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    Body contact MOSFET
    1.
    发明授权
    Body contact MOSFET 失效
    体接触MOSFET

    公开(公告)号：US06940130B2

    公开(公告)日：2005-09-06

    申请号：US10687333

    申请日：2003-10-16

    申请人： Andres Bryant ,  Peter E. Cottrell ,  John J. Ellis-Monaghan ,  Robert J. Gauthier, Jr. ,  Edward J. Nowak ,  Jed H. Rankin ,  Fariborz Assaderaghi

    发明人： Andres Bryant ,  Peter E. Cottrell ,  John J. Ellis-Monaghan ,  Robert J. Gauthier, Jr. ,  Edward J. Nowak ,  Jed H. Rankin ,  Fariborz Assaderaghi

    IPC分类号： H01L21/336 ,  H01L29/786 ,  H01L27/01

    CPC分类号： H01L29/66772 ,  H01L29/78615

    摘要： A body contact structure utilizing an insulating structure between the body contact portion of the active area and the transistor portion of the active area is disclosed. In one embodiment, the present invention substitutes an insulator for at least a portion of the gate layer in the regions between the transistor and the body contact. In another embodiment, a portion of the gate layer is removed and replaced with an insulative layer in regions between the transistor and the body contact. In still another embodiment, the insulative structure is formed by forming multiple layers of gate dielectric between the gate and the body in regions between the transistor and the body contact. The body contact produced by these methods adds no significant gate capacitance to the gate.

    摘要翻译： 公开了一种在有源区的主体接触部分和有源区的晶体管部分之间利用绝缘结构的体接触结构。 在一个实施例中，本发明将绝缘体替代晶体管和身体接触之间的区域中的栅极层的至少一部分。 在另一个实施例中，栅极层的一部分被去除并且在晶体管和身体接触之间的区域中被绝缘层替代。 在另一个实施例中，通过在晶体管和身体接触之间的区域中在栅极和主体之间形成多个栅极电介质层来形成绝缘结构。 通过这些方法产生的身体接触对栅极没有增加显着的栅极电容。

    Body contact MOSFET
    2.
    发明授权
    Body contact MOSFET 有权
    体接触MOSFET

    公开(公告)号：US06677645B2

    公开(公告)日：2004-01-13

    申请号：US10061263

    申请日：2002-01-31

    申请人： Andres Bryant ,  Peter E. Cottrell ,  John J. Ellis-Monaghan ,  Robert J. Gauthier, Jr. ,  Edward J. Nowak ,  Jed H. Rankin ,  Fariborz Assaderaghi

    发明人： Andres Bryant ,  Peter E. Cottrell ,  John J. Ellis-Monaghan ,  Robert J. Gauthier, Jr. ,  Edward J. Nowak ,  Jed H. Rankin ,  Fariborz Assaderaghi

    IPC分类号： H01L2701

    CPC分类号： H01L29/66772 ,  H01L29/78615

    摘要： A body contact structure utilizing an insulating structure between the body contact portion of the active area and the transistor portion of the active area is disclosed. In one embodiment, the present invention substitutes an insulator for at least a portion of the gate layer in the regions between the transistor and the body contact. In another embodiment, a portion of the gate layer is removed and replaced with an insulative layer in regions between the transistor and the body contact. In still another embodiment, the insulative structure is formed by forming multiple layers of gate dielectric between the gate and the body in regions between the transistor and the body contact. The body contact produced by these methods adds no significant gate capacitance to the gate.

