公开(公告)号：WO2015057631A1

公开(公告)日：2015-04-23

申请号：PCT/US2014/060377

申请日：2014-10-14

Applicant: CORNING INCORPORATED

Inventor： HAWTOF, Daniel Warren ,  MOZDY, Eric John

IPC: C03B19/14 ,  C03C23/00

CPC classification number: C03B19/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1492 ,  C03C23/0025 ,  Y10T428/24777

Abstract: A porous soot sheet is formed using a roll-to-roll glass soot deposition and sintering process. The soot sheet formation involves depositing glass soot particles on a deposition surface to form a supported soot layer, removing the soot layer from the deposition surface to form a soot sheet, and heating a portion of the soot sheet to locally-sinter the glass soot particles and form a porous soot part having a sintered peripheral edge.

Abstract translation: 使用辊对辊玻璃烟灰沉积和烧结工艺形成多孔烟炱片。 烟叶片形成包括在沉积表面上沉积玻璃烟灰颗粒以形成支撑的烟灰层，从沉积表面除去烟灰层以形成烟炱片，并且加热烟炱纸的一部分以将玻璃烟灰颗粒局部烧结 并形成具有烧结周边边缘的多孔烟灰部分。

公开(公告)号：WO2011147906A1

公开(公告)日：2011-12-01

申请号：PCT/EP2011/058624

申请日：2011-05-26

Applicant: HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG ,  LEHMANN, Walter ,  KAYSER, Thomas ,  TROMMER, Martin ,  NASAROW, Christian

Inventor： LEHMANN, Walter ,  KAYSER, Thomas ,  TROMMER, Martin ,  NASAROW, Christian

IPC: C03B19/09 ,  C03B19/14 ,  C03C17/02

CPC classification number: C03B19/1492 ,  C03C17/004 ,  C03C17/02 ,  C03C21/003 ,  C03C23/0025 ,  C03C2217/213 ,  C03C2218/1525

Abstract: Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung eines Quarzglastiegels mit einer Innenschicht aus transparentem, blasenarmem und reinem Quarzglas mit langer Standzeit anzugeben. Diese Aufgabe gemäß der Erfindung durch ein Verfahren gelöst, das folgende Verfahrensschritte umfasst: (a) Bereitstellen eines eine Innenseite aufweisenden Tiegelbasiskörpers aus Quarzglas, (b) Erzeugen einer porösen SiO 2 -Sootschicht auf mindestens einer Teilfläche der Innenseite des Tiegelbasiskörpers durch Gasphasenabscheidung, Trocknen der porösen SiO 2 -Sootschicht zur Reduzierung des Hydroxylgruppengehalts und Sintern der Sootschicht zu der Innenschicht aus transparentem Quarzglas in einer wasserstoffarmen Atmosphäre, so dass sich in dem Quarzglas der Innenschicht ein Hydroxylgruppengehalt von weniger als 100 Gew.-ppm einstellt.

Abstract translation: 本发明的基本目的是提供一种具有透明石英玻璃blasenarmem的内层和纯具有使用寿命长制造石英玻璃坩埚的方法。 根据本发明通过包括以下步骤的方法解决了这个问题：（a）提供具有石英玻璃坩埚基体上的内侧，（b）关于坩埚基体的通过气相沉积在内部的至少一个部分区域产生多孔的SiO 2烟灰层，干燥多孔 二氧化硅烟灰层，以减少羟基和烧结煤烟层，以透明石英玻璃的内侧层中的贫氢气氛中，使得在内层的石英玻璃小于100重量ppm的羟基含量。

公开(公告)号：WO2011054574A1

公开(公告)日：2011-05-12

申请号：PCT/EP2010/063438

申请日：2010-09-14

Applicant: HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG ,  SCHUSTER, Anke ,  SOWA, Rene ,  TROMMER, Martin ,  PEPER, Udo

Inventor： SCHUSTER, Anke ,  SOWA, Rene ,  TROMMER, Martin ,  PEPER, Udo

IPC: C03B19/14 ,  C03B37/014

CPC classification number: C03B19/1492 ,  C03B37/01493 ,  Y10T428/22 ,  Y10T428/2918

