公开(公告)号：WO2012079939A1

公开(公告)日：2012-06-21

申请号：PCT/EP2011/070824

申请日：2011-11-23

Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG ,  SELDERS, Peter ,  ROßBERG, Andreas ,  SCHMIDT, Dieter ,  BERLINGER, Andrea

Inventor： SELDERS, Peter ,  ROßBERG, Andreas ,  SCHMIDT, Dieter ,  BERLINGER, Andrea

IPC: G01L7/08 ,  G01L9/00

CPC classification number: G01L7/00 ,  B23K31/02 ,  G01L9/0044 ,  G01L9/0075

Abstract: Ein Verfahren zum Herstellen eines Drucksensors, umfasst: Bereitstellen eines keramischen Grundkörpers, einer keramischen Messmembran, und eines Zwischenrings; Bereitstellen eines Aktivhartlotmaterials mittels Gasphasenabscheidung zumindest auf einem ersten Oberflächenabschnitt einer ersten Oberfläche und auf einem zweiten Oberflächenabschnitt einer zweiten Oberfläche, wobei die erste Oberfläche eine Oberfläche des Grundkörpers ist, die mit dem Zwischenring mittels des Aktivhartlots zu verbinden ist, oder eine Oberfläche des Zwischenrings, die mittels des Aktivhartlots mit dem Grundkörper zu verbinden ist; wobei die zweite Oberfläche eine Oberfläche der Messmembran ist, die mit dem Zwischenring mittels des Aktivhartlots zu verbinden ist, oder Oberfläche des Zwischenrings, die mittels des Aktivhartlots mit dem zweiten Keramikkörper zu verbinden ist; Positionieren des Zwischenrings zwischen der Messmembran und dem Grundkörper; und Erhitzen des Aktivhartlots in einem Lötprozess, wobei erfindungsgemäß der Zwischenring während des Lötprozesses im Wesentlichen ein Festkörper bleibt.

Abstract translation: 一种制造压力传感器，的方法，包括：提供陶瓷基体，陶瓷测量膜片和中间环; 提供了沉积在至少第一表面的第一表面部分和第二表面，其中所述第一表面是所述基体，这是通过活性钎焊料来连接到中间环，或中间环的表面上，表面的第二表面部分的Aktivhartlotmaterials蒸气，其 是由与基体的活性钎料的方式连接; 其中，所述第二表面是所述测量膜的表面上，通过活性钎焊焊料，或在中间环，这是为了通过与第二陶瓷体活性钎料的方式连接的表面的方式连接到中间环; 测量膜和基体之间的中间环的位置; 且其中根据本发明在焊接过程中加热活性钎料，中间环是在焊接过程期间基本上固体状态。

公开(公告)号：WO2014082807A1

公开(公告)日：2014-06-05

申请号：PCT/EP2013/072573

申请日：2013-10-29

Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG

Inventor： DREWES, Ulfert ,  PONATH, Nils ,  ROßBERG, Andreas ,  SCHMIDT, Elke

IPC: G01L9/00 ,  G01L19/06

CPC classification number: G01L19/06 ,  G01L9/0044 ,  G01L19/0618

Abstract: Eine Druckmesszelle (20) weist eine elastische Messmembran (21) auf, wobei die Messmembran (21) auf einer ersten Seite mit einem ersten Druck und auf einer der ersten Seite abgewandten, zweiten Seite mit einem zweiten Druck beaufschlagbar ist, wobei die Messmembran in Abhängigkeit einer Differenz zwischen dem ersten Druck und dem zweiten Druck auslenkbar ist, wobei die Messmembran ein erstes Volumen, welchem die erste Seite der Messmembran zugewandt ist, von einem zweiten Volumen, welchem die zweite Seite der Messmembran zugewandt ist, druckdicht trennt, wobei die Druckmesszelle weiterhin einen Wandler aufweist, zum Wandeln der druckabhängigen Auslenkung der Messmembran in ein elektrisches oder optisches Signal, dadurch gekennzeichnet, dass die Messmembran zumindest in einem radialen Randbereich (24), in welchem im ausgelenkten Zustand der Messmembran unter Druckbeaufschlagung Zugspannungsmaxima auftreten, im Gleichgewichtszustand der Messmembran zumindest an der Oberfläche der Messmembran Druckspannungen vorliegen.