    摘要翻译： 公开了一种在有源区的主体接触部分和有源区的晶体管部分之间利用绝缘结构的体接触结构。 在一个实施例中，本发明将绝缘体替代晶体管和身体接触之间的区域中的栅极层的至少一部分。 在另一个实施例中，栅极层的一部分被去除并且在晶体管和身体接触之间的区域中被绝缘层替代。 在另一个实施例中，通过在晶体管和身体接触之间的区域中在栅极和主体之间形成多个栅极电介质层来形成绝缘结构。 通过这些方法产生的身体接触对栅极没有增加显着的栅极电容。

    Concurrent fin-fet and thick body device fabrication
    6.
    发明授权
    Concurrent fin-fet and thick body device fabrication 有权
    并发鳍和厚体器件制造

    公开(公告)号：US07473970B2

    公开(公告)日：2009-01-06

    申请号：US11481120

    申请日：2006-07-05

    申请人： Wagdi W. Abadeer ,  Jeffrey S. Brown ,  David M. Fried ,  Robert J. Gauthier, Jr. ,  Edward J. Nowak ,  Jed H. Rankin ,  William R. Tonti

    发明人： Wagdi W. Abadeer ,  Jeffrey S. Brown ,  David M. Fried ,  Robert J. Gauthier, Jr. ,  Edward J. Nowak ,  Jed H. Rankin ,  William R. Tonti

    IPC分类号： H01L27/01 ,  H01L27/12 ,  H01L31/0392

    CPC分类号： H01L29/786 ,  H01L21/845 ,  H01L27/1211 ,  H01L29/4908 ,  H01L29/78615

    摘要： An integrated circuit chip and a semiconductor structure. The integrated circuit chip includes: a thick-body device containing a semiconductor mesa and a doped body contact; and a field effect transistor on a first sidewall of a semiconductor mesa, wherein the doped body contact is on a second sidewall of the semiconductor mesa, and wherein the semiconductor mesa is disposed between the field effect transistor and the doped body contact. The semiconductor structure includes: a buried oxide layer on a semiconductor wafer; a thin fin structure on the buried oxide layer, wherein the thin fin structure includes a first hard mask on a semiconductor fin, wherein the semiconductor fin is disposed between the first hard mask and a surface of the buried oxide layer; and a thick mesa structure on the buried oxide layer, and wherein the thick mesa structure includes a semiconductor mesa.

    摘要翻译： 集成电路芯片和半导体结构。 集成电路芯片包括：包含半导体台面和掺杂体接触的厚体器件; 以及在半导体台面的第一侧壁上的场效应晶体管，其中所述掺杂体接触在所述半导体台面的第二侧壁上，并且其中所述半导体台面设置在所述场效应晶体管和所述掺杂体接触之间。 半导体结构包括：半导体晶片上的掩埋氧化物层; 在所述掩埋氧化物层上的薄翅片结构，其中所述薄翅片结构包括半导体鳍片上的第一硬掩模，其中所述半导体鳍片设置在所述第一硬掩模和所述掩埋氧化物层的表面之间; 以及在所述掩埋氧化物层上的厚的台面结构，并且其中所述厚的台面结构包括半导体台面。

    Semiconductor structure and system for fabricating an integrated circuit chip
    7.
    发明授权
    Semiconductor structure and system for fabricating an integrated circuit chip 有权
    用于制造集成电路芯片的半导体结构和系统

    公开(公告)号：US07872310B2

    公开(公告)日：2011-01-18

    申请号：US12348344

    申请日：2009-01-05

    申请人： Wagdi W. Abadeer ,  Jeffrey S. Brown ,  David M. Fried ,  Robert J. Gauthier, Jr. ,  Edward J. Nowak ,  Jed H. Rankin ,  William R. Tonti

    发明人： Wagdi W. Abadeer ,  Jeffrey S. Brown ,  David M. Fried ,  Robert J. Gauthier, Jr. ,  Edward J. Nowak ,  Jed H. Rankin ,  William R. Tonti