Abstract: Bei einem bekannten Verfahren zur Herstellung eines Quarzglaszylinders wird durch Abscheiden von SiO 2 -Partikeln auf einer Zylindermantelfläche eines um seine Längsachse rotierenden Trägers, der eine Schicht aus Siliciumcarbid (SiC-Schicht) aufweist, ein poröses Sootrohr hergestellt, das zu dem Quarzglaszylinder gesintert wird. Um hiervon ausgehend einen Träger mit hoher Bruchfestigkeit anzugeben, der sich einerseits leicht entfernen lässt und von dem andererseits eine geringe Kontaminationsgefahr für den Sootkörper ausgeht, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass die SiC-Schicht vor dem Abscheiden der SiO 2 -Partikel bei hoher Temperatur in einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre behandelt wird, derart, dass durch Oxidation eine SiO 2 -Schutzschicht mit einer Dicke von mindestens 0,1 μm erzeugt wird.

Abstract translation: 在用于制造石英玻璃圆柱体公知的方法，多孔烟炱管是通过在绕具有碳化硅（SiC）层，其被烧结到石英玻璃圆柱体的层其纵向支撑件的气缸表面上沉积SiO 2个颗粒形成。 以指示与高压碎强度从该开始，其可以在一方面和另一方面容易地除去载体，所述烟灰体前进的污染的风险较低，本发明提出的SiO 2个颗粒在高温下的沉积之前在SiC层的含氧 具有的厚度至少为0.1微米的在SiO 2保护层是由氧化产生的气氛被处理这样。

公开(公告)号：WO02051759A2

公开(公告)日：2002-07-04

申请号：PCT/EP0114997

申请日：2001-12-18

Applicant: HERAEUS TENEVO AG ,  KOTULLA GERHARD ,  RUPPERT KLAUS

Inventor： KOTULLA GERHARD ,  RUPPERT KLAUS

IPC: G02B6/02 ,  C03B19/14 ,  C03B37/014 ,  C03B37/018 ,  C03B

CPC classification number: C03B37/01493 ,  C03B19/1484 ,  C03B19/1492 ,  C03B37/01486

Abstract: The invention relates to a method for producing a silica glass tube which is characterized by depositing SiO>2 2

Abstract translation: 在用于制造石英玻璃管的已知方法是在细长的SiO> 2 <颗粒，围绕其纵向轴线旋转的载体上以形成多孔坯件具有沉积的圆柱形内孔，和空白然后，在使用中的悬浮液在烘箱中垂直方向悬挂 接合在釉面空白收缩部的内孔的上部区域中设置的凹部。 为了此基础上提供，其中，即使重坯料可在不复杂的保持装置证明，亦无须内孔的污染的风险被保持的方法，本发明提出的是，收缩（6B）由一氧化硅沉积期间成形的内孔（7） > 2 <颗粒产生，并且对于玻璃化至（6b）的支持和在（7）突出的悬挂装置中的圆柱形内孔，否则无接触的方式收缩（8; 9; 10）被使用。

公开(公告)号：WO2011126637A3

公开(公告)日：2015-07-09

申请号：PCT/US2011027157

申请日：2011-03-04

Applicant: CORNING INC ,  NONI DOUG MILES JR

Inventor： NONI DOUG MILES JR

IPC: C03B19/14

CPC classification number: C03B19/1492

Abstract: As a precursor to forming a glass sheet, a soot layer (154) is formed on a deposition surface (122) using a roll-to-roll glass soot deposition process. A soot layer-separating device (160) is configured to bring a stream of gas into contact with at least a portion of a free surface of the soot layer. The impinging gas stream affects local thermal expansion stresses at the soot layer/deposition surface interface, which separates the soot layer (154) from the deposition surface (122).

Abstract translation: 作为形成玻璃板的前体，使用辊对辊玻璃烟灰沉积工艺在沉积表面（122）上形成烟灰层（154）。 烟灰层分离装置（160）构造成使气流与烟灰层的自由表面的至少一部分接触。 撞击气流影响烟灰层/沉积表面界面处的局部热膨胀应力，其将烟灰层（154）与沉积表面（122）分离。

