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公开(公告)号：WO2012096370A1
公开(公告)日：2012-07-19
申请号：PCT/JP2012/050572
申请日：2012-01-13
Applicant: 国立大学法人 山梨大学 , 東京エレクトロン株式会社 , 加藤 孝正 , 成島 正樹 , 原 謙一
IPC: H01L21/368 , H01L31/04
CPC classification number: H01L21/02617 , C23C24/02 , H01L21/02543 , H01L21/02546 , H01L21/02557 , H01L21/02562 , H01L21/02568 , H01L21/02601 , H01L21/02628 , H01L31/0322 , H01L31/0326 , H01L31/03923 , H01L31/03925 , H01L31/18 , H01L31/1828 , H01L31/20 , Y02E10/541 , Y02E10/543
Abstract: 複数の元素を含む薄膜を被処理体の表面に形成する太陽電池用の薄膜形成方法において、元素を含む原料溶液を電界により微粒子として処理空間に飛散させて、飛散された前記微粒子を被処理体の表面に付着させて薄膜を形成するようにする。これにより、大気圧雰囲気下においても結晶性が良好な光電変換素子用の薄膜を形成することができる。
Abstract translation: 该太阳能电池薄膜形成方法形成在被处理物的表面上含有多个元素的薄膜。 含有这些元素的原料溶液通过电场作为微粒分散在处理空间中，并且分散的微粒形成粘附到被处理物体的表面的薄膜。 因此，即使在大气压的气氛中也可以形成具有优异结晶性的太阳能电池元件用薄膜。
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公开(公告)号：WO2012029475A1
公开(公告)日：2012-03-08
申请号：PCT/JP2011/067400
申请日：2011-07-29
Applicant: 東京エレクトロン株式会社 , 早川 崇 , 原 謙一 , 田中 崇
IPC: H01L21/768 , H01L21/265 , H01L21/306 , H01L21/3065 , H01L21/3205 , H01L21/3213 , H01L23/52 , H01L23/522
CPC classification number: H01L21/30604 , H01L21/288 , H01L21/31053 , H01L21/32134 , H01L21/32135 , H01L21/32136 , H01L21/32139 , H01L21/7682 , H01L21/76852 , H01L21/76885 , H01L23/5222 , H01L23/53238 , H01L23/53295 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: Ｃｕバリア膜（１００）上に、銅膜（１０１）を形成する工程と、銅膜（１０１）上に、マスク材（１０２）を形成する工程と、マスク材（１０２）をマスクに用いて、銅膜（１０１）をＣｕバリア膜１００が露出するまで異方的にエッチングする工程と、マスク材（１０２）を除去した後、異方的にエッチングされた銅膜（１０１）上に、銅膜（１０１）に対して触媒作用があり、Ｃｕバリア膜（１００）には触媒作用がない選択析出現象を利用した無電解めっき法を用いて、銅の拡散を抑制する物質を含むめっき膜（１０４）を形成する工程と、を具備する。
Abstract translation: 一种方法，包括以下步骤：在Cu阻挡膜（100）上形成铜膜（101）; 在所述铜膜（101）上形成掩模材料（102）; 使用掩模材料（102）作为掩模，各向异性地蚀刻铜膜（101）直到Cu阻挡膜（100）露出; 并且使用利用其中发生催化作用的选择性沉积的化学镀方法，除去掩模材料（102）并随后形成含有用于抑制各向异性蚀刻的铜膜（101）上的铜扩散的物质的镀膜（104） 相对于铜膜（101）而不是铜阻挡膜（100）。
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公开(公告)号：WO2013042491A1
公开(公告)日：2013-03-28
申请号：PCT/JP2012/070661
申请日：2012-08-14
Applicant: 東京エレクトロン株式会社 , 原 謙一 , 早川 崇 , 小沢 真理子
