公开(公告)号：US20070171260A1

公开(公告)日：2007-07-26

申请号：US11468954

申请日：2006-08-31

申请人： Jae-chang Lee ,  Jae-woo Chung ,  Kyo-yool Lee ,  Chang-seung Lee ,  Sung-gyu Kang

发明人： Jae-chang Lee ,  Jae-woo Chung ,  Kyo-yool Lee ,  Chang-seung Lee ,  Sung-gyu Kang

IPC分类号： B41J2/045

CPC分类号： B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49401

摘要： A piezoelectric inkjet printhead including an upper substrate formed of a single crystal silicon substrate or an SOI substrate and having an ink inlet therethrough, and a lower substrate formed of an SOI substrate having a sequentially stacked structure with a first silicon layer, an intervening oxide layer, and a second silicon layer in which a manifold, pressure chambers, and dampers are formed in the second silicon layer by wet or dry etching, and nozzles are formed through the intervening oxide layer and the first silicon layer by dry etching, and a method of manufacturing the same.

摘要翻译： 一种压电喷墨打印头，包括由单晶硅衬底或SOI衬底形成的上衬底，并且具有墨入口，以及由具有第一硅层的顺序层叠结构的SOI衬底形成的下衬底，中间氧化物层 以及通过湿法或干蚀刻在第二硅层中形成歧管，压力室和阻尼器的第二硅层，并且通过干法蚀刻形成穿过中间氧化物层和第一硅层的喷嘴，以及方法 的制造相同。

公开(公告)号：US08813363B2

公开(公告)日：2014-08-26

申请号：US12722843

申请日：2010-03-12

申请人： Jae-chang Lee ,  Jae-woo Chung ,  Kyo-yool Lee ,  Chang-seung Lee ,  Sung-gyu Kang

发明人： Jae-chang Lee ,  Jae-woo Chung ,  Kyo-yool Lee ,  Chang-seung Lee ,  Sung-gyu Kang

IPC分类号： B21D53/76 ,  B23P17/00 ,  H01L41/22 ,  H04R17/00 ,  H01L41/00

CPC分类号： B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49401

摘要： A method of manufacturing a piezoelectric inkjet printhead includes processing a lower silicon-on-insulator substrate having a sequentially stacked structure with a first silicon layer, an intervening oxide layer, and a second silicon layer, processing the lower silicon-on-insulator substrate by etching the second silicon layer to form a manifold, a plurality of pressure chambers arranged along at least one side of the manifold and connected with the manifold, and a plurality of dampers connected with the pressure chambers, and by etching the first silicon layer and the intervening oxide layer to form a plurality of vertical nozzles through the first silicon layer and the intervening oxide layer to corresponding ones of the plurality of dampers, stacking and bonding an upper substrate on the lower substrate, reducing the upper substrate to a predetermined thickness, and forming a piezoelectric actuator on the upper substrate.

摘要翻译： 一种制造压电喷墨打印头的方法包括：通过第一硅层，中间氧化物层和第二硅层处理具有顺序层叠结构的下硅绝缘体上基板，通过以下方式处理下硅绝缘体上基板： 蚀刻所述第二硅层以形成歧管，沿所述歧管的至少一侧布置并与所述歧管连接的多个压力室以及与所述压力室连接的多个阻尼器，并且通过蚀刻所述第一硅层和所述第二硅层 形成多个垂直喷嘴，通过第一硅层和中间氧化物层到多个阻尼器中的相应的阻尼器，堆叠并结合下基板上的上基板，将上基板还原成预定厚度;以及 在上基板上形成压电致动器。

公开(公告)号：US20100167433A1

公开(公告)日：2010-07-01

申请号：US12722843

申请日：2010-03-12

申请人： Jae-chang Lee ,  Jae-woo Chung ,  Kyo-yool Lee ,  Chang-seung Lee ,  Sung-gyu Kang

发明人： Jae-chang Lee ,  Jae-woo Chung ,  Kyo-yool Lee ,  Chang-seung Lee ,  Sung-gyu Kang

IPC分类号： H01L21/306

CPC分类号： B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49401

摘要： A piezoelectric inkjet printhead including an upper substrate formed of a single crystal silicon substrate or an SOI substrate and having an ink inlet therethrough, and a lower substrate formed of an SOI substrate having a sequentially stacked structure with a first silicon layer, an intervening oxide layer, and a second silicon layer in which a manifold, pressure chambers, and dampers are formed in the second silicon layer by wet or dry etching, and nozzles are formed through the intervening oxide layer and the first silicon layer by dry etching, and a method of manufacturing the same.