公开(公告)号：WO2011008911A1

公开(公告)日：2011-01-20

申请号：PCT/US2010/042062

申请日：2010-07-15

Applicant: CORNING INCORPORATED ,  HAWTOF, Daniel, W

Inventor： HAWTOF, Daniel, W

IPC: C03B19/14

CPC classification number: C03B19/14 ,  C03B19/1492 ,  Y10T428/315

Abstract: A glass sheet is formed using a roll-to-roll glass soot deposition and sintering process. The glass sheet formation involves forming a first glass soot layer (152) on a deposition surface (122) of a soot-receiving device (120), removing the first glass soot layer (152) from the deposition surface (122), and forming a second glass soot layer (162) on the unsupported first glass soot layer. The resulting composite glass soot sheet is heated to form a sintered glass sheet (156). The glass sheet can be a substantially homogeneous glass sheet or a composite glass sheet having layer-specific attributes.

Abstract translation: 使用辊对辊玻璃烟灰沉积和烧结工艺形成玻璃板。 玻璃板形成包括在烟灰接收装置（120）的沉积表面（122）上形成第一玻璃烟灰层（152），从沉积表面（122）去除第一玻璃烟灰层（152），并形成 位于未支撑的第一玻璃烟灰层上的第二玻璃烟灰层（162）。 将得到的复合玻璃烟炱片加热，形成烧结玻璃片（156）。 该玻璃片可以是具有层特定属性的基本均匀的玻璃片或复合玻璃片。

公开(公告)号：WO2010148267A1

公开(公告)日：2010-12-23

申请号：PCT/US2010/039107

申请日：2010-06-18

Applicant: CORNING INCORPORATED ,  COFFEY, Calvin, T. ,  HAWTOF, Daniel, W. ,  ZINN, Stanley

Inventor： COFFEY, Calvin, T. ,  HAWTOF, Daniel, W. ,  ZINN, Stanley

IPC: C03B19/14

CPC classification number: C03B19/1453 ,  C03B19/1492

Abstract: An ultra-thin glass sheet is formed using a roll-to-roll glass soot deposition and sintering process. The sintering involves initially heating and sintering one or more central segments of a glass soot sheet, and progressively heating and sintering glass soot sheet segments that are located laterally or axially adjacent to previously-sintered segments such that, along respective width directions of the glass soot sheet, only a portion of the width is sintered at a given time interval during the heating. A suitable soot sheet-sintering device is shaped as a chevron having first and second legs (212) and (214) that are joined at an apex (216).

Abstract translation: 使用辊对辊玻璃烟灰沉积和烧结工艺形成超薄玻璃板。 烧结包括最初加热和烧结玻璃烟炱片的一个或多个中心部分，并逐渐加热和烧结玻璃烟炱片段，所述玻璃烟炱片段横向或轴向邻近先前烧结的片段，使得沿玻璃烟炱的相应宽度方向 在加热期间，只有一部分宽度以给定的时间间隔被烧结。 合适的烟灰片烧结装置成形为具有在顶点（216）处连接的第一和第二腿部（212）和（214）的人字形。

公开(公告)号：WO2008136924A1

公开(公告)日：2008-11-13

申请号：PCT/US2008/005171

申请日：2008-04-22

Applicant: CORNING INCORPORATED ,  BRADY, Michael, D. ,  HAWTOF, Daniel, W.

Inventor： BRADY, Michael, D. ,  HAWTOF, Daniel, W.

IPC: C03B19/14

CPC classification number: C03B19/1492 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/02 ,  C03B2201/06 ,  C03B2207/52

Abstract: An apparatus and process for making glass soot sheet and sintered glass sheet. Glass soot particles are deposited on a curved deposition surface (103) of a rotating drum to form a soot sheet. The soot sheet is then released from the deposition surface. The soot sheet can tie sintered into a consolidated glass. The soot sheet and the sintered glass can be sufficiently long and flexible to be reeled into a roll (117).

