公开(公告)号：US09122156B2

公开(公告)日：2015-09-01

申请号：US14519924

申请日：2014-10-21

申请人： Alex Philip Graham Robinson ,  Dongxu Yang ,  Andreas Frommhold ,  Thomas Lada ,  John L. Roth ,  Xiang Xue ,  Edward A. Jackson

发明人： Alex Philip Graham Robinson ,  Dongxu Yang ,  Andreas Frommhold ,  Thomas Lada ,  John L. Roth ,  Xiang Xue ,  Edward A. Jackson

IPC分类号： G03F7/027 ,  C07D487/04 ,  C07D223/04

CPC分类号： G03F7/027 ,  C07D223/04 ,  C07D487/04 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0382 ,  H01L51/0018

摘要： Disclosed herein is a composition of matter having a general structure chosen from (I), (II), (III) or (IV); at least one photo acid generator; at least one crosslinker; and at least one solvent; wherein X and Y are the same or different, wherein at least one of X and Y comprises an acid labile group, wherein R1 is a saturated or unsaturated group having from 1-4 carbon atoms, R2 is chosen from hydrogen or a saturated or unsaturated group having from 1-4 carbon atoms, R3 is a saturated or unsaturated group having from 1-4 carbon atoms, and R4 is a saturated or unsaturated group having from 1-4 carbon atoms.

摘要翻译： 本文公开了具有选自（I），（II），（III）或（IV）的一般结构的物质组合物; 至少一个光产酸剂; 至少一种交联剂; 和至少一种溶剂; 其中X和Y相同或不同，其中X和Y中的至少一个包含酸不稳定基团，其中R1是具有1-4个碳原子的饱和或不饱和基团，R2选自氢或饱和或不饱和的 具有1-4个碳原子的基团，R3是具有1-4个碳原子的饱和或不饱和基团，R4是具有1-4个碳原子的饱和或不饱和基团。

公开(公告)号：US09229322B2

公开(公告)日：2016-01-05

申请号：US14520037

申请日：2014-10-21

申请人： Alex Phillip Graham Robinson ,  Dongxu Yang ,  Andreas Frommhold ,  Thomas Lada ,  John L. Roth ,  Xiang Xue ,  Edward A. Jackson

发明人： Alex Phillip Graham Robinson ,  Dongxu Yang ,  Andreas Frommhold ,  Thomas Lada ,  John L. Roth ,  Xiang Xue ,  Edward A. Jackson

IPC分类号： G03F7/004 ,  C07D223/00 ,  G03F7/027 ,  C07D487/14 ,  C07D498/14 ,  C07D245/02 ,  G03F7/20 ,  G03F7/38 ,  H01L51/00

CPC分类号： G03F7/027 ,  C07D245/02 ,  C07D487/14 ,  C07D498/14 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/20 ,  G03F7/38 ,  H01L51/0018 ,  H01L51/0047

摘要： Disclosed and claimed herein is a composition of matter having a general structure chosen from (I), (II), (III) or (IV); wherein X and Y are the same or different, wherein at least one of X and Y comprises an acid labile group, wherein R1 is a saturated or unsaturated group having from 1-4 carbon atoms, R2 is chosen from hydrogen or a saturated or unsaturated group having from 1-4 carbon atoms, R3 is a saturated or unsaturated group having from 1-4 carbon atoms, and R4 is a saturated or unsaturated group having from 1-4 carbon atoms.

摘要翻译： 本文公开和要求保护的是具有选自（I），（II），（III）或（IV））的一般结构的物质组合物; 其中X和Y相同或不同，其中X和Y中的至少一个包含酸不稳定基团，其中R1是具有1-4个碳原子的饱和或不饱和基团，R2选自氢或饱和或不饱和的 具有1-4个碳原子的基团，R3是具有1-4个碳原子的饱和或不饱和基团，R4是具有1-4个碳原子的饱和或不饱和基团。

公开(公告)号：US09519215B2

公开(公告)日：2016-12-13

申请号：US14977520

申请日：2015-12-21

申请人： Alex Phillip Graham Robinson ,  Dongxu Yang ,  Andreas Frommhold ,  Thomas Lada ,  John L. Roth ,  Xiang Xue ,  Edward A. Jackson

发明人： Alex Phillip Graham Robinson ,  Dongxu Yang ,  Andreas Frommhold ,  Thomas Lada ,  John L. Roth ,  Xiang Xue ,  Edward A. Jackson

IPC分类号： G03F7/004 ,  C07D223/00 ,  C07D245/02 ,  C07D487/14 ,  C07D498/14 ,  G03F7/027 ,  H01L51/00 ,  G03F7/38

CPC分类号： G03F7/0045 ,  C07D245/02 ,  C07D487/04 ,  C07D487/08 ,  C07D487/14 ,  C07D498/14 ,  G03F7/027 ,  G03F7/0382 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/38 ,  H01L51/0018 ,  H01L51/0047

摘要： The present application for patent discloses a composition of matter comprising: comprising a solvent; and an ester having a chemical structure chosen from (I), (II), or (III); wherein X and Y are the same or different, wherein at least one of X and Y comprises an acid labile group, wherein R1 is a saturated or unsaturated group having from 1-4 carbon atoms, R2 is chosen from hydrogen or a saturated or unsaturated group having from 1-4 carbon atoms, R3 is a saturated or unsaturated group having from 1-4 carbon atoms, and R4 is a saturated or unsaturated group having from 1-4 carbon atoms and A− is an anion.

