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    Controller of laser marking machine
    1.
    发明授权
    Controller of laser marking machine 失效
    激光打标机控制器

    公开(公告)号：US5895588A

    公开(公告)日：1999-04-20

    申请号：US894862

    申请日：1997-09-03

    申请人： Yukinori Matsumura ,  Koji Misugi ,  Akihiko Soda

    发明人： Yukinori Matsumura ,  Koji Misugi ,  Akihiko Soda

    IPC分类号： B23K26/00 ,  B23K26/06 ,  G06K1/12 ,  G06K15/12

    CPC分类号： G06K15/1238 ,  B23K26/066 ,  G06K1/126

    摘要： A controller for controlling a laser marking machine, which classifies a divided image into a non-printing region (H row) and a printing region ("APPER"). When the non-printing region is displayed on a liquid crystal display screen, the printing pattern ("APPER") is displayed on the liquid crystal screen so that scanning on the liquid crystal display screen is started by a scanning device from the printing region continuing the non-printing region by omitting this non-printing region (H row) when it is in an upper region for which scanning is first made. A moving device corrects the moving distance of the printing position of the printing pattern by the distance corresponding to the non-printing region (H row) so omitted, and starts movement to the marking position of the next divided image (B'3) when scanning of the printing region of this divided image (B'2) is finished. According to this construction, the reduction of the marking time and the restriction of the occurrence of non-uniform printing can be simultaneously accomplished.

    摘要翻译： PCT No.PCT / JP96 / 00555 Sec。 371日期：1997年9月3日 102（e）1997年9月3日PCT PCT 1996年3月7日PCT公布。 WO96 / 27474 PCT公开号 日期：1996年12月9日控制激光打标机的控制器，将分割图像分类为非打印区域（H行）和打印区域（“APPER”）。 当在液晶显示屏幕上显示非打印区域时，在液晶屏幕上显示打印图案（“APPER”），使得通过扫描装置从打印区域继续扫描液晶显示屏幕继续 该非打印区域在首先进行扫描的上部区域中省略该非打印区域（H行）。 移动装置将打印图案的打印位置的移动距离校正与省略的非打印区域（H行）相对应的距离，并且当开始移动到下一个分割图像（B'3）的标记位置时， 对该分割图像（B'2）的打印区域的扫描结束。 根据该结构，可以同时实现标记时间的减少和不均匀印刷的发生的限制。

    Laser marking system and laser marking method
    3.
    发明授权
    Laser marking system and laser marking method 失效
    激光打标系统和激光打标法

    公开(公告)号：US5821497A

    公开(公告)日：1998-10-13

    申请号：US495451

    申请日：1995-08-28

    申请人： Taku Yamazaki ,  Yukinori Matsumura ,  Yukihiro Tsuda ,  Akira Mori

    发明人： Taku Yamazaki ,  Yukinori Matsumura ,  Yukihiro Tsuda ,  Akira Mori

    IPC分类号： B23K26/00

    CPC分类号： B23K26/0838 ,  B23K26/066

    摘要： A laser marking system and method with a laser oscillator generating a laser beam that is scanned in a single direction onto a mask (such as a liquid crystal) that displays sequentially a plurality of divided pattern blocks, and a second deflector that deflects the scanned laser beams onto corresponding portions of the surface of a workpiece so as to mark on the surface of the workpiece a combination of the divided pattern blocks . In another embodiment a plurality of masks and a second optical system for combining the beams from the masks can be used to create the mark. The system can be used with a conveyor and a loading and unloading unit using a controller.

    摘要翻译： PCT No.PCT / JP94 / 00069 Sec。 371日期：1995年8月28日 102（e）日期1995年8月28日PCT 1994年1月20日PCT PCT。 公开号WO94 / 16858 日期1994年8月4日激光打标系统和激光振荡器的方法，该激光振荡器产生沿单一方向扫描的激光束到顺序地显示多个划分的图案块的掩模（例如液晶），以及第二偏转器 其将扫描的激光束偏转到工件表面的相应部分上，以便在工件的表面上标记分割图案块的组合。 在另一个实施例中，可以使用多个掩模和用于组合来自掩模的光束的第二光学系统来产生标记。 该系统可以与输送机和使用控制器的装卸单元一起使用。