Abstract translation: 制造玻璃烟灰板和烧结玻璃板的设备和方法。 玻璃烟灰颗粒沉积在旋转鼓的弯曲沉积表面（103）上以形成烟炱片。 然后将烟灰片从沉积表面释放。 烟炱片可以烧结成固结的玻璃。 烟炱片和烧结玻璃可以足够长并且柔性以卷成卷（117）。

公开(公告)号：WO2002085808A1

公开(公告)日：2002-10-31

申请号：PCT/JP2002/003951

申请日：2002-04-19

Applicant: 株式会社ニコン ,  小峰 典男 ,  吉田 明子 ,  神保 宏樹 ,  藤原 誠志

Inventor： 小峰 典男 ,  吉田 明子 ,  神保 宏樹 ,  藤原 誠志

IPC: C03C3/06

CPC classification number: C03C4/0071 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1492 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03B2207/00 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2203/40 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/46 ,  C03C2203/52 ,  C03C2203/54 ,  G02B1/02 ,  G02B13/143 ,  G03F7/70241 ,  G03F7/70958

Abstract: A quartz glass member, wherein when the composition thereof is represented by SiOx, x takes a value of 1.85 to 1.95, the concentration of hydrogen molecules contained therein is 1 X 10 molecules/cm to 5 X 10 molecules/cm , and the value of (A-B) is 0.002 cm or less, where A represents the absorption coefficient observed immediately before the termination of irradiation when the irradiation of ArF excimer laser light is carried out in 1 X 10 pulses at one pulse energy density of 2 mJ/cm and B represents a second absorption coefficient observed 600 seconds after the stop of the above ArF excimer laser light irradiation. The use of the quartz glass member in optical systems for illumination and projection in a projection aligner allows the reduction of variation in the illuminance in an exposure region on a reticle plane or a wafer, which leads to a uniform exposure.

Abstract translation: 石英玻璃构件，当其组成由SiO x表示时，x取1.85〜1.95的值，其中所含的氢分子的浓度为1×10 16分子/ cm 3〜5×10 18 >分子/ cm 3，（AB）的值为0.002cm -1以下，其中A表示在ArF准分子激光的照射下进行照射结束之前观察到的吸收系数 1×10 4脉冲，脉冲能量密度为2mJ / cm 2，B表示在停止上述ArF准分子激光照射后600秒观察到的第二吸收系数。 在投影对准器中用于照明和投影的光学系统中使用石英玻璃构件允许减少在掩模版平面或晶片上的曝光区域中的照度的变化，这导致均匀的曝光。

公开(公告)号：WO00055689A1

公开(公告)日：2000-09-21

申请号：PCT/US2000/003588

申请日：2000-02-11

IPC: C03B19/14 ,  C03B20/00 ,  C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  G03F1/00 ,  G03F7/20 ,  G03F1/14

CPC classification number: C03C4/0085 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1469 ,  C03B19/1492 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/21 ,  C03B2207/02 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/20 ,  C03B2207/32 ,  C03B2207/52 ,  C03B2207/54 ,  C03B2207/66 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/21 ,  G03F1/60

Abstract: The invention includes methods of making lithography photomask blanks. The invention also includes lithography photomask blanks and preforms for producing lithography photomask. The method of making a lithography photomask blank includes providing a soot deposition surface, producing SiO2 soot particles and projecting the SiO2 soot particles toward the soot deposition surface. The method includes successively depositing layers of the SiO2 soot particle on the deposition surface to form a coherent SiO2 porous glass preform body comprised of successive layers of the SiO2 soot particles and dehydrating the coherent SiO2 glass preform body to remove OH from the preform body. The SiO2 is exposed to and reacted with a fluorine containing compound and consolidated into a nonporous silicon oxyfluoride glass body with parallel layers of striae. The method further includes forming the consolidated silicon oxyfluoride glass body into a photomask blank having a planar surface with the orientation of the striae layer parallel to the photomask blank planar surface.

Abstract translation: 本发明包括制造光刻光掩模坯料的方法。 本发明还包括光刻光掩模坯料和用于生产光刻光掩模的预成型件。 制造光刻光掩模坯料的方法包括提供烟灰沉积表面，产生SiO 2烟灰颗粒并将SiO 2烟灰颗粒投射到烟灰沉积表面。 该方法包括在沉积表面上依次沉积SiO 2烟灰颗粒层，以形成由SiO 2烟灰颗粒的连续层组成的粘结SiO 2多孔玻璃预制体，并使相干的SiO 2玻璃预制体脱水以从预成型体中去除OH。 将SiO 2暴露于含氟化合物并与其反应，并固化成具有平行的条纹层的无孔氟硅氧化物玻璃体。 该方法还包括将固化的氟氧化硅玻璃体形成为具有平坦表面的光掩模坯料，其中条纹层的取向平行于光掩模坯料平面。