摘要翻译： 一种压电喷墨打印头，包括由单晶硅衬底或SOI衬底形成的上衬底，并且具有墨入口，以及由具有第一硅层的顺序层叠结构的SOI衬底形成的下衬底，中间氧化物层 以及通过湿法或干蚀刻在第二硅层中形成歧管，压力室和阻尼器的第二硅层，并且通过干法蚀刻形成穿过中间氧化物层和第一硅层的喷嘴，以及方法 的制造相同。

公开(公告)号：US07695118B2

公开(公告)日：2010-04-13

申请号：US11468954

申请日：2006-08-31

申请人： Jae-chang Lee ,  Jae-woo Chung ,  Kyo-yool Lee ,  Chang-seung Lee ,  Sung-gyu Kang

发明人： Jae-chang Lee ,  Jae-woo Chung ,  Kyo-yool Lee ,  Chang-seung Lee ,  Sung-gyu Kang

IPC分类号： B41J2/045

CPC分类号： B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49401

摘要： A piezoelectric inkjet printhead including an upper substrate formed of a single crystal silicon substrate or an SOI substrate and having an ink inlet therethrough, and a lower substrate formed of an SOI substrate having a sequentially stacked structure with a first silicon layer, an intervening oxide layer, and a second silicon layer in which a manifold, pressure chambers, and dampers are formed in the second silicon layer by wet or dry etching, and nozzles are formed through the intervening oxide layer and the first silicon layer by dry etching, and a method of manufacturing the same.

摘要翻译： 一种压电喷墨打印头，包括由单晶硅衬底或SOI衬底形成的上衬底，并且具有墨入口，以及由具有第一硅层的顺序层叠结构的SOI衬底形成的下衬底，中间氧化物层 以及通过湿法或干蚀刻在第二硅层中形成歧管，压力室和阻尼器的第二硅层，并且通过干法蚀刻形成穿过中间氧化物层和第一硅层的喷嘴，以及方法 的制造相同。

公开(公告)号：US20070134928A1

公开(公告)日：2007-06-14

申请号：US11505416

申请日：2006-08-17

申请人： Jae-chang Lee ,  Chang-seung Lee ,  Jae-woo Chung ,  Duck-su Kim ,  Kyo-yeol Lee

发明人： Jae-chang Lee ,  Chang-seung Lee ,  Jae-woo Chung ,  Duck-su Kim ,  Kyo-yeol Lee

IPC分类号： H01L21/302

CPC分类号： B41J2/161 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2002/14411

摘要： A silicon wet etching method to form at least two elements having different shapes in a silicon substrate using at least two wet etching processes includes forming a first etch mask made of parylene on a surface of the silicon substrate, forming a first element in the substrate by wet etching the silicon substrate for a first time using the first etch mask, forming a second etch mask made of a silicon oxide layer on the surface of the silicon substrate, and forming a second element by wet etching the silicon substrate for a second time using the second etch mask.