Abstract translation: 压力测量单元（20）包括弹性测量膜片（21），其特征在于从第一侧背对与第一压力和在第一侧上的测量膜片（21），具有第二压力的第二侧可以被应用，其中，在依赖的测量膜片 所述第一压力和所述第二压力之间的差异可被偏转，其中所述测量膜，其中所述测量膜片的第一侧朝向从第二体积，其中，面向所述测量膜片的第二侧，压力密闭的方式的第一体积，其中，所述压力测量单元进一步 具有用于测量膜片的压力相关的偏转转换成电信号或光信号的转换器，其特征在于所述测量膜片至少在径向轮缘部（24），其中在测量膜片的偏转状态下加压Zugspannungsmaxima发生，在测量膜片的平衡状态时，至少 测量的表面上的 本发明的膜的压缩应力。

公开(公告)号：WO2014009071A1

公开(公告)日：2014-01-16

申请号：PCT/EP2013/061812

申请日：2013-06-07

Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG

Inventor： PONATH, Nils ,  ROßBERG, Andreas ,  SCHMIDT, Elke

IPC: B23K1/00 ,  B23K1/19 ,  C04B37/00 ,  G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0075 ,  B23K1/0008 ,  B23K1/19 ,  C04B37/003 ,  C04B37/006 ,  C04B2237/122 ,  C04B2237/126 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/55 ,  C04B2237/597 ,  C04B2237/708 ,  C04B2237/72 ,  Y10T403/479

Abstract: Eine Baugruppe umfasst zwei Keramikkörper (1, 2, die mittels einer Fügestelle (3-5) verbunden sind, die ein Aktivhartlot (5) aufweist, wobei das Aktivhartlot (5), ein zusammenhängendes Kernvolumen aufweist, das von den Keramikkörpern (1, 2) jeweils mindestens 1 μιη, insbesondere mindestens 2 μιη beabstandet ist, wobei die Fügestelle (3-5) Grenzschichten (3, 4) aufweist, die an die Keramikkörper (1, 2) grenzen, wobei das Kernvolumen, welches mindestens 50% des Volumens der Fügestelle (3-5) umfasst, frei von kristallinen Phasen mit einer Größe von mehr als 6 pm, insbesondere von mehr als 4 μιη, vorzugsweise von mehr als 2 μιη ist.

Abstract translation: 一种组件，包括两个陶瓷体（1，2，其中（由联合3-5装置）被连接时，包含活性钎料（5），其中，活性钎焊料（5），一个连续的芯体积包括（陶瓷体的1,2 ）各至少1 muiotaeta，特别是至少2 muiotaeta间隔开，其中，所述关节（3-5）边界层（3,4）施加到陶瓷体（1，边界2），其中所述芯体积是体积的至少50％的 包括关节（3-5），不含结晶相的具有尺寸超过6时，特别是超过4 muiotaeta的，优选大于2 muiotaeta的。

公开(公告)号：WO2014072193A1

公开(公告)日：2014-05-15

申请号：PCT/EP2013/072475

申请日：2013-10-28

Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG ,  FRIEDRICH-SCHILLER-UNIVERSITÄT JENA

Inventor： ROßBERG, Andreas ,  SCHMIDT, Elke ,  RETTENMAYR, Markus ,  SIEGMUND, Peter

IPC: C04B37/00 ,  G01L9/00 ,  B23K35/32 ,  C22C14/00 ,  C22C16/00

CPC classification number: B23K35/32 ,  B23K1/0008 ,  B23K1/19 ,  B23K1/20 ,  B23K35/325 ,  B23K35/40 ,  B23K2035/408 ,  B32B18/00 ,  C04B37/006 ,  C04B2235/9607 ,  C04B2237/122 ,  C04B2237/126 ,  C04B2237/127 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/592 ,  C04B2237/708 ,  C04B2237/72 ,  C22C16/00 ,  G01L9/0041

Abstract: Baugruppe, umfassend: zwei Keramikkörper die mittels einer Fügestelle, die ein Aktivhartlot aufweist, verbunden sind, wobei das Aktivhartlot über ein zusammenhängendes Kernvolumen, das jeweils von den Keramikkörpern mindestens 1 μm beabstandet ist, eine mittlere Komposition C K mit einer Liquidustemperatur T l (C K ) aufweist, wobei die Komposition C K einen Wärmeausdehnungskoeffizienten a(C K ) aufweist, für den gilt a(C K ) = m. a(K), wobei m ≤ 1,5, insbesondere m 5 1,3 und bevorzugt m ≤ 1,2, wobei a(K) der mittlere Wärmeausdehnungskoeffizient des keramischen Werkstoffs der Keramikkörper ist, wobei die Fügestelle Grenzschichten aufweist, die an die Keramikkörper grenzen, dadurch wobei mindestens eine der Grenzschichten, die außerhalb des Kernvolumens liegt, eine mittlere Komposition C G mit einer Liquidustemperatur T 1 ( C G ) aufweist, die nicht weniger als 50 K, vorzugsweise nicht weniger als 100 K, und besonders bevorzugt nicht weniger als 200 K unter der Liquidustemperatur T l (C K ) der mittleren Komposition C K des Kernvolumens liegt.

