公开(公告)号：US07508510B2

公开(公告)日：2009-03-24

申请号：US11636786

申请日：2006-12-12

申请人： Galen L. Pfeiffer ,  Martin M. Liphardt ,  Blaine D. Johs ,  Craig M. Herzinger ,  Christopher A. Goeden ,  Ping He ,  John A. Woollam ,  James D. Welch

发明人： Galen L. Pfeiffer ,  Martin M. Liphardt ,  Blaine D. Johs ,  Craig M. Herzinger ,  Christopher A. Goeden ,  Ping He ,  John A. Woollam ,  James D. Welch

IPC分类号： G01J4/00

CPC分类号： G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0289 ,  G01N21/21 ,  G01N21/211 ,  G01N21/55 ,  G01N2021/213

摘要： System for and Method of analyzing a sample at substantially the exact same small spot thereon with a plurality of wavelengths using a lens system which provides the same focal length at at least two wavelengths at various positions thereof with respect to a sample, including analyzing data obtained at those wavelengths.

摘要翻译： 使用在相对于样本的各个位置处以至少两个波长提供相同焦距的透镜系统来分析具有多个波长的基本上与其上的基本上完全相同的小点处的样本的系统和方法，包括分析获得的数据 在那些波长。

公开(公告)号：US07057717B1

公开(公告)日：2006-06-06

申请号：US10426590

申请日：2003-04-30

申请人： Martin M. Liphardt ,  Blaine D. Johs ,  Craig M. Herzinger ,  Ping He ,  Christopher A. Goeden ,  John A. Woollam ,  James D. Welch

发明人： Martin M. Liphardt ,  Blaine D. Johs ,  Craig M. Herzinger ,  Ping He ,  Christopher A. Goeden ,  John A. Woollam ,  James D. Welch

IPC分类号： G01N21/00

CPC分类号： G02B13/146 ,  G01J3/0208 ,  G01N21/21 ,  G01N21/211

摘要： Disclosed are system for and method of analyzing the substantially the exact same point on a sample system with at least two wavelengths, or at least two ranges of wavelengths for which the focal lengths do not vary more than within an acceptable amount.

摘要翻译： 公开了用至少两个波长或至少两个波长范围分析样品系统上基本上相同点的系统和方法，其中焦距不超过可接受量的波长变化。

公开(公告)号：US07522279B1

公开(公告)日：2009-04-21

申请号：US11447247

申请日：2006-06-05

申请人： Martin M. Liphardt ,  Blaine D. Johs ,  Craig M. Herzinger ,  Ping He ,  Christopher A. Goeden ,  John A. Woollam ,  James D. Welch

发明人： Martin M. Liphardt ,  Blaine D. Johs ,  Craig M. Herzinger ,  Ping He ,  Christopher A. Goeden ,  John A. Woollam ,  James D. Welch

IPC分类号： G01J4/00

CPC分类号： G01N21/21 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0235 ,  G01J3/0237 ,  G01N21/211 ,  G01N21/23 ,  G02B1/00 ,  G02B9/12 ,  G02B13/146

摘要： Disclosed are system for and method of analyzing the substantially the exact same point on a sample system with at least two wavelengths, or at least two ranges of wavelengths for which the focal lengths do not vary more than within an acceptable amount.

摘要翻译： 公开了用至少两个波长或至少两个波长范围分析样品系统上基本上相同点的系统和方法，其中焦距不超过可接受量的波长变化。

公开(公告)号：US07277171B1

公开(公告)日：2007-10-02

申请号：US11105852

申请日：2005-04-14

申请人： Blaine D. Johs ,  Ping He ,  Martin M. Liphardt ,  Christopher A. Goeden ,  John A. Woollam ,  James D. Welch

发明人： Blaine D. Johs ,  Ping He ,  Martin M. Liphardt ,  Christopher A. Goeden ,  John A. Woollam ,  James D. Welch

IPC分类号： G01J4/00

CPC分类号： G01N21/21 ,  G01N21/55 ,  G01N2021/151 ,  G01N2021/212 ,  G01N2021/214 ,  G01N2201/021 ,  G01N2201/0693

摘要： A substantially self-contained “on-board” material system investigation system functionally mounted on a three dimensional locational system to enable positioning at desired locations on, and distances from, the surface of a large sample, including the capability to easily and conveniently change the angle-of-incidence of a beam of electromagnetic radiation onto a sample surface.

