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公开(公告)号：US08008639B2
公开(公告)日：2011-08-30
申请号：US12268822
申请日：2008-11-11
申请人： Wolfram Buhler , Alexander Rosenthal , Camille Stebler , Emmerich Bertagnolli , Heinz Wanzenbock
发明人： Wolfram Buhler , Alexander Rosenthal , Camille Stebler , Emmerich Bertagnolli , Heinz Wanzenbock
IPC分类号： H01J37/317 , G03F7/20
CPC分类号： H01J37/3056 , H01J2237/0041 , H01J2237/006 , H01J2237/31744
摘要： A processing system comprises a gas supply apparatus with which process gas is supplied to an object. An activation beam activates the gas thereby inducing a chemical reaction between material at the surface of the object and the process gas causing ablation of material from the surface or deposition of material at the surface. The gas supply apparatus is formed from a stack of plates providing a gas conduit system between at least one gas inlet and at least one gas outlet.
摘要翻译： 一种处理系统包括：气体供给装置，通过该气体供给装置向处理对象物供给处理气体。 激活光束激活气体，从而导致物体表面的材料与处理气体之间的化学反应，导致材料从表面烧蚀或在表面沉积材料。 气体供应装置由一堆板形成，其在至少一个气体入口和至少一个气体出口之间提供气体导管系统。
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公开(公告)号：US20090152460A1
公开(公告)日：2009-06-18
申请号：US12268822
申请日：2008-11-11
申请人： Wolfram Buhler , Alexander Rosenthal , Camille Stebler , Emmerich Bertagnolli , Heinz Wanzenbock
发明人： Wolfram Buhler , Alexander Rosenthal , Camille Stebler , Emmerich Bertagnolli , Heinz Wanzenbock
IPC分类号： G01N23/00
CPC分类号： H01J37/3056 , H01J2237/0041 , H01J2237/006 , H01J2237/31744
摘要： A processing system comprises a gas supply apparatus with which process gas is supplied to an object. An activation beam activates the gas thereby inducing a chemical reaction between material at the surface of the object and the process gas causing ablation of material from the surface or deposition of material at the surface. The gas supply apparatus is formed from a stack of plates providing a gas conduit system between at least one gas inlet and at least one gas outlet.
摘要翻译： 一种处理系统包括：气体供给装置，通过该气体供给装置向处理对象物供给处理气体。 激活光束激活气体，从而导致物体表面的材料与处理气体之间的化学反应，导致材料从表面烧蚀或在表面沉积材料。 气体供应装置由一堆板形成，其在至少一个气体入口和至少一个气体出口之间提供气体导管系统。
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公开(公告)号：US20090152459A1
公开(公告)日：2009-06-18
申请号：US12268802
申请日：2008-11-11
申请人： Wolfram Buhler , Alexander Rosenthal , Emmerich Bertagnolli , Heinz Wanzenbock , Markus Fischer , Gottfried Hochleitner
发明人： Wolfram Buhler , Alexander Rosenthal , Emmerich Bertagnolli , Heinz Wanzenbock , Markus Fischer , Gottfried Hochleitner
IPC分类号： G01N23/00
CPC分类号： H01J37/3005 , G03F1/74 , G03F1/86 , H01J37/20 , H01J37/3056 , H01J2237/006 , H01J2237/202 , H01J2237/31744
摘要： A system and a method for processing and inspecting an object are provided, wherein the system comprises a particle beam column, an object holder and a gas supply apparatus. Thereby, the object holder is formed comprising a base, a first table displaceable relative to the base, a second table displaceable relative to the first table and a third table rotatable relative to the second table, wherein the cannula of the gas supply apparatus is fixed at the first table.
摘要翻译： 提供了一种用于处理和检查物体的系统和方法，其中所述系统包括粒子束柱，物体保持器和气体供应装置。 因此，物体保持器形成为包括基部，相对于基部可移动的第一台，相对于第一台可移动的第二台和可相对于第二台转动的第三台，其中气体供应装置的插管固定 在第一张桌子
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公开(公告)号：US07923702B2
公开(公告)日：2011-04-12
申请号：US12268802
申请日：2008-11-11
申请人： Wolfram Buhler , Alexander Rosenthal , Emmerich Bertagnolli , Heinz Wanzenbock , Markus Fischer , Gottfried Hochleitner
发明人： Wolfram Buhler , Alexander Rosenthal , Emmerich Bertagnolli , Heinz Wanzenbock , Markus Fischer , Gottfried Hochleitner
IPC分类号： C23C16/458 , C23C16/48 , H01J49/00
CPC分类号： H01J37/3005 , G03F1/74 , G03F1/86 , H01J37/20 , H01J37/3056 , H01J2237/006 , H01J2237/202 , H01J2237/31744
摘要： A system and a method for processing and inspecting an object are provided, wherein the system comprises a particle beam column, an object holder and a gas supply apparatus. Thereby, the object holder is formed comprising a base, a first table displaceable relative to the base, a second table displaceable relative to the first table and a third table rotatable relative to the second table, wherein the cannula of the gas supply apparatus is fixed at the first table.
摘要翻译： 提供了一种用于处理和检查物体的系统和方法，其中所述系统包括粒子束柱，物体保持器和气体供应装置。 因此，物体保持器形成为包括基部，相对于基部可移动的第一台，相对于第一台可移动的第二台和可相对于第二台转动的第三台，其中气体供应装置的插管固定 在第一张桌子
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