摘要翻译： 使用至少两个湿蚀刻工艺在硅衬底中形成具有不同形状的至少两种元件的硅湿式蚀刻方法包括在硅衬底的表面上形成由聚对二甲苯制成的第一蚀刻掩模，在衬底中形成第一元件，通过 使用第一蚀刻掩模第一次湿蚀刻硅衬底，在硅衬底的表面上形成由氧化硅层制成的第二蚀刻掩模，并且通过湿法蚀刻硅衬底第二次来形成第二元件，第二次使用 第二蚀刻掩模。

公开(公告)号：US09006044B2

公开(公告)日：2015-04-14

申请号：US13546615

申请日：2012-07-11

申请人： Chang-seung Lee ,  Joo-ho Lee ,  Yong-sung Kim ,  Chang-youl Moon

发明人： Chang-seung Lee ,  Joo-ho Lee ,  Yong-sung Kim ,  Chang-youl Moon

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L21/84 ,  H01L29/06 ,  H01L21/683 ,  H01L29/16 ,  H01L29/778 ,  H01L29/417

CPC分类号： H01L29/778 ,  H01L21/6835 ,  H01L29/1606 ,  H01L29/41775 ,  H01L2221/68327 ,  H01L2221/6835 ,  H01L2221/68368 ,  Y10S977/734

摘要： A method of manufacturing a graphene device may include forming a device portion including a graphene layer on the first substrate; attaching a second substrate on the device portion of the first substrate; and removing the first substrate. The removing of the first substrate may include etching a sacrificial layer between the first substrate and the graphene layer. After removing the first substrate, a third substrate may be attached on the device portion. After attaching the third substrate, the second substrate may be removed.

摘要翻译： 制造石墨烯器件的方法可以包括在第一衬底上形成包括石墨烯层的器件部分; 将第二基板附接在所述第一基板的所述装置部分上; 并移除第一衬底。 去除第一衬底可以包括在第一衬底和石墨烯层之间蚀刻牺牲层。 在移除第一基板之后，第三基板可以附接在器件部分上。 在附接第三基板之后，可以移除第二基板。

公开(公告)号：US20120287507A1

公开(公告)日：2012-11-15

申请号：US13350995

申请日：2012-01-16

申请人： Chang-seung Lee ,  Jun-seong Kim ,  Ki-deok Bae

发明人： Chang-seung Lee ,  Jun-seong Kim ,  Ki-deok Bae

IPC分类号： G02B5/30 ,  C03C15/02 ,  B29C35/08 ,  C03C15/00 ,  B82Y40/00

CPC分类号： G02B5/3058 ,  B82Y10/00 ,  B82Y20/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  Y10S359/90 ,  Y10S977/888

摘要： Wire grid polarizers, methods of fabricating a wire grid polarizer and display panels including a wire grid polarizer are provided, the methods include preparing a mold having a lower surface in which a plurality of parallel fine grooves are formed, and arranging the mold on a transparent substrate. The plurality of parallel fine grooves are filled with a conductive liquid ink. A plurality of parallel conductive nano wires are formed on the transparent substrate by curing the conductive liquid ink. The mold is removed.

摘要翻译： 提供了线栅偏振器，制造线栅偏振器的方法和包括线栅偏振器的显示面板，所述方法包括制备具有下表面的模具，其中形成有多个平行细槽，并将模具布置在透明 基质。 多个平行细槽被导电液体墨水填充。 通过固化导电液体油墨，在透明基板上形成多个平行的导电纳米线。 去除模具。

公开(公告)号：US20110133176A1

公开(公告)日：2011-06-09

申请号：US12923089

申请日：2010-09-01

申请人： Jae-cheol Lee ,  Chang-seung Lee ,  Jae-gwan Chung ,  Eun-ha Lee ,  Anass Benayad ,  Sang-wook Kim ,  Se-jung Oh

发明人： Jae-cheol Lee ,  Chang-seung Lee ,  Jae-gwan Chung ,  Eun-ha Lee ,  Anass Benayad ,  Sang-wook Kim ,  Se-jung Oh

IPC分类号： H01L29/12

CPC分类号： H01L29/78606 ,  H01L29/66969 ,  H01L29/7869 ,  H01L29/78696

摘要： Transistors and electronic apparatuses including the same are provided, the transistors include a channel layer on a substrate. The channel layer includes a zinc (Zn)-containing oxide. The transistors include a source and a drain, respectively, contacting opposing ends of the channel layer, a gate corresponding to the channel layer, and a gate insulating layer insulating the channel layer from the gate. The channel layer has a first surface adjacent to the substrate, a second surface facing the first surface, and a channel layer-protection portion on the second surface. The channel layer-protection portion includes a fluoride material.