摘要翻译： 一种基本上独立的“车载”材料系统调查系统，其功能地安装在三维位置系统上，以便能够定位在大样品表面上的距离和期望位置，包括容易地和方便地改变 电磁辐射束到样品表面的入射角。

公开(公告)号：US06859278B1

公开(公告)日：2005-02-22

申请号：US10050802

申请日：2002-01-15

申请人： Blaine D. Johs ,  Ping He ,  Martin M. Liphardt ,  Christopher A. Goeden ,  John A. Woollam ,  James D. Welch

发明人： Blaine D. Johs ,  Ping He ,  Martin M. Liphardt ,  Christopher A. Goeden ,  John A. Woollam ,  James D. Welch

IPC分类号： G01N21/21

CPC分类号： G01N21/211 ,  G01N2021/214 ,  G01N2021/4711

摘要： Disclosed is a system for enabling easy sequential setting of different Angles-of-Incidence of a beam of electromagnetic radiation to a surface of a sample system, and to regression based methodology for evaluating and compensating the effects of the presence of electromagnetic beam intercepting angle-of-incidence changing systems, including where desired, parameterization of calibration parameters.

摘要翻译： 公开了一种用于使得将电磁辐射束的不同角度发生顺序设置到样本系统的表面的系统，以及用于评估和补偿电磁束拦截角度的存在的影响的基于回归的方法， 包括在需要时包括校准参数的参数化。

公开(公告)号：US07746472B1

公开(公告)日：2010-06-29

申请号：US12231074

申请日：2008-08-29

申请人： Blaine D. Johs ,  Ping He ,  Martin M. Liphardt ,  Christopher A. Goeden ,  John A. Woollam ,  James D. Welch

发明人： Blaine D. Johs ,  Ping He ,  Martin M. Liphardt ,  Christopher A. Goeden ,  John A. Woollam ,  James D. Welch

IPC分类号： G01J4/00

CPC分类号： G01N21/21 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0278 ,  G01N21/55 ,  G01N2021/151 ,  G01N2021/212 ,  G01N2021/214 ,  G01N2201/021 ,  G01N2201/0693

摘要： Systems and methodology for orienting the tip/tilt and vertical height of samples, preferably automated, as applied in ellipsometer and the like systems.

摘要翻译： 用于定向样品的尖端/倾斜和垂直高度的系统和方法，优选为自动化，如应用于椭偏仪等系统。

公开(公告)号：US07746471B1

公开(公告)日：2010-06-29

申请号：US11890391

申请日：2007-08-05

申请人： Blaine D. Johs ,  Ping He ,  Martin M. Liphardt ,  Christopher A. Goeden ,  John A. Woollam ,  James D. Welch

发明人： Blaine D. Johs ,  Ping He ,  Martin M. Liphardt ,  Christopher A. Goeden ,  John A. Woollam ,  James D. Welch

IPC分类号： G01J4/00

CPC分类号： G01N21/21 ,  G01N21/55 ,  G01N2021/151 ,  G01N2021/212 ,  G01N2021/214 ,  G01N2201/021 ,  G01N2201/0693

摘要： A substantially self-contained “on-board” material system investigation system for effecting relative translational and rotational motion between a source and detector of electromagnetic radiation and a sample, which system is functionally mounted on a three dimensional locational system to enable positioning at desired locations on, and distances from, the surface of a sample, including the capability to easily and conveniently effect rotation and/or to change the angle-of-incidence of a beam of electromagnetic radiation onto a sample surface and/or to provide gas flow confined in a mini-chamber near the surface of a sample, at a location at which a beam having UV, VUV, IR and/or NIR wavelengths of electromagnetic radiation is caused to be impinged thereupon.