    Image display method for liquid crystal mask laser marker
    4.
    发明授权
    Image display method for liquid crystal mask laser marker 失效
    液晶面罩激光打标机图像显示方法

    公开(公告)号：US5760370A

    公开(公告)日：1998-06-02

    申请号：US687467

    申请日：1996-08-07

    申请人： Yukihiro Tsuda ,  Yukinori Matsumura

    发明人： Yukihiro Tsuda ,  Yukinori Matsumura

    IPC分类号： G02F1/13 ,  B23K26/00 ,  B23K26/06

    CPC分类号： B23K26/066

    摘要： An image display method for a liquid crystal mask marker displays an image of a high sharpness even when the marking speed is high. To this end, when the display image of a liquid crystal mask (4) is to be rewritten, the method includes performing at least one of (a) making all of the opaque picture elements (B) of the current image (P1) to become transparent, and (b) making all of the transparent picture elements (A) of the current image (P1) to become opaque; then making the electrodes of all of the picture elements (A,B) to be grounded or set equipotentially; and then starting the display of the next image (P2).

    摘要翻译： PCT No.PCT / JP95 / 00149 Sec。 371日期：1996年8月7日 102（e）日期1996年8月7日PCT提交1995年2月6日PCT公布。 公开号WO95 / 21717 日期1995年8月17日液晶掩模标记的图像显示方法即使在标记速度高的情况下也显示高清晰度的图像。 为此，当要重写液晶掩模（4）的显示图像时，该方法包括执行以下至少之一：（a）使当前图像（P1）的所有不透明图像元素（B）成为 变得透明，并且（b）使当前图像（P1）的所有透明图像元素（A）变得不透明; 然后使所有像素（A，B）的电极接地或等电位设置; 然后开始显示下一个图像（P2）。

    Apparatus for inspecting wafer surface, method for inspecting wafer surface, apparatus for judging defective wafer, method for judging defective wafer, and apparatus for processing information on wafer surface
    6.
    发明授权
    Apparatus for inspecting wafer surface, method for inspecting wafer surface, apparatus for judging defective wafer, method for judging defective wafer, and apparatus for processing information on wafer surface 有权
    用于检查晶片表面的装置，用于检查晶片表面的方法，用于判断缺陷晶片的装置，用于判断缺陷晶片的方法，以及用于在晶片表面上处理信息的装置

    公开(公告)号：US07383156B2

    公开(公告)日：2008-06-03

    申请号：US10363746

    申请日：2001-09-05

    申请人： Kouzou Matsusita ,  Yukinori Matsumura ,  Tomikazu Tanuki ,  Mitsuo Terada ,  Kotaro Hori ,  Kiyoharu Miyakawa ,  Akira Nisi ,  Hirobumi Miwa

    发明人： Kouzou Matsusita ,  Yukinori Matsumura ,  Tomikazu Tanuki ,  Mitsuo Terada ,  Kotaro Hori ,  Kiyoharu Miyakawa ,  Akira Nisi ,  Hirobumi Miwa

    IPC分类号： G06F19/00 ,  G06F17/40

    CPC分类号： H01L22/20 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/8861

    摘要： It is possible to inspect scratches and staining on a wafer surface on the basis of an LPD map obtained from a particle counter 11, by providing a means 21 for detecting aggregation of clustered point defects (LPD) from two-dimensional distribution information 30 for such fine LPD on the surface of a silicon wafer, and an improvement in the inspection efficiency and the precision of judgements of “defective” status can be achieved. Furthermore, the system is devised so that the trend of generation of scratches and staining in a specified process can easily be detected by accumulating wafer surface information such as scratch information, staining information and the like for the wafer surface detected by a wafer surface inspection device 11 (especially as image information or numerical information), and superposing sets of information thus accumulated. Plans for improving processes can be made by both the wafer supplier and wafer consumer by sharing such information with both parties.

