公开(公告)号：US08603733B2

公开(公告)日：2013-12-10

申请号：US13196530

申请日：2011-08-02

申请人： Shinji Tarutani ,  Hideaki Tsubaki ,  Kazuyoshi Mizutani ,  Kenji Wada ,  Wataru Hoshino

发明人： Shinji Tarutani ,  Hideaki Tsubaki ,  Kazuyoshi Mizutani ,  Kenji Wada ,  Wataru Hoshino

IPC分类号： G03F7/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/32 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041 ,  G03F7/325 ,  G03F7/40

摘要： A pattern forming method comprising a step of applying a resist composition whose solubility in a negative tone developer decreases upon irradiation with an actinic ray or radiation and which contains a resin having an alicyclic hydrocarbon structure and a dispersity of 1.7 or less and being capable of increasing the polarity by the action of an acid, an exposure step, and a development step using a negative tone developer; a resist composition for use in the method; and a developer and a rinsing solution for use in the method, are provided, whereby a pattern with reduced line edge roughness and high dimensional uniformity can be formed.

摘要翻译： 一种图案形成方法，包括施加抗蚀剂组合物的步骤，所述抗蚀剂组合物在负光谱显影剂中的溶解度随着光化射线或辐射的照射而降低，并且其含有具有脂环族烃结构和分散性为1.7以下并且能够增加的树脂 通过酸的作用的极性，曝光步骤和使用负色调显影剂的显影步骤; 用于该方法的抗蚀剂组合物; 并且提供了用于该方法的显影剂和冲洗溶液，由此可以形成线边缘粗糙度降低且尺寸均匀性高的图案。

公开(公告)号：US20100330507A1

公开(公告)日：2010-12-30

申请号：US12825088

申请日：2010-06-28

申请人： Hideaki TSUBAKI ,  Shinji Tarutani ,  Kazuyoshi Mizuyoshi ,  Kenji Wada ,  Wataru Hoshino

发明人： Hideaki TSUBAKI ,  Shinji Tarutani ,  Kazuyoshi Mizuyoshi ,  Kenji Wada ,  Wataru Hoshino

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G03F7/0397 ,  G03F7/325 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111

摘要： A pattern forming method includes (a) coating a substrate with a resist composition including a resin that includes a repeating unit represented by a following general formula (NGH-1), and, by the action of an acid, increases the polarity and decreases the solubility in a negative developing solution; (b) exposing; and (d) developing with a negative developing solution: wherein RNGH1 represents a hydrogen atom or an alkyl group; and RNGH2 to RNGH4 each independently represents a hydrogen atom or a hydroxyl group, provided that at least one of RNGH2 to RNGH4 represents a hydroxyl group.

摘要翻译： 图案形成方法包括：（a）用包含由以下通式（NGH-1）表示的重复单元的树脂的抗蚀剂组合物涂布基材，并且通过酸的作用增加极性，并降低 在负显影液中的溶解度; （b）曝光; 和（d）用负显影液显影：其中RNGH1表示氢原子或烷基; 并且RNGH 2至RNGH 4各自独立地表示氢原子或羟基，条件是RNGH 2至RNGH 4中的至少一个表示羟基。

公开(公告)号：US20090017400A1

公开(公告)日：2009-01-15

申请号：US12140119

申请日：2008-06-16

申请人： Shinji Tarutani ,  Kenji Wada ,  Hideaki Tsubaki

发明人： Shinji Tarutani ,  Kenji Wada ,  Hideaki Tsubaki

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G03F7/0397 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/2022 ,  G03F7/2041

摘要： A pattern forming method, includes: exposing a resist film with actinic rays or radiation a plurality of times; and heating the resist film at a first temperature in at least one interval between the exposures.

摘要翻译： 一种图案形成方法，包括：用光化射线或辐射多次曝光抗蚀剂膜; 以及在所述曝光之间的至少一个间隔中以第一温度加热所述抗蚀剂膜。

公开(公告)号：US08034547B2

公开(公告)日：2011-10-11

申请号：US12145151

申请日：2008-06-24

申请人： Hideaki Tsubaki ,  Shinji Tarutani ,  Kazuyoshi Mizutani ,  Kenji Wada ,  Wataru Hoshino

发明人： Hideaki Tsubaki ,  Shinji Tarutani ,  Kazuyoshi Mizutani ,  Kenji Wada ,  Wataru Hoshino

IPC分类号： G03F7/30

CPC分类号： G03F7/0397 ,  G03F7/325 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111

摘要： A pattern forming method includes (a) coating a substrate with a resist composition including a resin that includes a repeating unit represented by a following general formula (NGH-1), and, by the action of an acid, increases the polarity and decreases the solubility in a negative developing solution; (b) exposing; and (d) developing with a negative developing solution: wherein RNGH1 represents a hydrogen atom or an alkyl group; and RNGH2 to RNGH4 each independently represents a hydrogen atom or a hydroxyl group, provided that at least one of RNGH2 to RNGH4 represents a hydroxyl group.

