公开(公告)号：US08192790B2

公开(公告)日：2012-06-05

申请号：US12792625

申请日：2010-06-02

申请人： Igor Bragin ,  Rustem Osmanow ,  Jürgen Bäumler ,  Michael Semling

发明人： Igor Bragin ,  Rustem Osmanow ,  Jürgen Bäumler ,  Michael Semling

IPC分类号： H01S3/097 ,  H01S3/03 ,  H01S3/00 ,  H01S3/083

CPC分类号： H01S3/225 ,  H01S3/0384 ,  H01S3/0388

摘要： Arcing is minimized in a discharge chamber of a gas laser system by utilizing an electrode which comprises a surface portion capable of functioning as one of an anode and a cathode in order to energize a gas mixture in a discharge chamber of the gas discharge laser system, a shoulder portion being positioned on either side of the surface portion and being exposed to the gas mixture, and a coating layer made of electrically insulating material, wherein the coating layer is attached to the shoulder portion by a cold spraying method.

摘要翻译： 通过利用包括能够用作阳极和阴极之一的表面部分的电极以便对气体放电激光系统的放电室中的气体混合物通电，在气体激光器系统的放电室中使电弧最小化， 肩部位于表面部分的任一侧并暴露于气体混合物，以及由电绝缘材料制成的涂层，其中涂层通过冷喷涂法附着到肩部。

公开(公告)号：US07756184B2

公开(公告)日：2010-07-13

申请号：US11711193

申请日：2007-02-27

申请人： Igor Bragin ,  Rustem Osmanow ,  Jürgen Bäumler ,  Michael Semling

发明人： Igor Bragin ,  Rustem Osmanow ,  Jürgen Bäumler ,  Michael Semling

IPC分类号： H01S3/097

CPC分类号： H01S3/225 ,  H01S3/0384 ,  H01S3/0388

摘要： Arcing is minimized in a discharge chamber of a gas laser system by utilizing an electrode which comprises a surface portion capable of functioning as one of an anode and a cathode in order to energize a gas mixture in a discharge chamber of the gas discharge laser system, a shoulder portion being positioned on either side of the surface portion and being exposed to the gas mixture, and a coating layer made of electrically insulating material, wherein the coating layer is attached to the shoulder portion by a cold spraying method.

摘要翻译： 通过利用包括能够用作阳极和阴极之一的表面部分的电极以便对气体放电激光系统的放电室中的气体混合物通电，在气体激光器系统的放电室中使电弧最小化， 肩部位于表面部分的任一侧并暴露于气体混合物，以及由电绝缘材料制成的涂层，其中涂层通过冷喷涂法附着到肩部。

公开(公告)号：US20080205474A1

公开(公告)日：2008-08-28

申请号：US11711193

申请日：2007-02-27

申请人： Igor Bragin ,  Rustem Osmanow ,  Jurgen Baumler ,  Michael Semling

发明人： Igor Bragin ,  Rustem Osmanow ,  Jurgen Baumler ,  Michael Semling

IPC分类号： H01S3/097

CPC分类号： H01S3/225 ,  H01S3/0384 ,  H01S3/0388

摘要： Arcing is minimized in a discharge chamber of a gas laser system by utilizing an electrode which comprises a surface portion capable of functioning as one of an anode and a cathode in order to energize a gas mixture in a discharge chamber of the gas discharge laser system, a shoulder portion being positioned on either side of the surface portion and being exposed to the gas mixture, and a coating layer made of electrically insulating material, wherein the coating layer is attached to the shoulder portion by a cold spraying method.

摘要翻译： 通过利用包括能够用作阳极和阴极之一的表面部分的电极以便对气体放电激光系统的放电室中的气体混合物通电，在气体激光器系统的放电室中使电弧最小化， 肩部位于表面部分的任一侧并暴露于气体混合物，以及由电绝缘材料制成的涂层，其中涂层通过冷喷涂法附着到肩部。

公开(公告)号：US20050058172A1

公开(公告)日：2005-03-17

申请号：US10936084

申请日：2004-09-08

申请人： Rainer Paetzel ,  Igor Bragin ,  Andreas Targsdorf ,  Vadim Berger ,  Rustem Osmanow