    摘要翻译： 根据从粒子计数器11获得的LPD图，通过提供用于从二维分布信息30检测聚集点缺陷（LPD）的聚集的装置21，可以检查在晶片表面上的划痕和染色。 可以实现硅晶片表面的精细LPD，并且可以提高检查效率和“缺陷”状态的判断精度。 此外，设计了系统，以便通过对由晶片表面检查装置检测到的晶片表面积累诸如划痕信息，染色信息等的晶片表面信息，可以容易地检测在指定工艺中产生划痕和染色的趋势 11（特别是作为图像信息或数值信息），并叠加如此积累的信息集合。 晶圆供应商和晶圆消费者可以通过与双方共享这些信息来改善流程的计划。

    Laser liquid crystal marker and method for judging deterioration of liquid crystal
    7.
    发明授权
    Laser liquid crystal marker and method for judging deterioration of liquid crystal 失效
    激光液晶标记及判断液晶劣化的方法

    公开(公告)号：US5896163A

    公开(公告)日：1999-04-20

    申请号：US549744

    申请日：1995-11-07

    申请人： Yukihiro Tsuda ,  Yoshinori Saito ,  Etsurou Sato ,  Yukinori Matsumura

    发明人： Yukihiro Tsuda ,  Yoshinori Saito ,  Etsurou Sato ,  Yukinori Matsumura

    IPC分类号： B23K26/06 ,  B23K26/42 ,  B41J2/47

    CPC分类号： B23K26/066 ,  B23K26/702

    摘要： A laser liquid crystal marker and a method of judging deterioration of the liquid crystal make it possible to maintain high printing accuracy, ascertain the proper time for replacement of liquid crystal and, further, maintain high printing accuracy even when high speed printing is continuously performed. The marker has a temperature sensor (4), light emitting means (5), light receiving means (6), and a controller (7). The controller (7) calculates a light transmittance (Qi) from the irradiation quantity of light (R1) of the light emitting means (5) and the transmitted quantity of light (R2) received by the light receiving means (6), and adjusts the applied voltage (Vi) of the liquid crystal (2) so that the light transmittance (Qi) becomes equal to an optimum light transmittance (Qo), stored in advance. Further, when the light transmittance (Qi) does not become equal to the optimum light transmittance (Qo), even by adjusting the voltage (Vi) applied to the liquid crystal, it is determined that the liquid crystal (2) has deteriorated.

    摘要翻译： PCT No.PCT / JP94 / 00703 Sec。 371日期：1995年11月7日 102（e）日期1995年11月7日PCT 1994年4月27日PCT PCT。 第WO94 / 26457号公报 日期1994年11月24日激光液晶标记和判断液晶劣化的方法使得可以保持高的印刷精度，确定适当的液晶更换时间，并且即使在高速下也能保持较高的印刷精度 连续执行打印。 标记具有温度传感器（4），发光装置（5），光接收装置（6）和控制器（7）。 控制器（7）根据发光装置（5）的光（R1）的照射量和由光接收装置（6）接收的透光量（R2）计算光透射率（Qi），并调整 液晶（2）的施加电压（Vi），使得透光率（Qi）等于预先存储的最佳透光率（Qo）。 此外，通过调整施加于液晶的电压（Vi），透光率（Qi）也不会变得与最佳透光率（Qo）相等时，判定为液晶（2）劣化。

    Laser marking method including raster scanning of rapidly rewritten liquid crystal mask
    8.
    发明授权
    Laser marking method including raster scanning of rapidly rewritten liquid crystal mask 失效
    激光打标方法包括快速重写液晶面罩的光栅扫描

    公开(公告)号：US5747772A

    公开(公告)日：1998-05-05

    申请号：US793830

    申请日：1997-02-18

    申请人： Yukinori Matsumura ,  Hirokazu Tanaka

    发明人： Yukinori Matsumura ,  Hirokazu Tanaka

    IPC分类号： G02F1/13 ,  B23K26/00 ,  B23K26/06 ,  G06K1/12

    CPC分类号： G06K1/126 ,  B23K26/066

    摘要： The invention relates to a laser marking method in which a laser beam is used for raster scanning of a liquid-crystal mask, on which a desired marking pattern is formed and the laser beam passing through the liquid-crystal mask gives a marking to an object. A marking pattern on the liquid-crystal mask is successively switched over to a subsequent marking pattern every scanning line, to reduce variation in transmissivity of the liquid-crystal mask, thereby obtaining marking with less unevenness of image.

