公开(公告)号：US20080192215A1

公开(公告)日：2008-08-14

申请号：US12008879

申请日：2008-01-15

申请人： Bernhard Gellrich ,  Jens Kugler ,  Guido Limbach ,  Julian Kaller ,  Hans-Juergen Scherle ,  Dieter Schmerek ,  Detlev Mueller ,  Thomas Schletterer

发明人： Bernhard Gellrich ,  Jens Kugler ,  Guido Limbach ,  Julian Kaller ,  Hans-Juergen Scherle ,  Dieter Schmerek ,  Detlev Mueller ,  Thomas Schletterer

IPC分类号： G03B27/52 ,  G02B7/02

CPC分类号： G02B27/0006 ,  G02B1/18 ,  G02B7/023 ,  G03B27/52 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70808 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/70933

摘要： An optical element unit is provided comprising an optical element group; a housing receiving said optical element group and having an inner housing part and an exit end; and a purge unit connected to said housing and providing a purge medium to said inner housing part. The optical element group comprises an ultimate optical element. The ultimate optical element is located at the exit end of housing and separates the inner housing part from an environment external to the housing. The ultimate optical element and the housing define a sealing gap. The purge unit provides purge medium to the sealing gap to prevent intrusion of contaminants into the inner housing part.

摘要翻译： 提供一种光学元件单元，包括光学元件组; 接收所述光学元件组并具有内部壳体部分和出口端的壳体; 以及净化单元，其连接到所述壳体并且向所述内壳体部件提供净化介质。 光学元件组包括极限光学元件。 最终的光学元件位于壳体的出口端处，并将内部壳体部件与壳体外部的环境分离。 最终的光学元件和壳体限定了密封间隙。 净化单元向密封间隙提供净化介质以防止污染物侵入内壳体部分。

公开(公告)号：US07545483B2

公开(公告)日：2009-06-09

申请号：US12008879

申请日：2008-01-15

申请人： Bernhard Gellrich ,  Jens Kugler ,  Thomas Schletterer ,  Guido Limbach ,  Julian Kaller ,  Hans-Juergen Scherle ,  Detlev Mueller ,  Dieter Schmerek

发明人： Bernhard Gellrich ,  Jens Kugler ,  Thomas Schletterer ,  Guido Limbach ,  Julian Kaller ,  Hans-Juergen Scherle ,  Detlev Mueller ,  Dieter Schmerek

IPC分类号： G03B27/54

CPC分类号： G02B27/0006 ,  G02B1/18 ,  G02B7/023 ,  G03B27/52 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70808 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/70933

摘要： An optical element unit is provided comprising an optical element group; a housing receiving said optical element group and having an inner housing part and an exit end; and a purge unit connected to said housing and providing a purge medium to said inner housing part. The optical element group comprises an ultimate optical element. The ultimate optical element is located at the exit end of housing and separates the inner housing part from an environment external to the housing. The ultimate optical element and the housing define a sealing gap. The purge unit provides purge medium to the sealing gap to prevent intrusion of contaminants into the inner housing part.

摘要翻译： 提供一种光学元件单元，包括光学元件组; 接收所述光学元件组并具有内部壳体部分和出口端的壳体; 以及净化单元，其连接到所述壳体并且向所述内壳体部件提供净化介质。 光学元件组包括极限光学元件。 最终的光学元件位于壳体的出口端处，并将内部壳体部件与壳体外部的环境分离。 最终的光学元件和壳体限定了密封间隙。 净化单元向密封间隙提供净化介质，以防止污染物侵入内壳体部分。

公开(公告)号：US09046795B2

公开(公告)日：2015-06-02

申请号：US12046186

申请日：2008-03-11

申请人： Tilman Schwertner ,  Ulrich Bingel ,  Guido Limbach ,  Julian Kaller ,  Hans-Juergen Scherle ,  Jens Kugler ,  Dirk Schaffer ,  Bernhard Gellrich

发明人： Tilman Schwertner ,  Ulrich Bingel ,  Guido Limbach ,  Julian Kaller ,  Hans-Juergen Scherle ,  Jens Kugler ,  Dirk Schaffer ,  Bernhard Gellrich