发明人： Rainer Paetzel ,  Igor Bragin ,  Andreas Targsdorf ,  Vadim Berger ,  Rustem Osmanow

IPC分类号： H01S3/00 ,  H01S3/038 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/22

CPC分类号： H01S3/0971 ,  H01S3/038 ,  H01S3/09713

摘要： The stability of a gas discharge in an excimer or molecular fluorine laser system can be improved by generating multiple discharge pulses in the resonator chamber, instead of a single discharge pulse. Each of these discharges can be optimized in both energy transfer and efficient coupling to the gas. The timing of each discharge can be controlled using, for example, a common pulser component along with appropriate circuitry to provide energy pulses to each of a plurality of segmented main discharge electrodes. Applying the energy to the segmented electrodes rather than to a standard discharge electrode pair allows for an optimization of the temporal shape of the resulting superimposed laser pulse. The optimized shape and higher stability can allow the laser system to operate at higher repetition rates, while minimizing the damage to system and/or downstream optics.

摘要翻译： 可以通过在谐振器腔中产生多个放电脉冲而不是单个放电脉冲来改善准分子或分子氟激光系统中气体放电的稳定性。 这些放电中的每一个可以在能量传递和与气体的有效耦合的两者中进行优化。 可以使用例如公共脉冲发生器部件以及适当的电路来控制每个放电的定时，以向多个分段的主放电电极中的每一个提供能量脉冲。 将能量施加到分段电极而不是标准放电电极对允许优化所得叠加的激光脉冲的时间形状。 优化的形状和更高的稳定性可以允许激光系统以更高的重复率操作，同时最小化对系统和/或下游光学器件的损害。

公开(公告)号：US20080019411A1

公开(公告)日：2008-01-24

申请号：US11490386

申请日：2006-07-20

申请人： Norbert Niemoeller ,  Igor Bragin ,  Rainer Paetzel ,  Rustem Osmanow ,  Juergen Witt

发明人： Norbert Niemoeller ,  Igor Bragin ,  Rainer Paetzel ,  Rustem Osmanow ,  Juergen Witt

IPC分类号： H01S3/22

CPC分类号： H01S3/225 ,  H01S3/0305 ,  H01S3/036 ,  H01S3/0385

摘要： An excimer laser is disclosed in which a gas-discharge is formed for exciting an excimer-forming lasing-gas mixture. The gas discharge is formed between an elongated anode electrode and a elongated cathode electrode. The anode is in contact with a dielectric surface and the cathode is supported above the dielectric surface, laterally spaced from and parallel to the anode. The gas-discharge has a surface-discharge or sliding discharge portion extending from the anode over the dielectric surface, and a volume-discharge portion connecting the sliding-discharge portion to the cathode. The volume-discharge excites the lasing-gas mixture. A laser resonator is arranged to generate laser radiation from the excited gas mixture. The sliding-discharge has homogeneous, stable characteristics that are inherited by the volume-discharge. An ion-wind generator provides circulation of the lasing-gas mixture through the volume-discharge.

摘要翻译： 公开了一种准分子激光器，其中形成气体放电以激发准分子成型激光气体混合物。 气体放电形成在细长的阳极电极和细长的阴极电极之间。 阳极与电介质表面接触，并且阴极被支撑在电介质表面的上方，与阳极横向间隔开并平行。 气体放电具有从电介质表面上的阳极延伸的表面放电或滑动放电部，以及将滑动放电部连接到阴极的容积放电部。 体积放电激发激光气体混合物。 激光谐振器布置成从激发的气体混合物产生激光辐射。 滑动放电具有由体积放电所遗传的均匀，稳定的特性。 离子风发生器通过体积放电提供激光气体混合物的循环。

公开(公告)号：US06735233B2

公开(公告)日：2004-05-11

申请号：US10170972

申请日：2002-06-12

申请人： Rustem Osmanow ,  Ulrich Rebhan

发明人： Rustem Osmanow ,  Ulrich Rebhan

IPC分类号： H01S322

CPC分类号： G03F7/708 ,  H01S3/03 ,  H01S3/036 ,  H01S3/0384 ,  H01S3/225

摘要： In an excimer laser or a molecular fluorine laser, a heating element is used which is heated to temperatures in excess of 60° C., in order to remove impurities from the laser gas.