    摘要翻译： PCT No.PCT / JP95 / 01087第 371日期1997年2月18日 102（e）日期1997年2月18日PCT提交1995年6月2日PCT公布。 出版物WO96 / 05936 日期：1996年02月29日本发明涉及一种激光标记方法，其中激光束用于液晶掩模的光栅扫描，在其上形成所需的标记图案，并且通过液晶掩模的激光束给出 对象的标记。 液晶掩模上的标记图案依次切换到每个扫描线的随后的标记图案，以减少液晶掩模的透射率的变化，从而获得图像不均匀的标记。

    Electric work vehicle and base thereof
    9.
    发明授权
    Electric work vehicle and base thereof 有权
    电动车及其基地

    公开(公告)号：US08727055B2

    公开(公告)日：2014-05-20

    申请号：US13982615

    申请日：2012-03-16

    申请人： Yukinori Matsumura ,  Yoshiyuki Takano

    发明人： Yukinori Matsumura ,  Yoshiyuki Takano

    IPC分类号： B60R16/04

    CPC分类号： B60K1/04 ,  B60Y2200/412 ,  B62D25/2054 ,  E02F3/32 ,  E02F9/0858 ,  E02F9/207

    摘要： A base frame for an electric work vehicle equipped with a battery-driven electric motor includes a base plate, a plurality of device installation compartment plates and a battery accommodation compartment plate. The device installation compartment plates are fixed onto the base plate, and form a plurality of installation regions for mounting a variety of devices of the vehicle onto the base plate. The battery accommodation compartment plate is fixed onto the base plate, and forms a region for accommodating a plurality of batteries in an inside thereof.

    摘要翻译： 配备有电池驱动电动机的电动车辆的基架包括基板，多个装置安装室板和电池容纳室板。 设备安装隔板固定在基板上，并形成多个安装区域，用于将车辆的各种装置安装到基板上。 电池容纳室板固定在基板上，形成用于在其内部容纳多个电池的区域。

    Laser marking method for semiconductor wafer
    10.
    发明授权
    Laser marking method for semiconductor wafer 有权
    半导体晶圆激光打标法

    公开(公告)号：US06248973B1

    公开(公告)日：2001-06-19

    申请号：US09266264

    申请日：1999-03-11

    申请人： Yukinori Matsumura ,  Yukihiko Sugimoto ,  Kotaro Hori

    发明人： Yukinori Matsumura ,  Yukihiko Sugimoto ,  Kotaro Hori

    IPC分类号： B23K2600

    CPC分类号： H01L21/67282 ,  B41M5/262 ,  B41M5/265 ,  B41M5/267 ,  H01L23/544 ,  H01L2223/54493 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

    摘要： In a laser marking method for making a dot mark on a semiconductor wafer by using laser beam, molten splashes which arise at the laser marking are prevented from adhering to a surface of the wafer and a shape of the dot mark is kept in a stable posture with its visibility being ensured even after the marking made throughout various and multistage steps in a manufacturing process by the semiconductor apparatus. The method comprises forming a transparent thin film on at least a dot mark-formation area of a semiconductor wafer body of the wafer; irradiating the dot mark-formation area with laser beam having a wavelength selected in advance, on the transparent thin film; melting and deforming the wafer body by the laser beam transmitting the transparent thin film to form a dot mark; and by utilizing the heat generated when the wafer body is melted, deforming the transparent thin film, along with the deformation of the dot mark, into the same shape as the dot mark without a breakdown of the transparent thin films.

    摘要翻译： 在通过使用激光束在半导体晶片上形成点标记的激光标记方法中，防止在激光标记处产生的熔融飞溅附着在晶片的表面上，并且点标的形状保持在稳定的姿势 即使在通过半导体装置的制造工艺中的各种和多级步骤中进行标记之后，其可见性也得到确保。 该方法包括在晶片的半导体晶片体的至少点形成区域上形成透明薄膜; 在透明薄膜上用具有预先选择的波长的激光束照射点标记形成区域; 通过透射透明薄膜的激光束使晶片体熔化和变形以形成点标记; 并且通过利用晶片体熔化时产生的热量，使透明薄膜与点标记的变形一起变形为与点标记相同的形状，而不会导致透明薄膜破裂。