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公开(公告)号：US20110212256A1
公开(公告)日：2011-09-01
申请号：US13025431
申请日：2011-02-11
申请人： Markus E. Beck , Ming L. Yu , Erel Milshtein , Ashish Bodke , Ulrich A. Bonne , Raffi Garabedian
发明人： Markus E. Beck , Ming L. Yu , Erel Milshtein , Ashish Bodke , Ulrich A. Bonne , Raffi Garabedian
IPC分类号： C23C16/52 , C23C16/455
CPC分类号： C23C14/544 , C23C14/0623 , C23C14/543 , C23C14/545 , C23C14/548 , G01N21/211 , G01N21/3103 , G01N21/3563 , G01N21/359 , G01N21/8422 , G01N2021/8416
摘要： An vapor deposition control system includes a multi-level control scheme.
摘要翻译： 气相沉积控制系统包括多级控制方案。
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公开(公告)号：US20120058576A1
公开(公告)日：2012-03-08
申请号：US13224460
申请日：2011-09-02
申请人： Markus E. Beck , Ashish Bodke , Yacov Elgar , Dhruv Gajaria , Raffi Garabedian , Jing Guo , Erel Milshtein
发明人： Markus E. Beck , Ashish Bodke , Yacov Elgar , Dhruv Gajaria , Raffi Garabedian , Jing Guo , Erel Milshtein
CPC分类号： C23C16/45544 , C23C16/4412 , C23C16/52
摘要： A pumping and valve control device can be used in an atomic layer deposition system.
摘要翻译： 泵和阀控制装置可用于原子层沉积系统。
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公开(公告)号：US20120017973A1
公开(公告)日：2012-01-26
申请号：US13189273
申请日：2011-07-22
申请人： Markus E. Beck , Ashish Bodke , Yu-Jen Chang , Yacov Elgar , Raffi Garabedian , Erel Milshtein
发明人： Markus E. Beck , Ashish Bodke , Yu-Jen Chang , Yacov Elgar , Raffi Garabedian , Erel Milshtein
CPC分类号： C23C16/54 , C23C16/45544 , H01L31/0322 , H01L31/202 , H01L31/206 , Y02E10/541 , Y02P70/521
摘要： A deposition system includes a load lock chamber for receiving a substrate and exposing a substrate to a load lock temperature and load lock pressure suitable to prepare a substrate for subsequent low-pressure and high-temperature processing or for ambient temperature and pressure conditions.
摘要翻译： 沉积系统包括负载锁定室，用于接收基板并将基板暴露于适于制备用于随后的低压和高温处理或环境温度和压力条件的基板的负载锁定温度和负载锁定压力。
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公开(公告)号：US20120021556A1
公开(公告)日：2012-01-26
申请号：US13189251
申请日：2011-07-22
申请人： Markus E. Beck , Ashish Bodke , Ulrich Alexander Bonne , Benyamin Buller , Raffi Garabedian , Erel Milshtein , Ming Lun Yu
发明人： Markus E. Beck , Ashish Bodke , Ulrich Alexander Bonne , Benyamin Buller , Raffi Garabedian , Erel Milshtein , Ming Lun Yu
IPC分类号： H01L31/18 , C23C16/448 , H01L21/20
CPC分类号： C23C14/0623 , C23C14/0021 , C23C14/243 , C23C14/5866 , H01L21/02568 , H01L21/02631 , H01L31/0322 , Y02E10/541 , Y02P70/521
摘要： A selenium deposition system can improve the selenium vapor distribution.
摘要翻译： 硒沉积系统可以提高硒蒸气分布。
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公开(公告)号：US20110249263A1
公开(公告)日：2011-10-13
申请号：US13082796
申请日：2011-04-08
申请人： Markus E. Beck , Robert Green , Raffi Garabedian , Erel Milshtein , Ming Lun Yu
发明人： Markus E. Beck , Robert Green , Raffi Garabedian , Erel Milshtein , Ming Lun Yu
CPC分类号： C23C14/54 , C23C14/52 , G01N15/1434 , G01N15/1459 , G01N2015/1493
摘要： A particle detector for evaporation flux is disclosed. The particle detector includes a light source and at least one reflective surface.
摘要翻译： 公开了一种用于蒸发流量的粒子检测器。 粒子检测器包括光源和至少一个反射表面。
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公开(公告)号：US08646408B2
公开(公告)日：2014-02-11
申请号：US12981759
申请日：2010-12-30
CPC分类号： G01N21/5907 , C23C14/544 , G01N21/3103 , G01N21/39 , G01N2021/399
摘要： A flux monitor system includes a light source and a sensor.
摘要翻译： 通量监测系统包括光源和传感器。
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公开(公告)号：US20110165315A1
公开(公告)日：2011-07-07
申请号：US12981759
申请日：2010-12-30
CPC分类号： G01N21/5907 , C23C14/544 , G01N21/3103 , G01N21/39 , G01N2021/399
摘要： A flux monitor system includes a light source and a sensor.
摘要翻译： 通量监测系统包括光源和传感器。
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公开(公告)号：US08472021B2
公开(公告)日：2013-06-25
申请号：US13082796
申请日：2011-04-08
申请人： Markus E. Beck , Robert Green , Raffi Garabedian , Erel Milshtein , Ming Lun Yu
发明人： Markus E. Beck , Robert Green , Raffi Garabedian , Erel Milshtein , Ming Lun Yu
IPC分类号： G01N21/00
CPC分类号： C23C14/54 , C23C14/52 , G01N15/1434 , G01N15/1459 , G01N2015/1493
摘要： A particle detector for evaporation flux is disclosed. The particle detector includes a light source and at least one reflective surface.
摘要翻译： 公开了一种用于蒸发流量的粒子检测器。 粒子检测器包括光源和至少一个反射表面。
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公开(公告)号：US20120045855A1
公开(公告)日：2012-02-23
申请号：US13212806
申请日：2011-08-18
申请人： Markus E. Beck , Erel Milshtein
发明人： Markus E. Beck , Erel Milshtein
CPC分类号： G01B11/0625 , G01B7/06 , G01B11/0641 , G01N21/211 , G01N21/55 , G01N21/65 , G01N21/8422 , G01N21/9501 , G01N2021/8416 , G01N2021/8438
摘要： A metrology system for analyzing a semiconductor device on a substrate can include a metrology sensor.
摘要翻译： 用于分析衬底上的半导体器件的计量系统可以包括计量传感器。
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公开(公告)号：US08629411B2
公开(公告)日：2014-01-14
申请号：US13181724
申请日：2011-07-13
申请人： Markus E. Beck , Janice C. Lee , Erel Milshtein
发明人： Markus E. Beck , Janice C. Lee , Erel Milshtein
IPC分类号： G01J1/58 , G01R31/265
CPC分类号： G01N21/6489 , G01N2021/646 , G01N2021/6484 , G01N2201/1211
摘要： This invention relates to temperature-corrected photoluminescence spectroscopy which may be applied to semiconductors and, in particular, photovoltaic films.
摘要翻译： 本发明涉及可应用于半导体，特别是光伏膜的温度校正光致发光光谱。
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