摘要翻译： 在准分子激光器或分子氟激光器中，使用加热到超过60℃的加热元件，以便从激光气体中除去杂质。

公开(公告)号：US06768765B1

公开(公告)日：2004-07-27

申请号：US10163098

申请日：2002-06-04

申请人： Thomas Schroeder ,  Rustem Osmanow ,  Juergen Baumler

发明人： Thomas Schroeder ,  Rustem Osmanow ,  Juergen Baumler

IPC分类号： H01S308

CPC分类号： H01S3/225 ,  H01S3/034 ,  H01S3/036 ,  H01S3/08059 ,  H01S3/105

摘要： An excimer or molecular fluorine laser system includes a discharge tube filled with a gas mixture, multiple electrodes within the discharge tube and connected to a discharge circuit for energizing the gas mixture, a resonator for generating a laser beam, and at least one window structure including a first window and a second window. The first window initially seals the discharge tube and transmits the beam. The second window is initially unexposed to the gas mixture. The window structure is configured such that the second window is movable into position for sealing the discharge tube and transmitting the beam when the first window becomes contaminated.

摘要翻译： 准分子或分子氟激光系统包括填充有气体混合物的放电管，放电管内的多个电极并连接到用于激发气体混合物的放电电路，用于产生激光束的谐振器，以及包括 第一个窗口和第二个窗口。 第一个窗口最初密封放电管并传输光束。 第二个窗口最初未暴露于气体混合物。 窗结构被构造成使得第二窗口可移动到适当位置以密封放电管并且当第一窗口被污染时传送光束。

公开(公告)号：US06862307B2

公开(公告)日：2005-03-01

申请号：US09858147

申请日：2001-05-14

申请人： Rustem Osmanow ,  Uwe Stamm ,  Andreas Targsdorg

发明人： Rustem Osmanow ,  Uwe Stamm ,  Andreas Targsdorg

IPC分类号： H01S3/097 ,  H01S3/08 ,  H01S3/0975 ,  H01S3/098 ,  H01S3/225 ,  H01S3/00 ,  H01S3/22

CPC分类号： H01S3/225 ,  H01S3/08004 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/08031 ,  H01S3/0975

摘要： Method and system for providing an excimer or molecular fluorine laser including a laser tube filled with a laser gas surrounded by an optical resonator, where the laser tube has multiple electrodes including a pair of main discharge electrodes connected to a discharge circuit for exciting the laser gas to produce a laser output beam. The discharge circuit has an all solid state switch and preferably does not include a transformer. The solid state switch includes multiple solid state devices that may be capable of switching voltages in excess of 12 kV, such as 14-32 kV or more, or the voltage needed to switch the laser. The series of switches has a rise time of approximately less than 300 ns, and preferably around 100 ns or less. The switch may be capable of switching voltages of slightly more than half, but less than the entire voltage needed to produce laser pulses of desired energies, and a voltage doubling circuit may be used to produce the voltage required to produce the desired output pulse energies. An oscillator-amplifier configuration may be used, wherein an oscillator switch may be capable of switching voltages less than the entire voltage needed to produce the desired laser pulse energies, while the amplifier amplifies the pulses to the desired pulse energies.

摘要翻译： 用于提供准分子或分子氟激光的方法和系统，其包括填充有由光学谐振器包围的激光气体的激光管，其中激光管具有多个电极，其包括连接到用于激发激光气体的放电电路的一对主放电电极 以产生激光输出光束。 放电电路具有全固态开关，并且优选地不包括变压器。 固态开关包括多个固态器件，其能够切换超过12kV的电压，例如14-32kV或更高，或切换激光所需的电压。 该系列开关具有大约小于300ns的上升时间，优选地在约100ns以下。 该开关可能能够切换稍大于一半但小于产生所需能量的激光脉冲所需的整个电压的电压，并且可以使用倍压电路来产生产生所需输出脉冲能量所需的电压。 可以使用振荡器放大器配置，其中振荡器开关可以能够切换小于产生所需激光脉冲能量所需的整个电压的电压，而放大器将脉冲放大到期望的脉冲能量。