    IPC分类号： H01L29/772

    CPC分类号： H01L29/786 ,  H01L21/845 ,  H01L27/1211 ,  H01L29/4908 ,  H01L29/78615

    摘要： A semiconductor structure and a system for fabricating an integrated circuit chip. The semiconductor structure includes: a buried oxide layer on a semiconductor wafer; a thin fin structure on the buried oxide layer, wherein the thin fin structure includes a first hard mask on a semiconductor fin, wherein the semiconductor fin is disposed between the first hard mask and a surface of the buried oxide layer; and a thick mesa structure on the buried oxide layer, and wherein the thick mesa structure includes a semiconductor mesa. The system for fabricating an integrated circuit chip enables: providing a buried oxide layer on and in direct mechanical contact with a semiconductor wafer; and concurrently forming at least one fin-type field effect transistor and at least one thick-body device on the buried oxide layer.

    摘要翻译： 一种半导体结构和用于制造集成电路芯片的系统。 半导体结构包括：半导体晶片上的掩埋氧化物层; 在所述掩埋氧化物层上的薄翅片结构，其中所述薄翅片结构包括半导体鳍片上的第一硬掩模，其中所述半导体鳍片设置在所述第一硬掩模和所述掩埋氧化物层的表面之间; 以及在所述掩埋氧化物层上的厚的台面结构，并且其中所述厚的台面结构包括半导体台面。 用于制造集成电路芯片的系统能够：提供与半导体晶片直接机械接触的掩埋氧化物层; 并且在掩埋氧化物层上同时形成至少一个鳍式场效应晶体管和至少一个厚体器件。

    Test structure and methodology for semiconductor stress-induced defects and antifuse based on same test structure
    9.
    发明授权
    Test structure and methodology for semiconductor stress-induced defects and antifuse based on same test structure 失效
    基于相同测试结构的半导体应力诱发缺陷和反熔丝的测试结构和方法

    公开(公告)号：US06624031B2

    公开(公告)日：2003-09-23

    申请号：US09989850

    申请日：2001-11-20

    申请人： Wagdi W. Abadeer ,  Eric Adler ,  Jeffrey S. Brown ,  Robert J. Gauthier, Jr. ,  Jonathan M. McKenna ,  Jed H. Rankin ,  Edward W. Sengle ,  William R. Tonti

    发明人： Wagdi W. Abadeer ,  Eric Adler ,  Jeffrey S. Brown ,  Robert J. Gauthier, Jr. ,  Jonathan M. McKenna ,  Jed H. Rankin ,  Edward W. Sengle ,  William R. Tonti

    IPC分类号： H01L21336

    CPC分类号： H01L22/34 ,  H01L23/5252 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

    摘要： A method for detecting semiconductor process stress-induced defects. The method comprising: providing a polysilicon-bounded test diode, the diode comprising a diffused first region within an upper portion of a second region of a silicon substrate, the second region of an opposite dopant type from the first region, the first region surrounded by a peripheral dielectric isolation, a peripheral polysilicon gate comprising a polysilicon layer over a dielectric layer and the gate overlapping a peripheral portion of the first region; stressing the diode; and monitoring the stressed diode for spikes in gate current during the stress, determining the frequency distribution of the slope of the forward bias voltage versus the first region current at the pre-selected forward bias voltage and monitoring, after stress, the diode for soft breakdown. A DRAM cell may,be substituted for the diode. The use of the diode as an antifuse is also disclosed.

    摘要翻译： 一种检测半导体工艺应力诱发缺陷的方法。 该方法包括：提供多晶硅界限的测试二极管，二极管包括在硅衬底的第二区域的上部内的扩散的第一区域，与第一区域相反的掺杂剂类型的第二区域，第一区域由 外围电介质隔离，外围多晶硅栅极，包括介电层上的多晶硅层，栅极与第一区域的周边部分重叠; 强调二极管; 并且在应力期间监视施加二极管的栅极电流尖峰，确定正向偏置电压的斜率与预先选择的正向偏置电压下的第一区域电流的频率分布，并且在应力之后监视用于软击穿的二极管 。 二极管可代替DRAM单元。 还公开了使用二极管作为反熔丝。