IPC: H01L21/3205 , H01L21/768 , H01L23/532
CPC classification number: H01L21/76843 , H01L21/3212 , H01L21/32136 , H01L21/76834 , H01L21/7684 , H01L21/76883 , H01L23/53238 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 基板上の凹部を有する層間絶縁膜上にバリア膜を介して凹部を埋めるように銅膜を形成した構造体を準備する工程と、構造体の銅膜をバリア膜との界面まで化学機械研磨により除去し、凹部内に銅配線を形成する工程と、銅配線をエッチングしてその表面を層間絶縁膜表面よりも後退させる工程と、バリア膜を化学機械研磨により除去する工程とを有し、銅配線の表面を層間絶縁膜表面よりも後退させる際に、構造体を真空状態の有機化合物雰囲気に配置し、構造体の銅配線表面を含む面に酸素ガスクラスターイオンビームを照射し、その中の酸素ガスクラスターイオンにより、銅配線の表面の銅を酸化させて酸化銅とするとともに、酸化銅と有機化合物を反応させて銅配線を異方的にエッチングする。
Abstract translation: 一种半导体器件的制造方法，其特征在于，具有以下结构的制作工序：在形成了具有沟槽的层间绝缘膜的基板上，通过阻挡膜填充铜膜的结构， 通过化学机械抛光将该结构的铜膜除去到阻挡膜界面并在沟槽部分内形成铜布线的步骤; 蚀刻铜布线并使其表面向后移动而超过层间绝缘膜表面的步骤; 以及通过化学机械抛光去除阻挡膜的步骤。 当将铜布线的表面远离层间绝缘膜表面移回时，该结构位于真空状态的有机化合物气氛中，氧气团簇离子束投射在包括结构的铜布线表面的表面上 。 在其中存在氧气团簇离子的情况下，铜布线表面上的铜被氧化，形成氧化铜，氧化铜与有机化合物反应，各向异性地蚀刻铜布线。
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公开(公告)号：WO2012077671A1
公开(公告)日：2012-06-14
申请号：PCT/JP2011/078165
申请日：2011-12-06
Applicant: 日立オートモティブシステムズ株式会社 , 根本 佳奈子 , 森 英明 , 松原 謙一郎 , 松延 豊
CPC classification number: H02K5/04 , B60L11/1803 , B60L15/20 , B60L2240/421 , B60L2270/145 , H02K1/185 , H02K5/00 , H02K5/24 , H02K7/006 , Y02T10/641 , Y02T10/645 , Y02T10/7005 , Y02T10/72 , Y02T10/7275
Abstract: 車載用回転電機１００は、ステータコイル６を巻回したステータコア４を有するステータ１と、ステータコア４の内周側に回転ギャップを有して配置されるロータ２と、ステータ１を車両３００に取り付けるための取り付け部材であるフランジ５ａと、を備え、フランジ５ａは、車両３００との取り付け位置の軸方向位置がステータ１の磁気中心の軸方向位置と一致するように形成されている。
Abstract translation: 一种车载旋转电机（100）具有：定子（1），其包括具有缠绕在其周围的定子线圈（6）的定子铁心（4）; 设置在所述定子铁心（4）的内周侧的转子（2），其间具有旋转间隙; 以及作为用于将定子（1）安装在车辆（300）上的安装构件的凸缘（5a）。 凸缘（5a）形成为使凸缘（5a）安装在车辆（300）上的轴向位置与定子（1）的磁心的轴向位置一致。
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公开(公告)号：WO2008018368A1
公开(公告)日：2008-02-14
申请号：PCT/JP2007/065215
申请日：2007-07-27
Applicant: チャンピオン商事株式会社 , 石原 謙一
Inventor： 石原 謙一
Abstract: 構成が簡単で、安価で、脚環への取り付けが簡単であるがその取り外しは容易ではなく、しかも、確実に且つ容易に個々の鳥類の識別が可能であると同時に、レースに関する情報或いは記録を誤り無く受信し記憶し又送信が可能であり、不正使用を確実に防止出来る脚環用結束バンド及び脚環構造体を提供する。本体部2、本体部2の一方の端部に設けられた挿入端部3、本体部2の他方の端部に設けられており、且つ中空状の挿入通路部25を有し、挿入端部3が挿入通路部25内に不可逆的に挿入され且つ保持される係合保持部4及び当該本体部2の一部であって、本体部2の中央部分Cと挿入端部3との間の位置に設けられている、所定の情報を記億しうると共に情報の受発信が可能である情報処理部7とから構成されている脚環用結束バンド1。