摘要翻译： 本专利申请公开了一种物质组合物，包括：包含溶剂; 和具有选自（I），（II）或（III）的化学结构的酯; 其中X和Y相同或不同，其中X和Y中的至少一个包含酸不稳定基团，其中R1是具有1-4个碳原子的饱和或不饱和基团，R2选自氢或饱和或不饱和的 具有1-4个碳原子的基团，R3是具有1-4个碳原子的饱和或不饱和基团，R4是具有1-4个碳原子的饱和或不饱和基团，A-是阴离子。

公开(公告)号：US20160246173A1

公开(公告)日：2016-08-25

申请号：US14977520

申请日：2015-12-21

申请人： Alex Phillip Graham Robinson ,  Dongxu Yang ,  Andreas Frommhold ,  Thomas Lada ,  John L. Roth ,  Xiang Xue ,  Edward A. Jackson

发明人： Alex Phillip Graham Robinson ,  Dongxu Yang ,  Andreas Frommhold ,  Thomas Lada ,  John L. Roth ,  Xiang Xue ,  Edward A. Jackson

IPC分类号： G03F7/004

CPC分类号： G03F7/0045 ,  C07D245/02 ,  C07D487/04 ,  C07D487/08 ,  C07D487/14 ,  C07D498/14 ,  G03F7/027 ,  G03F7/0382 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/38 ,  H01L51/0018 ,  H01L51/0047

摘要： The present application for patent discloses a composition of matter comprising: comprising a solvent; and an ester having a chemical structure chosen from (I), (II), or (III); wherein X and Y are the same or different, wherein at least one of X and Y comprises an acid labile group, wherein R1 is a saturated or unsaturated group having from 1-4 carbon atoms, R2 is chosen from hydrogen or a saturated or unsaturated group having from 1-4 carbon atoms, R3 is a saturated or unsaturated group having from 1-4 carbon atoms, and R4 is a saturated or unsaturated group having from 1-4 carbon atoms and A− is an anion.

摘要翻译： 本专利申请公开了一种物质组合物，包括：包含溶剂; 和具有选自（I），（II）或（III）的化学结构的酯; 其中X和Y相同或不同，其中X和Y中的至少一个包含酸不稳定基团，其中R1是具有1-4个碳原子的饱和或不饱和基团，R2选自氢或饱和或不饱和的 具有1-4个碳原子的基团，R3是具有1-4个碳原子的饱和或不饱和基团，R4是具有1-4个碳原子的饱和或不饱和基团，A-是阴离子。

公开(公告)号：US10438808B2

公开(公告)日：2019-10-08

申请号：US15164801

申请日：2016-05-25

申请人： Alex Philip Graham Robinson ,  Thomas Lada ,  John L. Roth ,  Alan G. Brown ,  Andreas Frommhold ,  Edward A. Jackson

发明人： Alex Philip Graham Robinson ,  Thomas Lada ,  John L. Roth ,  Alan G. Brown ,  Andreas Frommhold ,  Edward A. Jackson

IPC分类号： H01L21/308 ,  C08J3/24 ,  C08J3/28 ,  C09D4/06 ,  C09D167/02 ,  H01L21/3065 ,  C09C1/44 ,  H01L21/02 ,  C08K3/04 ,  C09D163/00

摘要： Disclosed and claimed herein is a composition for forming a spin-on hard-mask, having a fullerene derivative and a crosslinking agent. Further disclosed is a process for forming a hard-mask.

公开(公告)号：US20170345669A1

公开(公告)日：2017-11-30

申请号：US15164801

申请日：2016-05-25

申请人： Alex Philip Graham Robinson ,  Thomas Lada ,  John L. Roth ,  Alan G. Brown ,  Andreas Frommhold ,  Edward A. Jackson

发明人： Alex Philip Graham Robinson ,  Thomas Lada ,  John L. Roth ,  Alan G. Brown ,  Andreas Frommhold ,  Edward A. Jackson

IPC分类号： H01L21/308 ,  C08J3/28 ,  C09D4/06 ,  C09D163/00 ,  H01L21/3065 ,  C08J3/24

CPC分类号： H01L21/3081 ,  C08J3/24 ,  C08J3/28 ,  C08J2363/00 ,  C08K3/045 ,  C09C1/44 ,  C09D4/06 ,  C09D163/00 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/3085 ,  H01L21/3086

摘要： Disclosed and claimed herein is a composition for forming a spin-on hard-mask, having a fullerene derivative and a crosslinking agent. Further disclosed is a process for forming a hard-mask.

公开(公告)号：USD640432S1

公开(公告)日：2011-06-21

申请号：US29381419

申请日：2010-12-20

申请人： Edward A. Jackson

设计人： Edward A. Jackson