摘要翻译： 图案形成方法包括：（a）用包含由以下通式（NGH-1）表示的重复单元的树脂的抗蚀剂组合物涂布基材，并且通过酸的作用增加极性，并降低 在负显影液中的溶解度; （b）曝光; 和（d）用负显影液显影：其中RNGH1表示氢原子或烷基; 并且RNGH 2至RNGH 4各自独立地表示氢原子或羟基，条件是RNGH 2至RNGH 4中的至少一个表示羟基。

公开(公告)号：US08241840B2

公开(公告)日：2012-08-14

申请号：US12825088

申请日：2010-06-28

申请人： Hideaki Tsubaki ,  Shinji Tarutani ,  Kazuyoshi Mizuyoshi ,  Kenji Wada ,  Wataru Hoshino

发明人： Hideaki Tsubaki ,  Shinji Tarutani ,  Kazuyoshi Mizuyoshi ,  Kenji Wada ,  Wataru Hoshino

IPC分类号： G03F7/30 ,  G03F7/004

CPC分类号： G03F7/0397 ,  G03F7/325 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111

摘要： A pattern forming method includes (a) coating a substrate with a resist composition including a resin that includes a repeating unit represented by a following general formula (NGH-1), and, by the action of an acid, increases the polarity and decreases the solubility in a negative developing solution; (b) exposing; and (d) developing with a negative developing solution: wherein RNGH1 represents a hydrogen atom or an alkyl group; and RNGH2 to RNGH4 each independently represents a hydrogen atom or a hydroxyl group, provided that at least one of RNGH2 to RNGH4 represents a hydroxyl group.

摘要翻译： 图案形成方法包括：（a）用包含由以下通式（NGH-1）表示的重复单元的树脂的抗蚀剂组合物涂布基材，并且通过酸的作用增加极性，并降低 在负显影液中的溶解度; （b）曝光; 和（d）用负显影液显影：其中RNGH1表示氢原子或烷基; 并且RNGH 2至RNGH 4各自独立地表示氢原子或羟基，条件是RNGH 2至RNGH 4中的至少一个表示羟基。

公开(公告)号：US08088550B2

公开(公告)日：2012-01-03

申请号：US12181757

申请日：2008-07-29

申请人： Shinji Tarutani ,  Hideaki Tsubaki ,  Kenji Wada

发明人： Shinji Tarutani ,  Hideaki Tsubaki ,  Kenji Wada

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/30

CPC分类号： G03F7/0397 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/2022 ,  G03F7/2041 ,  Y10S430/111

摘要： A positive resist composition, includes: (A) a compound capable of generating an acid upon irradiation with actinic rays or radiation; (B) a resin of which solubility in an alkali developer increases under an action of an acid; (C) a compound capable of decomposing under an action of an acid to generate an acid; and (D) a compound which itself acts as a base for the acids generated from the component (A) and the component (C) but decomposes upon irradiation with actinic rays or radiation to lose a basicity for the acids generated from the component (A) and the component (C).

摘要翻译： 正型抗蚀剂组合物包括：（A）在用光化射线或辐射照射时能够产生酸的化合物; （B）在碱性显影剂中的溶解度在酸的作用下增加的树脂; （C）能够在酸的作用下分解以产生酸的化合物; 和（D）本身作为由组分（A）和组分（C）产生的酸的碱的化合物，但是在用光化射线或辐射照射时分解，以失去由组分（A）产生的酸的碱度 ）和组分（C）。

公开(公告)号：US20090011366A1

公开(公告)日：2009-01-08

申请号：US12145151

申请日：2008-06-24

申请人： Hideaki TSUBAKI ,  Shinji Tarutani ,  Kazuyoshi Mizutani ,  Kenji Wada ,  Wataru Hoshino

发明人： Hideaki TSUBAKI ,  Shinji Tarutani ,  Kazuyoshi Mizutani ,  Kenji Wada ,  Wataru Hoshino

IPC分类号： G03C1/053 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/0397 ,  G03F7/325 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111

摘要： A pattern forming method includes (a) coating a substrate with a resist composition including a resin that includes a repeating unit represented by a following general formula (NGH-1), and, by the action of an acid, increases the polarity and decreases the solubility in a negative developing solution; (b) exposing; and (d) developing with a negative developing solution: wherein RNGH1 represents a hydrogen atom or an alkyl group; and RNGH2 to RNGH4 each independently represents a hydrogen atom or a hydroxyl group, provided that at least one of RNGH2 to RNGH4 represents a hydroxyl group.