摘要翻译： 提供了包括它们的晶体管和电子设备，晶体管包括在衬底上的沟道层。 沟道层包括含锌（Zn）的氧化物。 晶体管分别包括与沟道层的相对端接触的源极和漏极，对应于沟道层的栅极以及将沟道层与栅极绝缘的栅极绝缘层。 沟道层具有与基板相邻的第一表面，与第一表面相对的第二表面和在第二表面上的沟道层保护部分。 沟道层保护部分包括氟化物材料。

公开(公告)号：US07863111B2

公开(公告)日：2011-01-04

申请号：US11898126

申请日：2007-09-10

申请人： Jun-seong Kim ,  Euk-che Hwang ,  Ki-deok Bae ,  Chang-seung Lee ,  Hyeon-Jin Shin

发明人： Jun-seong Kim ,  Euk-che Hwang ,  Ki-deok Bae ,  Chang-seung Lee ,  Hyeon-Jin Shin

IPC分类号： H01L51/05

CPC分类号： H01L29/0665 ,  B82Y10/00 ,  H01L29/0673 ,  H01L29/7869 ,  H01L51/0021 ,  H01L51/0036 ,  H01L51/0048 ,  H01L51/0097 ,  H01L51/055 ,  H01L51/102 ,  H01L51/444 ,  Y10S977/742 ,  Y10S977/753 ,  Y10S977/856 ,  Y10S977/857

摘要： Provided are a thin film transistor for display devices and a manufacturing method of the thin film transistor. The thin film transistor for display devices includes: a flexible substrate; a gate electrode layer formed on the flexible substrate; a first insulating layer formed on the flexible substrate and the gate electrode; a source and a drain formed on the first insulating layer; an active layer formed on the first insulating layer between the source and the drain; a second insulating layer formed on the first insulating layer, the source, the drain, and the active layer; and a drain electrode that opens the second insulating layer to be connected to the drain and is formed of a CNT dispersed conductive polymer.

摘要翻译： 提供了一种用于显示装置的薄膜晶体管和薄膜晶体管的制造方法。 用于显示装置的薄膜晶体管包括：柔性基板; 形成在柔性基板上的栅电极层; 形成在柔性基板和栅电极上的第一绝缘层; 形成在所述第一绝缘层上的源极和漏极; 形成在源极和漏极之间的第一绝缘层上的有源层; 形成在第一绝缘层上的第二绝缘层，源极，漏极和有源层; 以及漏极，其打开与漏极连接并由CNT分散的导电聚合物形成的第二绝缘层。

公开(公告)号：US20070122721A1

公开(公告)日：2007-05-31

申请号：US11505018

申请日：2006-08-16

申请人： Ki-deok Bae ,  In-Sung Song ,  Chang-seung Lee ,  Jun-seong Kim ,  Sung-woong Kim ,  Wou-sik Kim

发明人： Ki-deok Bae ,  In-Sung Song ,  Chang-seung Lee ,  Jun-seong Kim ,  Sung-woong Kim ,  Wou-sik Kim

IPC分类号： G02B5/20

CPC分类号： G02B5/22 ,  G02B5/201 ,  G02F1/133512

摘要： A method of fabricating a black matrix of a color filter is provided. In the method, a black matrix layer formed of a hydrophobic organic material is formed on an upper surface of a transparent substrate. A black matrix is formed by patterning the black matrix layer. Side surfaces of the black matrix are made hydrophilic by irradiating a lower surface of the transparent substrate with ultraviolet rays while heating the black matrix. A black matrix provided by the method is also disclosed.

摘要翻译： 提供一种制造滤色器的黑矩阵的方法。 在该方法中，在透明基板的上表面上形成由疏水性有机材料形成的黑矩阵层。 通过构图黑矩阵层形成黑矩阵。 通过在加热黑色矩阵的同时用紫外线照射透明基板的下表面，使黑色矩阵的侧表面变得亲水。 还公开了由该方法提供的黑矩阵。