Abstract translation: 一种简单结构的鸟带的便宜装订带，可以很容易地固定在鸟类上，但不能轻易地被清除，可以确定和容易地识别各个鸟类，并可以无错误地接收，存储或传播关于比赛的信息或记录 ，并可以防止滥用。 还提供了一个鸟带结构。 用于鸟带的装订带（1）由主体部分（2），设置在主体部分（2）的一个端部处的插入端部分（3）构成，接合保持部分 同时具有插入端部（3）不可逆地插入并保持在其中的中空插入通道部分（25）的主体部分（2）的另一端部，以及信息处理部分（7） 主体部分（2）并且位于主体部分（2）的中心部分（C）和插入端部分（3）之间，使得可以存储和传送/接收预定信息。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2012102139A1
公开(公告)日：2012-08-02
申请号：PCT/JP2012/050869
申请日：2012-01-17
Applicant: 東京エレクトロン株式会社 , 軍司 勲男 , 三好 秀典 , 原 謙一
IPC: H01L21/302 , C23F4/00 , H01J27/02 , H01J37/317 , H01L21/3213
CPC classification number: C23F1/02 , C23F1/08 , C23F4/00 , H01J27/026 , H01J37/08 , H01J37/3056 , H01J37/317 , H01J2237/0812 , H01J2237/3174 , H01L21/32136
Abstract: 被処理体Ｗの表面に形成された金属膜７２をガスクラスタビームにより加工する金属膜の加工方法において、金属膜の元素を酸化して酸化物を形成する酸化ガスと、酸化物と反応して有機金属錯体を形成する錯化ガスと、希ガスとの混合ガスを断熱膨張させてガスクラスタビームを形成し、ガスクラスタビームを被処理体の金属膜に衝突させることにより金属膜をエッチング加工する。
Abstract translation: 一种用于处理利用气体束束来处理形成在待处理物体（W）的表面上的金属膜（72）的金属膜的方法。 通过使金属膜的元素氧化，与氧化物反应形成有机金属络合物的络合气体和稀有气体，通过绝热膨胀包含用于形成氧化物的氧化气体的混合气体而形成气体束束; 并且气体束束用于轰击被处理物体的金属膜以蚀刻金属膜。
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公开(公告)号：WO2012029473A1
公开(公告)日：2012-03-08
申请号：PCT/JP2011/067398
申请日：2011-07-29
Applicant: 東京エレクトロン株式会社 , 原 謙一 , 早川 崇
IPC: H01L21/302 , H01L21/3205 , H01L21/3213 , H01L23/52
CPC classification number: H01L21/76886 , C23F4/00 , H01J37/3053 , H01J2237/0817 , H01J2237/334 , H01L21/32136 , H01L21/67069 , H01L23/53228 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 表面にマスク材（１０２）が形成された銅膜（１０１）の周囲を、有機化合物ガス（２２）雰囲気とする工程と、有機化合物ガス（２２）雰囲気中で、銅膜（１０１）に、マスク材（１０２）をマスクに用いて酸素イオン（６）を照射し、銅膜（１０１）を異方性エッチングする工程と、を具備する。
Abstract translation: 该蚀刻方法包括在其表面形成有掩模材料（102）的铜膜（101）周围形成有机化合物气体（22）气氛的步骤和使用掩模材料（102）作为掩模的步骤 在铜膜（101）上照射氧离子（6），并对有机化合物气体（22）气氛中的铜膜（101）进行各向异性蚀刻。
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公开(公告)号：WO2008047824A1
公开(公告)日：2008-04-24
申请号：PCT/JP2007/070231
申请日：2007-10-17
CPC classification number: C12Q1/6883 , C12Q2600/158