摘要翻译： 一种基本上独立的“车载”材料系统调查系统，用于实现电磁辐射源和检测器之间的相对平移和旋转运动，以及样品，该系统功能地安装在三维位置系统上，以便能够定位在所需位置 包括能够容易且方便地影响旋转和/或将电磁辐射束的入射角改变到样品表面上和/或提供气流限制的能力 在具有UV，VUV，IR和/或NIR波长的电磁辐射的光束的位置处，在样品表面附近的微型室中被引入。

公开(公告)号：US07505134B1

公开(公告)日：2009-03-17

申请号：US11408679

申请日：2006-04-21

申请人： Blaine D. Johs ,  Ping He ,  Martin M. Liphardt ,  Christopher A. Goeden ,  John A. Woollam ,  James D. Welch

发明人： Blaine D. Johs ,  Ping He ,  Martin M. Liphardt ,  Christopher A. Goeden ,  John A. Woollam ,  James D. Welch

IPC分类号： G01J4/00

CPC分类号： G01N21/21 ,  G01N21/55 ,  G01N2021/151 ,  G01N2021/212 ,  G01N2021/214 ,  G01N2201/021 ,  G01N2201/0693

摘要： Systems and methodology for orienting the tip/tilt and vertical height of samples, preferably automated, as applied in ellipsometer and the like systems.

摘要翻译： 用于定向样品的尖端/倾斜和垂直高度的系统和方法，优选为自动化，如应用于椭偏仪等系统。

公开(公告)号：US07265838B1

公开(公告)日：2007-09-04

申请号：US10925333

申请日：2004-08-24

申请人： Blaine D. Johs ,  Ping He ,  Martin M. Liphardt ,  Christopher A. Goeden ,  John A. Woollam ,  James D. Welch

发明人： Blaine D. Johs ,  Ping He ,  Martin M. Liphardt ,  Christopher A. Goeden ,  John A. Woollam ,  James D. Welch

IPC分类号： G01J4/00

CPC分类号： G01N21/211 ,  G01N21/274 ,  G01N2021/213

摘要： Disclosed is a system for enabling easy sequential setting of different Angles-of-Incidence of a beam of electromagnetic radiation to a surface of a sample system involving regression based methodology for evaluating and compensating the effects of the presence electromagnetic beam intercepting angle-of-incidence changing systems, including where desired, parameterization of calibration parameters.

摘要翻译： 公开了一种用于使电磁辐射束的不同角度发生的顺序设置能够容易地顺序地设置到采样系统的表面的系统，该系统涉及用于评估和补偿存在电磁波截止角入射角的影响的基于回归的方法 改变系统，包括所需的校准参数的参数化。

公开(公告)号：US07633625B1

公开(公告)日：2009-12-15

申请号：US11901225

申请日：2007-09-17

申请人： John A. Woollam ,  Blaine D. Johs ,  Craig M. Herzinger ,  Ping He ,  Martin M. Liphardt ,  Galen L. Pfeiffer

发明人： John A. Woollam ,  Blaine D. Johs ,  Craig M. Herzinger ,  Ping He ,  Martin M. Liphardt ,  Galen L. Pfeiffer

IPC分类号： G01B9/02 ,  G01J3/45 ,  G01J4/00

CPC分类号： G01J3/02 ,  G01J3/0213 ,  G01J3/0224 ,  G01J3/10 ,  G01N21/211 ,  G01N21/274 ,  G01N2021/213

摘要： A rotating compensator spectroscopic ellipsometer or polarimeter system having a source of a polychromatic beam of electromagnetic radiation, a polarizer, a stage for supporting a material system, an analyzer, a dispersive optics and a detector system which comprises a multiplicity of detector elements, the system being functionally present in an environmental control chamber and therefore suitable for application in wide spectral range, (for example, 130-1700 nm). Preferred compensator design involves a substantially achromatic multiple element compensator systems wherein multiple total internal reflections enter retardance into an entered beam of electromagnetic radiation, and the elements thereof are oriented to minimize changes in the net retardance vs. the input beam angle resulting from changes in the position and/or rotation of the system of elements.