， 尺寸纠缠。