Abstract: 容易に入手し得る検体を用いて、被験者が２型糖尿病に罹患しているか否かを判定する方法、糖尿病の治療効果が上がっているか否かを判定する方法を提供する。 (ａ)被験者ｘに由来するヒト白血球における特定の遺伝子又は遺伝子群の発現プロファイルｘを得る工程、（ｂ）工程（ａ）で得られた発現プロファイルｘを、非糖尿病の被験者ｙに由来するヒト白血球における遺伝子群又はその同等物中の工程（ａ）と同一の特定の遺伝子又は遺伝子群についての発現プロファイルｙと比較する工程、及び（ｃ）工程（ｂ）で、発現プロファイルｘが発現プロファイルｙと有意に異なる場合に、被験者ｘが糖尿病患者又はその予備軍であると判定する工程を含む、被験者ｘが糖尿病患者又はその予備軍であるか否かを判定する方法等を採用する。
Abstract translation: 旨在提供一种用于确定受试者是否具有II型糖尿病的方法以及使用可以容易地获得的样品来确定是否获得对糖尿病的治疗效果的方法。 用于确定受试者x是否是糖尿病患者或潜在糖尿病患者的方法，包括以下步骤：（a）获得源自受试者x的人白细胞中的特定基因或基因组的表达谱x; （b）将来自非糖尿病受试者y的人类白细胞中的基因组中的步骤（a）中获得的表达谱x与与步骤（a）中相同的特定基因或基因组的表达谱y进行比较 或其等效物; 和（c）当表达谱x与步骤（b）等中的表达谱y显着不同时，确定作为糖尿病患者或潜在糖尿病患者的受试者x。
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公开(公告)号：WO2008001698A1
公开(公告)日：2008-01-03
申请号：PCT/JP2007/062625
申请日：2007-06-22
Applicant: 東京エレクトロン株式会社 , 田中 崇 , 原 謙一 , 岩下 光秋
IPC: C23C18/16 , C23C18/31 , H01L21/288 , H01L21/304 , H01L21/3205 , H01L23/52
CPC classification number: H01L21/76849 , C23C18/1689 , C23C18/1834 , C23C18/50 , H01L21/288 , H01L21/67051 , H01L21/6723 , H01L23/53238 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 基板処理方法は、ウエハＷに設けられたＣｕ配線にＣｏＷＢからなる無電解めっきを施す工程と、この無電解めっき工程によってＣｕ配線に被覆されたＣｏＷＢ膜の表面の副生成物が析出する前に、被処理基板であるウエハを洗浄液によって後洗浄処理する工程とを含む。
Abstract translation: 公开了一种基板处理方法，其包括在设置在晶片W上的Cu布线上执行无电解CoWB电镀的步骤，以及在沉积副产物之前用清洗液将晶片作为处理基板进行后清洗的步骤 在通过化学镀步骤在Cu布线上形成的CoWB膜的表面上。
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公开(公告)号：WO2008001697A1
公开(公告)日：2008-01-03
申请号：PCT/JP2007/062624
申请日：2007-06-22
Applicant: 東京エレクトロン株式会社 , 田中 崇 , 原 謙一 , 岩下 光秋
IPC: C23C18/16 , C23C18/31 , H01L21/288 , H01L21/304 , H01L21/3205 , H01L23/52
CPC classification number: H01L21/76849 , C23C18/1689 , C23C18/1834 , C23C18/50 , H01L21/288 , H01L21/67051 , H01L21/6723 , H01L23/53238 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 基板であるウエハＷに設けられたＣｕ配線にＣｏＷＢを含む無電解めっきを施すめっき工程と、めっき工程後のウエハＷを洗浄液で洗浄する後洗浄工程と、前記めっき工程と前記後洗浄工程とを複数回繰り返す工程とにより、Ｃｕ配線にキャップメタルとしてＣｏＷＢ膜を形成する。
Abstract translation: 通过包括用于在形成于晶片W上的Cu布线上进行包含CoWB的化学镀的电镀步骤的方法，在Cu布线上形成作为帽金属的CoWB膜作为基板;清洗步骤，用于清洗晶片W 在电镀步骤之后具有清洗液，以及重复电镀步骤和后清洗步骤多次的步骤。
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