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G03F7/7015 ,  G02B27/0006 ,  G03F7/70808 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70883 ,  G03F7/70908 ,  G03F7/70916 ,  G03F7/70933 ,  Y10T29/49

摘要： An optical element unit includes a first optical element module and a sealing arrangement. The first optical element module occupies a first module space and includes a first module component of a first component type and an associated second module component of a second component type. The first component type is optical elements and the second component type being different from the first component type. The sealing arrangement separates the first module space into a first space and a second space and substantially pre-vents, at least in a first direction, the intrusion of substances from one of the first space and the second space into the other one of the first space and the second space. The first module component at least partially contacts the first space and, at least in its area optically used, not contacting the second space. The second module component at least partially contacts the second space.

摘要翻译： 光学元件单元包括第一光学元件模块和密封装置。 第一光学元件模块占据第一模块空间并且包括第一组件类型的第一模块组件和第二组件类型的相关联的第二模块组件。 第一部件类型是光学元件，第二部件类型与第一部件类型不同。 密封装置将第一模块空间分隔成第一空间和第二空间，并且至少在第一方向上基本上预先将物质从第一空间和第二空间中的一个进入另一个第一空间 空间和第二空间。 第一模块部件至少部分地接触第一空间，并且至少在其光学使用的区域中不接触第二空间。 第二模块组件至少部分地接触第二空间。

公开(公告)号：US20080225247A1

公开(公告)日：2008-09-18

申请号：US12046186

申请日：2008-03-11

申请人： Tilman Schwertner ,  Ulrich Bingel ,  Guido Limbach ,  Julian Kaller ,  Hans-Juergen Scherle ,  Jens Kugler ,  Dirk Schaffer ,  Bernhard Gellrich

发明人： Tilman Schwertner ,  Ulrich Bingel ,  Guido Limbach ,  Julian Kaller ,  Hans-Juergen Scherle ,  Jens Kugler ,  Dirk Schaffer ,  Bernhard Gellrich

IPC分类号： G03B27/54 ,  G03B27/52 ,  G02B23/16

CPC分类号： G03F7/7015 ,  G02B27/0006 ,  G03F7/70808 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70883 ,  G03F7/70908 ,  G03F7/70916 ,  G03F7/70933 ,  Y10T29/49

摘要： An optical element unit including a first optical element module and a sealing arrangement is disclosed. The first optical element module occupies a first module space and includes a first module component of a first component type and an associated second module component of a second component type. The first component type is optical elements and the second component type being different from the first component type. The sealing arrangement separates the first module space into a first space and a second space and substantially prevents, at least in a first direction, the intrusion of substances from one of the first space and the second space into the other one of the first space and the second space. The first module component at least partially contacts the first space and, at least in its area optically used, not contacting the second space. The second module component at least partially contacts the second space.

摘要翻译： 公开了一种包括第一光学元件模块和密封装置的光学元件单元。 第一光学元件模块占据第一模块空间并且包括第一组件类型的第一模块组件和第二组件类型的相关联的第二模块组件。 第一部件类型是光学元件，第二部件类型与第一部件类型不同。 密封装置将第一模块空间分隔成第一空间和第二空间，并至少在第一方向上基本上防止物质从第一空间和第二空间中的一个进入第一空间和 第二个空间。 第一模块部件至少部分地接触第一空间，并且至少在其光学使用的区域中不接触第二空间。 第二模块组件至少部分地接触第二空间。

公开(公告)号：US08542346B2

公开(公告)日：2013-09-24

申请号：US12409961

申请日：2009-03-24

申请人： Guido Limbach ,  Franz Sorg ,  Armin Schoeppach ,  Ulrich Weber ,  Ulrich Loering ,  Dirk Hellweg ,  Peter Meyer ,  Stefan Xalter ,  Jens Kugler ,  Bernhard Gellrich ,  Stefan Hembacher ,  Bernhard Geuppert ,  Aksel Goehnermeier

