公开(公告)号：US5889282A

公开(公告)日：1999-03-30

申请号：US919154

申请日：1997-08-28

申请人： Hee Seok Yang ,  Taek Jin Lim ,  Jae Sung Han

发明人： Hee Seok Yang ,  Taek Jin Lim ,  Jae Sung Han

IPC分类号： H01L21/66 ,  G01N23/227 ,  G01Q30/00 ,  H01J37/256 ,  H01J37/00

CPC分类号： G01N23/2276 ,  H01J2237/2511

摘要： A method of Auger Electron Spectroscopic (AES) analysis for a surface of an insulating sample. The method is characterized by performing an AES analysis after depositing a conductive layer of a designated thickness on the surface of a sample containing an insulating layer by means of an ion beam sputtering for the purpose of the preventing charge accumulation. The conductive layer preferably is deposited to have a thickness of at least 6 .ANG. to 50 .ANG. and a beam voltage used for applying the conductive layer is at least 3 Kev. The conductive layer is made of any of iridium(Ir), chrome(Cr) and gold(Au). Because any electron charge generated on the sample is discharged via the conductive layer, the AES analysis can be performed for a sample containing an insulating layer.

摘要翻译： 绝缘样品表面的俄歇电子能谱（AES）分析方法。 该方法的特征在于，为了防止电荷累积，通过离子束溅射，在含有绝缘层的样品的表面上沉积指定厚度的导电层之后进行AES分析。 导电层优选沉积为具有至少6安培至50埃的厚度，并且用于施加导电层的束电压为至少3Kev。 导电层由铱（Ir），铬（Cr）和金（Au）中的任一种制成。 因为在样品上产生的任何电子电荷通过导电层放电，所以可以对含有绝缘层的样品进行AES分析。

公开(公告)号：US5932181A

公开(公告)日：1999-08-03

申请号：US988364

申请日：1997-12-10

申请人： Tae Chun Kim ,  Kyung Shick Yoon ,  Seong Jae Jeong ,  Jae Sung Han ,  Joon Ho Hyoung

发明人： Tae Chun Kim ,  Kyung Shick Yoon ,  Seong Jae Jeong ,  Jae Sung Han ,  Joon Ho Hyoung

IPC分类号： C01B3/36 ,  B01D53/047 ,  B01D53/48 ,  B01J7/00 ,  B01J8/02 ,  B01J8/04 ,  B01J19/00 ,  C01B3/48 ,  C01B3/56

CPC分类号： C01B3/56 ,  B01D53/48 ,  B01J19/0013 ,  B01J7/00 ,  B01J8/0257 ,  B01J8/0285 ,  B01J8/0453 ,  B01J8/0496 ,  C01B3/48 ,  B01D2253/108 ,  B01D2253/116 ,  B01D2256/16 ,  B01D2257/502 ,  B01D2257/504 ,  B01D2257/7025 ,  B01D2257/80 ,  B01D2259/40001 ,  B01D53/0476 ,  B01D53/261 ,  B01J2219/00103 ,  B01J2219/00155 ,  B01J2219/00159 ,  B01J2219/00164 ,  C01B2203/0233 ,  C01B2203/0283 ,  C01B2203/043 ,  C01B2203/0495 ,  C01B2203/0811 ,  C01B2203/0883 ,  C01B2203/1052 ,  C01B2203/1241 ,  C01B2203/127 ,  C01B2203/1288 ,  C01B2203/1604 ,  C01B2203/169 ,  Y02C20/20 ,  Y02P20/152 ,  Y02P20/156

摘要： A natural gas-using hydrogen generator is provided which is able to produce high purity hydrogen from natural gas and water. The generator comprises a desulfurization reactor, a reformer and a PSA. The natural gas-using hydrogen generator also comprises a first pipe line for connecting the reformer with the desulfurization reactor to provide hot combustion gas from the reformer to the desulfurization reactor. A first valve controls air flow being fed to the reformer, which is provided on a second pipe line for feeding air into the reformer. A heat exchanger is provided for exchanging heat between a third pipe line, whose both ends are connected to the second pipe line with the first valve therebetween. A fourth pipe line leads a hot product gas from the reformer to the CO conversion reactor to cool the product gas. A second valve, provided on the third pipe line, controls air flow being fed to the third pipe line.

摘要翻译： 提供了一种能够从天然气和水中产生高纯度氢的天然气使用氢气发生器。 发电机包括脱硫反应器，重整器和PSA。 天然气使用氢气发生器还包括用于将重整器与脱硫反应器连接的第一管线，以提供从重整器到脱硫反应器的热燃烧气体。 第一阀控制供给至重整器的空气流，该重整器设置在用于将空气送入重整器的第二管线上。 提供一种热交换器，用于在第三管线之间进行热交换，第三管线的两端与第二管线连接，其间具有第一阀。 第四条管线将热产物气体从重整器引入CO转化反应器以冷却产物气体。 设置在第三管线上的第二阀控制供给到第三管线的空气流。