Abstract translation: 一种组件，包括：其通过接头连接的两个陶瓷体，其具有活性钎料，其特征在于，一个连续的芯体积为至少1微米从每个陶瓷体的间隔上的活性钎料，具有液相线温度T1（CK）的平均组成CK具有 其中所述组合物CK具有热膨胀系数的（CK），用于其中施加（CK）=米。 一（K），其中m≤1.5，特别是米5 1.3和优选地，M≤1.2，其中A（K）为陶瓷主体，其中，所述接合界面层接合在所述的陶瓷材料的热膨胀系数平均 边界的陶瓷体，其特征在于其中所述边界层中的至少一个，其位于芯体之外，平均组成CG具有液相线温度T1（CG），它是不小于50 K，优选不小于100 K，和更优选不小于200 低于液相线温度T1（CK）K是芯体积的平均组成CK。

公开(公告)号：WO2014009070A1

公开(公告)日：2014-01-16

申请号：PCT/EP2013/061809

申请日：2013-06-07

Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG

Inventor： PONATH, Nils ,  ROßBERG, Andreas ,  SCHMIDT, Elke

IPC: B23K1/00 ,  B23K1/19 ,  C04B37/00 ,  G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0072 ,  B23K1/0008 ,  B23K1/0016 ,  B23K1/19 ,  C04B37/006 ,  C04B2237/12 ,  C04B2237/122 ,  C04B2237/126 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/55 ,  C04B2237/597 ,  C04B2237/708 ,  C04B2237/72 ,  G01L9/0044 ,  G01L9/0075 ,  Y10T403/479

Abstract: Eine Baugruppe umfasst einen ersten und einen Keramikkörper ( 1, 2), welche mittels einer Fügestelle die ein Aktivhartlot (5) aufweist, verbunden sind, wobei das Aktivhartlot (5), gemittelt über ein zusammenhängendes Hauptvolumen, das mindestens 50% des Volumens der Fügestelle umfasst, eine mittlere Komposition C H mit einer Liquidustemperatur T,(C H ) aufweist, wobei erfindungsgemäß ein Randbereich der Fügestelle, der mindestens einen der Keramikkörper ( 1, 2) berührt eine mittlere Komposition CR mit einer Liquidustemperatur T,(C R ) aufweist, die nicht weniger als 20 K, vorzugsweise nicht weniger als 50 K, und besonders bevorzugt nicht weniger als 100 K über der Liquidustemperatur T | (C H ) der mittleren Komposition C H des Hauptvolumens liegt.

Abstract translation: 包括一个第一和一个陶瓷体的组件（1,2），其具有的活性钎料（5）连接，其特征在于，（5）平均超过一个连贯的主音量的活性钎料，至少50％的接头的体积的接头装置 包括具有液相线温度T的平均组成CH，（CH），其特征在于，根据本发明，接头的一个边缘区域中，包括所述陶瓷体中的至少一个（1，2）触摸具有液相线温度T CR的平均组成，（CR），其不 小于20 K，优选不小于50 K，并且特别优选不小于100 k中的液相线温度T以上|主音量的平均组成的（CH）为CH。

公开(公告)号：WO2014198490A1

公开(公告)日：2014-12-18

申请号：PCT/EP2014/060186

申请日：2014-05-19

Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG

Inventor： PONATH, Nils ,  ROßBERG, Andreas

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0072 ,  B23K1/0016 ,  B23K1/19 ,  B23K2203/52 ,  C23C8/16 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/14 ,  C23C14/34 ,  G01L9/0075

Abstract: Eine Druckmesszelle (1) weist eine keramische Messmembran (2) und einen keramischen Gegenkörper (4) auf, wobei die Messmembran (2) mit dem Gegenkörper (4) unter Bildung einer Druckkammer zwischen der Messmembran und dem Gegenkörper druckdicht gefügt ist, wobei die Druckmesszelle (1) weiterhin einen kapazitiven Wandler zum Erfassen einer druckabhängigen Verformung der Messmembran (2) aufweist, welcher mindestens eine an der Messmembran angeordnete Membranelektrode (8) und mindestens eine gegenkörperseitige Elektrode (10, 12) aufweist, wobei erfindungsgemäß mindestens eine Membranelektrode (2) ein Titanoxid aufweist.