摘要翻译： 图案形成方法包括：（a）用包含由以下通式（NGH-1）表示的重复单元的树脂的抗蚀剂组合物涂布基材，并且通过酸的作用增加极性，并降低 在负显影液中的溶解度; （b）曝光; 和（d）用负显影液显影：其中RNGH1表示氢原子或烷基; 并且RNGH 2至RNGH 4各自独立地表示氢原子或羟基，条件是RNGH 2至RNGH 4中的至少一个表示羟基。

公开(公告)号：US08017304B2

公开(公告)日：2011-09-13

申请号：US12578520

申请日：2009-10-13

申请人： Shinji Tarutani ,  Hideaki Tsubaki ,  Kazuyoshi Mizutani ,  Kenji Wada ,  Wataru Hoshino

发明人： Shinji Tarutani ,  Hideaki Tsubaki ,  Kazuyoshi Mizutani ,  Kenji Wada ,  Wataru Hoshino

IPC分类号： G03F7/00 ,  G03F7/32 ,  G03F7/004 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/40 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041 ,  G03F7/325

摘要： A pattern forming method comprising a step of applying a resist composition whose solubility in a negative tone developer decreases upon irradiation with an actinic ray or radiation and which contains a resin having an alicyclic hydrocarbon structure and a dispersity of 1.7 or less and being capable of increasing the polarity by the action of an acid, an exposure step, and a development step using a negative tone developer; a resist composition for use in the method; and a developer and a rinsing solution for use in the method, are provided, whereby a pattern with reduced line edge roughness and high dimensional uniformity can be formed.

摘要翻译： 一种图案形成方法，包括施加抗蚀剂组合物的步骤，所述抗蚀剂组合物在负光谱显影剂中的溶解度随着光化射线或辐射的照射而降低，并且其含有具有脂环族烃结构和分散性为1.7以下并且能够增加的树脂 通过酸的作用的极性，曝光步骤和使用负色调显影剂的显影步骤; 用于该方法的抗蚀剂组合物; 并且提供了用于该方法的显影剂和冲洗溶液，由此可以形成线边缘粗糙度降低且尺寸均匀性高的图案。

公开(公告)号：US20100040972A1

公开(公告)日：2010-02-18

申请号：US12578520

申请日：2009-10-13

申请人： Shinji TARUTANI ,  Hideaki Tsubaki ,  Kazuyoshi Mizutani ,  Kenji Wada ,  Wataru Hoshino

发明人： Shinji TARUTANI ,  Hideaki Tsubaki ,  Kazuyoshi Mizutani ,  Kenji Wada ,  Wataru Hoshino

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03F7/004

CPC分类号： G03F7/40 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041 ,  G03F7/325

摘要： A pattern forming method comprising a step of applying a resist composition whose solubility in a negative tone developer decreases upon irradiation with an actinic ray or radiation and which contains a resin having an alicyclic hydrocarbon structure and a dispersity of 1.7 or less and being capable of increasing the polarity by the action of an acid, an exposure step, and a development step using a negative tone developer; a resist composition for use in the method; and a developer and a rinsing solution for use in the method, are provided, whereby a pattern with reduced line edge roughness and high dimensional uniformity can be formed.

摘要翻译： 一种图案形成方法，包括施加抗蚀剂组合物的步骤，所述抗蚀剂组合物在负光谱显影剂中的溶解度随着光化射线或辐射的照射而降低，并且其含有具有脂环族烃结构和分散性为1.7以下并且能够增加的树脂 通过酸的作用的极性，曝光步骤和使用负色调显影剂的显影步骤; 用于该方法的抗蚀剂组合物; 并且提供了用于该方法的显影剂和冲洗溶液，由此可以形成线边缘粗糙度降低且尺寸均匀性高的图案。

公开(公告)号：US20060040208A1

公开(公告)日：2006-02-23

申请号：US11206220

申请日：2005-08-18

申请人： Shinji Tarutani ,  Hyou Takahashi ,  Kenji Wada

发明人： Shinji Tarutani ,  Hyou Takahashi ,  Kenji Wada

IPC分类号： G03C1/76

CPC分类号： G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0392

摘要： A chemical amplification resist composition comprising (A) a resin increasing the solubility in an alkali developer by the action of an acid, (B) a compound capable of generating an acid upon irradiation with actinic ray or radiation, (C) a compound having a fluorine atom and a hydroxyl group, and a pKa value of from 4 to 15, and (D) a solvent, and a pattern-forming method using the same.

摘要翻译： 一种化学放大抗蚀剂组合物，其包含（A）通过酸的作用增加在碱性显影剂中的溶解度的树脂，（B）在用光化射线或辐射照射时能够产生酸的化合物，（C）具有 氟原子和羟基，pKa值为4〜15，和（D）溶剂，以及使用其的图案形成方法。