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公开(公告)号：US07923702B2
公开(公告)日：2011-04-12
申请号：US12268802
申请日：2008-11-11
申请人： Wolfram Buhler , Alexander Rosenthal , Emmerich Bertagnolli , Heinz Wanzenbock , Markus Fischer , Gottfried Hochleitner
发明人： Wolfram Buhler , Alexander Rosenthal , Emmerich Bertagnolli , Heinz Wanzenbock , Markus Fischer , Gottfried Hochleitner
IPC分类号： C23C16/458 , C23C16/48 , H01J49/00
CPC分类号： H01J37/3005 , G03F1/74 , G03F1/86 , H01J37/20 , H01J37/3056 , H01J2237/006 , H01J2237/202 , H01J2237/31744
摘要： A system and a method for processing and inspecting an object are provided, wherein the system comprises a particle beam column, an object holder and a gas supply apparatus. Thereby, the object holder is formed comprising a base, a first table displaceable relative to the base, a second table displaceable relative to the first table and a third table rotatable relative to the second table, wherein the cannula of the gas supply apparatus is fixed at the first table.
摘要翻译： 提供了一种用于处理和检查物体的系统和方法，其中所述系统包括粒子束柱，物体保持器和气体供应装置。 因此，物体保持器形成为包括基部，相对于基部可移动的第一台，相对于第一台可移动的第二台和可相对于第二台转动的第三台，其中气体供应装置的插管固定 在第一张桌子
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公开(公告)号：US20090152459A1
公开(公告)日：2009-06-18
申请号：US12268802
申请日：2008-11-11
申请人： Wolfram Buhler , Alexander Rosenthal , Emmerich Bertagnolli , Heinz Wanzenbock , Markus Fischer , Gottfried Hochleitner
发明人： Wolfram Buhler , Alexander Rosenthal , Emmerich Bertagnolli , Heinz Wanzenbock , Markus Fischer , Gottfried Hochleitner
IPC分类号： G01N23/00
CPC分类号： H01J37/3005 , G03F1/74 , G03F1/86 , H01J37/20 , H01J37/3056 , H01J2237/006 , H01J2237/202 , H01J2237/31744
摘要： A system and a method for processing and inspecting an object are provided, wherein the system comprises a particle beam column, an object holder and a gas supply apparatus. Thereby, the object holder is formed comprising a base, a first table displaceable relative to the base, a second table displaceable relative to the first table and a third table rotatable relative to the second table, wherein the cannula of the gas supply apparatus is fixed at the first table.
摘要翻译： 提供了一种用于处理和检查物体的系统和方法，其中所述系统包括粒子束柱，物体保持器和气体供应装置。 因此，物体保持器形成为包括基部，相对于基部可移动的第一台，相对于第一台可移动的第二台和可相对于第二台转动的第三台，其中气体供应装置的插管固定 在第一张桌子
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公开(公告)号：US20120187291A1
公开(公告)日：2012-07-26
申请号：US13428054
申请日：2012-03-23
申请人： Heinz Wanzenboeck , Wolfram Buehler , Holger Doemer , Carl Kuebler , Daniel Fischer , Gottfried Hochleitner , Emmerich Bertagnolli
发明人： Heinz Wanzenboeck , Wolfram Buehler , Holger Doemer , Carl Kuebler , Daniel Fischer , Gottfried Hochleitner , Emmerich Bertagnolli
CPC分类号： G01N1/28 , G01N1/286 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J37/3056 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
摘要： A process of preparing a lamella from a substrate includes manufacturing a protection strip on an edge portion of the lamella to be prepared from the substrate, and preparing the lamella, wherein the manufacturing the protection strip includes a first phase of activating a surface area portion of the substrate, and a second phase of electron beam assisted deposition of the protective strip on the activated surface area portion from the gas phase.
摘要翻译： 从衬底制备薄片的方法包括在待从衬底制备的薄片的边缘部分上制造保护条，并制备薄片，其中制造保护条包括激活第一阶段的第一阶段 衬底以及电子束辅助沉积在气相的活化表面积部分上的保护带的第二相。
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公开(公告)号：US20100276607A1
公开(公告)日：2010-11-04
申请号：US12658507
申请日：2010-02-05
申请人： Heinz Wanzenboeck , Wolfram Buehler , Holger Doemer , Carl Kuebler , Daniel Fischer , Gottfried Hochleitner , Emmerich Bertagnolli
发明人： Heinz Wanzenboeck , Wolfram Buehler , Holger Doemer , Carl Kuebler , Daniel Fischer , Gottfried Hochleitner , Emmerich Bertagnolli
CPC分类号： G01N1/28 , G01N1/286 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J37/3056 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
摘要： A process of preparing a lamella from a substrate includes manufacturing a protection strip on an edge portion of the lamella to be prepared from the substrate, and preparing the lamella, wherein the manufacturing the protection strip includes a first phase of activating a surface area portion of the substrate, and a second phase of electron beam assisted deposition of the protective strip on the activated surface area portion from the gas phase.
摘要翻译： 从衬底制备薄片的方法包括在待从衬底制备的薄片的边缘部分上制造保护条，并制备薄片，其中制造保护条包括激活第一阶段的第一阶段 衬底以及电子束辅助沉积在气相的活化表面积部分上的保护带的第二相。
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公开(公告)号：US08143594B2
公开(公告)日：2012-03-27
申请号：US12658507
申请日：2010-02-05
申请人： Heinz Wanzenboeck , Wolfram Buehler , Holger Doemer , Carl Kuebler , Daniel Fischer , Gottfried Hochleitner , Emmerich Bertagnolli
发明人： Heinz Wanzenboeck , Wolfram Buehler , Holger Doemer , Carl Kuebler , Daniel Fischer , Gottfried Hochleitner , Emmerich Bertagnolli
CPC分类号： G01N1/28 , G01N1/286 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J37/3056 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
摘要： A process of preparing a lamella from a substrate includes manufacturing a protection strip on an edge portion of the lamella to be prepared from the substrate, and preparing the lamella, wherein the manufacturing the protection strip includes a first phase of activating a surface area portion of the substrate, and a second phase of electron beam assisted deposition of the protective strip on the activated surface area portion from the gas phase.
摘要翻译： 从衬底制备薄片的方法包括在待从衬底制备的薄片的边缘部分上制造保护条，并制备薄片，其中制造保护条包括激活第一阶段的第一阶段 衬底以及电子束辅助沉积在气相的活化表面积部分上的保护带的第二相。
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