Abstract translation: 压力测量单元（1）包括陶瓷测量膜片（2）和陶瓷反主体（4），其中，所述测量膜片（2）与对置体（4）接合，以形成测量膜和反身压力密闭的方式之间的压力室，其中所述压力测量单元 （1）还包括电容传感器，用于检测测量膜片的压力变化的变形（2）具有至少一个被布置在测量隔膜膜片电极（8）和至少一个抵靠主体侧电极（10，12），根据本发明的至少一个膜电极（2） 包括钛氧化物。

公开(公告)号：WO2014183960A1

公开(公告)日：2014-11-20

申请号：PCT/EP2014/058098

申请日：2014-04-22

Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG

Inventor： PONATH, Nils ,  ROßBERG, Andreas

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0075 ,  B23K35/0238 ,  B23K35/3606 ,  C04B37/006 ,  C04B2237/122 ,  C04B2237/127 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/592 ,  C04B2237/62

Abstract: Eine Druckmesszelle (1), umfasst: eine keramische Messmembran (2) und einen keramischen Gegenkörper (4), wobei die Messmembran mit dem Gegenkörper unter Bildung einer Druckkammer zwischen der Messmembran und dem Gegenkörper mittels eines Aktivhartlots (6) druckdicht gefügt ist, wobei die Druckmesszelle (1) weiterhin an einer Oberfläche der Messmembran (2) und/oder des Gegenkörpers (4) eine Lotstoppschicht aufweist, wobei die Lotstoppschicht ein Metalloxid oder einereduzierte Form des Metalloxids aufweist, wobei das Metalloxid mindestens eine Oxidationsstufe aufweist, die unter Annahme eines Aktivitätskoeffizienten von R akt =1 bei einer inversen Temperatur von 8⋅10 .4 /K einen Sauerstoffkoexistenzzersetzungsdruck von nicht weniger als10 .23. bar und nicht mehr als10 -12. bar aufweist undwelche unter Annahme eines Aktivitätskoeffizienten von R akt = 1 bei einer inversen Temperatur von 9.10 -4 /K einen Sauerstoffkoexistenzzersetzungsdruck von nicht weniger als10 -27 bar und nicht mehr als10 -15 bar aufweist,geeignete Metalloxide sind beispielsweise Oxide von Chrom,Wolfram oder Titan.

Abstract translation: 压力测量单元（1），包括：陶瓷测量膜片（2）和陶瓷反主体（4），其中，所述测量膜片接合到计数器体，形成测量膜与对置体之间的压力室通过活性钎焊的装置（6）压力密封，其中，所述 压力测量单元（1）还对测量膜片（2）和/或所述反体（4）具有阻焊层的一个表面上，其特征在于，阻焊层包含金属氧化物或金属氧化物的还原形式，其中所述金属氧化物包含至少一种氧化态，其中，假设活度系数 的Rakt = 1在逆8⋅10.4/ K的温度不低于als10.23的氧共存分解压力。 酒吧和不als10-12。 杆具有andwhich假设Rakt = 1的活度系数与9.10-4 / K不小于als10-27巴的氧共存分解压力和不再逆温度具有als10-15巴，合适的金属氧化物是，例如，铬，钨，或钛的氧化物 ，

公开(公告)号：WO2013152927A3

公开(公告)日：2013-10-17

申请号：PCT/EP2013/055618

申请日：2013-03-19

Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG

Inventor： BURGARD, Martin ,  DREWES, Ulfert ,  PONATH, Nils ,  ROßBERG, Andreas ,  SCHMIDT, Elke

IPC: G01L9/00 ,  G01L9/12

Abstract: Eine Druckmesszelle 1, umfasst: eine keramische Messmembran 2 und einen keramischen Gegenkörper 4, wobei die Messmembran mit dem Gegenkörper unter Bildung einer Druckkammer zwischen der Messmembran und dem Gegenkörper mittels eines Aktivhartlots 6 druckdicht gefügt ist, wobei die Druckmesszelle 1 weiterhin an einer Oberfläche der Messmembran 2 und/oder des Gegenkörpers 4 einen Lotstopp aufweist, welcher verhindert, dass das Aktivhartlot sich über den Lotstopp hinaus radial einwärts in die Druckkammer erstreckt, wobei der Lotstopp erfindungsgemäß eine Beschichtung 26 aufweist, die Kohlenstoff, insbes. Graphit oder Ruß, Silizium oder Siliziumcarbid umfasst.