发明人： Guido Limbach ,  Franz Sorg ,  Armin Schoeppach ,  Ulrich Weber ,  Ulrich Loering ,  Dirk Hellweg ,  Peter Meyer ,  Stefan Xalter ,  Jens Kugler ,  Bernhard Gellrich ,  Stefan Hembacher ,  Bernhard Geuppert ,  Aksel Goehnermeier

IPC分类号： G03B27/52

CPC分类号： G02B7/004 ,  G02B27/0068 ,  G03F7/70191 ,  G03F7/70258 ,  G03F7/70308 ,  G03F7/70825

摘要： The disclosure relates to an optical system, such as a projection exposure apparatus for semiconductor lithography, including a manipulable correction arrangement for reducing image aberrations. In some embodiments, the system includes at least one manipulator configured to reduce image aberrations. The manipulator can include at least one optical element which can be manipulated by at least one actuator. The manipulator can be formed in changeable fashion together with an actuator.

摘要翻译： 本发明涉及一种光学系统，例如用于半导体光刻的投影曝光装置，包括用于减小图像像差的可操作的校正装置。 在一些实施例中，系统包括被配置为减少图像像差的至少一个操纵器。 操纵器可以包括至少一个可由至少一个致动器操纵的光学元件。 操纵器可以与致动器一起以可变的方式形成。

公开(公告)号：US20090244509A1

公开(公告)日：2009-10-01

申请号：US12409961

申请日：2009-03-24

申请人： Guido Limbach ,  Franz Sorg ,  Armin Schoeppach ,  Ulrich Weber ,  Ulrich Loering ,  Dirk Hellweg ,  Peter Meyer ,  Stefan Xalter ,  Jens Kugler ,  Bernhard Gellrich ,  Stefan Hembacher ,  Bernhard Geuppert ,  Aksel Goehnermeier

发明人： Guido Limbach ,  Franz Sorg ,  Armin Schoeppach ,  Ulrich Weber ,  Ulrich Loering ,  Dirk Hellweg ,  Peter Meyer ,  Stefan Xalter ,  Jens Kugler ,  Bernhard Gellrich ,  Stefan Hembacher ,  Bernhard Geuppert ,  Aksel Goehnermeier

IPC分类号： G03B27/54

CPC分类号： G02B7/004 ,  G02B27/0068 ,  G03F7/70191 ,  G03F7/70258 ,  G03F7/70308 ,  G03F7/70825

摘要： The disclosure relates to an optical system, such as a projection exposure apparatus for semiconductor lithography, including a manipulable correction arrangement for reducing image aberrations. In some embodiments, the system includes at least one manipulator configured to reduce image aberrations. The manipulator can include at least one optical element which can be manipulated by at least one actuator. The manipulator can be formed in changeable fashion together with an actuator.

摘要翻译： 本发明涉及一种光学系统，例如用于半导体光刻的投影曝光装置，包括用于减小图像像差的可操作的校正装置。 在一些实施例中，系统包括被配置为减少图像像差的至少一个操纵器。 操纵器可以包括至少一个可由至少一个致动器操纵的光学元件。 操纵器可以与致动器一起以可变的方式形成。

公开(公告)号：US08376559B2

公开(公告)日：2013-02-19

申请号：US13346430

申请日：2012-01-09

申请人： Guido Soyez ,  Stephan Back ,  Joachim Buechele ,  Julian Kaller ,  Guido Limbach ,  Harald Woelfle

发明人： Guido Soyez ,  Stephan Back ,  Joachim Buechele ,  Julian Kaller ,  Guido Limbach ,  Harald Woelfle

IPC分类号： G02B1/00

CPC分类号： G02B27/0006 ,  G02B7/14 ,  G03F7/7015 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70933

摘要： Disclosed is a lens module, especially a projection lens for semiconductor lithography, comprising at least one replaceable optical element that is disposed in a lens housing. At least one gas exchange device is positioned in an area of the replaceable optical element in such a way that a receiving zone for the replaceable optical element can be flushed when the optical element is replaced.