公开(公告)号：US06456643B1

公开(公告)日：2002-09-24

申请号：US09532276

申请日：2000-03-21

申请人： Rustem Osmanow ,  Uwe Stamm

发明人： Rustem Osmanow ,  Uwe Stamm

IPC分类号： H01S3097

CPC分类号： H01S3/09716 ,  H01S3/0385 ,  H01S3/225

摘要： An excimer or molecular fluorine laser includes one or more sliding surface discharge preionization units each including an elongated preionization electrode spaced from one or more associated preionization electrodes by an elongated dielectric within the discharge chamber. The dielectric includes a sliding discharge surface at a long axis, or side, surface of its cross-section substantially facing the discharge volume of the laser. A portion of each of the elongated and associated preionization electrodes conductively contacts a surface of the dielectric portion preferably at a cross-sectional short axis, or top or bottom, side of the dielectric. A significant area of the surface of at least one, and preferably both, of the elongated and associated electrodes contacts the corresponding surface of the dielectric such that the contact area is substantially larger than the area of the sliding discharge surface. Moreover, the sliding surface is preferably oriented and positioned such that generated UV radiation illuminates the laser gas at a substantially central location of the discharge volume.

摘要翻译： 准分子或分子氟激光器包括一个或多个滑动表面放电预电离单元，每个单元包括通过放电室内的细长电介质与一个或多个相关联的预电离电极间隔开的细长的预电离电极。 电介质包括在其横截面的大致轴向或侧面的滑动放电表面，其基本面向激光器的放电容积。 每个细长和相关的前置电极的一部分优选地在电介质的横截面短轴或顶部或底部侧电导接触电介质部分的表面。 细长和相关电极中的至少一个，优选两个的表面的显着区域接触电介质的相应表面，使得接触面积基本上大于滑动放电表面的面积。 此外，滑动表面优选地定向和定位成使得所产生的UV辐射在放电体积的基本中心位置照射激光气体。

公开(公告)号：US5875207A

公开(公告)日：1999-02-23

申请号：US776116

申请日：1997-01-22

申请人： Rustem Osmanow

发明人： Rustem Osmanow

IPC分类号： H01S3/038 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/097

CPC分类号： H01S3/0385 ,  H01S3/0384 ,  H01S3/0388 ,  H01S3/09716

摘要： The description relates to a discharge device (1) for pulsed gas lasers in which there are laser electrodes (8, 9) in the space (15) between which discharges with intense UV emission are produced by an arrangement on at least one side, by which the space (15) between the laser electrodes (8, 9) is pre-ionized. Essentially in the invention, the arrangement (2, 3, 4) includes at least one rod electrode (2) which is surrounded by an insulating, preferably ceramic, material (4) and has a conductive contact (5) with the surface (6) of the insulating ceramic material (4), and on this surface (6) there is at least one counter-electrode (7) spaced from the rod electrode (2), the counter-electrode (7) being conductively connected to one of the laser electrodes (8), so that sliding discharge tracks or paths (13) are formed between the at least one rod electrode (2) and the counter-electrode (7). This provides a discharge device (1) making the laser beam generation markedly more effective and lengthening the useful life of the components and gas filling of the laser.

摘要翻译： PCT No.PCT / EP95 / 02870 Sec。 371日期1997年1月22日 102（e）日期1997年1月22日PCT提交1995年7月20日PCT公布。 出版物WO96 / 03789 日期1996年2月8日描述涉及用于脉冲气体激光器的放电装置（1），其中在空间（15）中存在激光电极（8,9），其间具有强烈的UV发射的放电是通过在 激光电极（8,9）之间的空间（15）被预先电离的至少一个侧面。 基本上在本发明中，所述装置（2,3,4）包括至少一个杆状电极（2），其被绝缘的，优选陶瓷的材料（4）包围，并且具有与所述表面（6）的导电接触（5） ），并且在该表面（6）上存在与棒状电极（2）间隔开的至少一个对电极（7），对电极（7）导电地连接到 激光电极（8），使得滑动放电轨道或路径（13）形成在至少一个杆状电极（2）和对电极（7）之间。 这提供了一种放电装置（1），使得激光束产生显着更有效并且延长了部件的使用寿命和激光的气体填充。