摘要翻译： 公开了一种透镜模块，特别是用于半导体光刻的投影透镜，包括设置在透镜壳体中的至少一个可替换的光学元件。 至少一个气体交换装置被定位在可更换光学元件的区域中，使得当更换光学元件时可更换光学元件的接收区域被冲洗。

公开(公告)号：US20080137192A1

公开(公告)日：2008-06-12

申请号：US11722595

申请日：2005-12-23

申请人： Guido Soyez ,  Stephan Back ,  Joachim Buechele ,  Julian Kaller ,  Guido Limbach ,  Harald Woelfle

发明人： Guido Soyez ,  Stephan Back ,  Joachim Buechele ,  Julian Kaller ,  Guido Limbach ,  Harald Woelfle

IPC分类号： G02B7/14

CPC分类号： G02B27/0006 ,  G02B7/14 ,  G03F7/7015 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70933

摘要： Disclosed is a lens module, especially a projection lens for semiconductor lithography, comprising at least one replaceable optical element that is disposed in a lens housing. At least one gas exchange device is positioned in an area of the replaceable optical element in such a way that a receiving zone for the replaceable optical element can be flushed when the optical element is replaced.

摘要翻译： 公开了一种透镜模块，特别是用于半导体光刻的投影透镜，包括设置在透镜壳体中的至少一个可替换的光学元件。 至少一个气体交换装置被定位在可更换光学元件的区域中，使得当更换光学元件时可更换光学元件的接收区域被冲洗。

公开(公告)号：US08092029B2

公开(公告)日：2012-01-10

申请号：US11722595

申请日：2005-12-23

申请人： Guido Soyez ,  Stephan Back ,  Joachim Buechele ,  Julian Kaller ,  Guido Limbach ,  Harald Woelfle

发明人： Guido Soyez ,  Stephan Back ,  Joachim Buechele ,  Julian Kaller ,  Guido Limbach ,  Harald Woelfle

IPC分类号： G02B1/00

CPC分类号： G02B27/0006 ,  G02B7/14 ,  G03F7/7015 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70933

摘要： Disclosed is a lens module, especially a projection lens for semiconductor lithography, comprising at least one replaceable optical element that is disposed in a lens housing. At least one gas exchange device is positioned in an area of the replaceable optical element in such a way that a receiving zone for the replaceable optical element can be flushed when the optical element is replaced.

摘要翻译： 公开了一种透镜模块，特别是用于半导体光刻的投影透镜，包括设置在透镜壳体中的至少一个可替换的光学元件。 至少一个气体交换装置被定位在可更换光学元件的区域中，使得当更换光学元件时可更换光学元件的接收区域被冲洗。

公开(公告)号：US20090260654A1

公开(公告)日：2009-10-22

申请号：US12430633

申请日：2009-04-27

申请人： Bernhard Geuppert ,  Guido Limbach ,  Harald Woelfle ,  Peter Deufel

发明人： Bernhard Geuppert ,  Guido Limbach ,  Harald Woelfle ,  Peter Deufel

IPC分类号： G02B7/14 ,  B08B3/12 ,  B08B7/00 ,  B08B1/00

CPC分类号： G03F7/70925 ,  B08B3/12 ,  B08B7/0035 ,  B23P6/00 ,  G03F7/70808 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/70916 ,  G03F7/70975 ,  Y10T29/49723

摘要： A method and a device for replacing objective parts, especially of a projection or illumination objective for microlithography in which an objective having an objective interior and objective parts provided therein is provided. At least one objective part is replaceably accommodated in the objective. Immediately prior to installation in the objective, the replaceable objective part is cleaned outside the objective interior in at least one cleaning room sealed off from the ambient atmosphere. Immediately after cleaning, the replaceable objective is installed in the objective without contact with the normal ambient atmosphere.

摘要翻译： 一种用于替换目标部件的方法和装置，特别是用于微光刻的投影或照明物镜，其中设置有设置在其中的物镜内部和物镜部分的物镜。 目标中至少有一个客观部分是可替换的。 在安装目标之前，在与环境大气密封的至少一个清洁室内，可更换的物镜部分被清洁在目标内部的外部。 清洁后立即将可更换的物镜安装在物镜中，而不会与正常的环境气氛接触。