Abstract:
Es wird ein Ultraschallbonder mit einem Bondwerkzeug (13), einer Drahtzuführeinrichtung (21) und einer Schneidvorrichtung (22) beschrieben. Zum Abtrennen eines gebonderten Drahtes mit Hilfe der Schneidvorrichtung (22) wird die Schneidvorrichtung (22) über eine kombinierte Bewegung abgesenkt, wobei das Absenken der Schneidvorrichtung (22) in eine Zwischenstellung durch einen Z- Achsen-Antrieb gemeinsam mit dem Bondwerkzeug und der Drahtzuführeinrichtung erfolgt, während die Bewegung von der Zwischenstellung bis in die Abtrennstellung von einer gesonderten Antriebseinrichtung (Aktor) (20) übernommen wird. Auf diese Weise lässt sich eine präzise und schnelle Absenk/Abtrennbewegung der Schneidvorrichtung erzielen.
Abstract:
Es wird ein Ultraschallbonder beschrieben. Um die Durchführung eines Schertests in Bezug auf eine mit dem Ultraschallbonder hergestellte Bondverbindung weitgehend frei von Nebeneffekten zu ermöglichen, ist der Wandler (5) des Bondkopfes torsionsfrei vertikal beweglich geführt. Der Bondkopf ist in einer Lagereinheit (2) gelagert, welche über mindestens eine Biegezone (3) mit der Haupthalterungseinrichtung (1) des Ultraschallbonders verbunden ist. Mit Hilfe einer Dehnungsmesseinrichtung (4) wird die Verformung der Biegezone bei Aufbringung einer Prüf kraft (Querkraft) gemessen. Die gemessene Scherkraft wird mit einer für die Festigkeit der Drahtbondverbindung charakteristischen Scherkraft verglichen, um die Qualität der Drahtbondverbindung zu ermitteln. Wahlweise kann der Ultraschallbonder ferner mit Mitteln zur Durchführung eines Pulltests versehen sein.
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Qualitätskontrolle beim Ultraschall-Bonden, bei welchem eine Transducer-Bondwerkzeug-Einheit und ein Ultraschall-Generator verwendet werden und bei dem während des Bondens mittels eines oder mehrerer Sensoren Messsignale von einem oder mehreren, während des Bondens variablen Parametern zur Beurteilung der Bondqualität und/oder zur Beeinflussung des Bondens erfasst werden und schlägt zur vorteilhaften Weiterbildung vor, dass während des Bondens zumindest ein den Zeit-Geschwindigkeit-Verlauf der Spitze des Ultraschall-Werkzeuges in deren Schwingungsrichtung repräsentierendes Geschwindigkeitsverlauf-Messsignal erfasst wird. Die Erfindung betrifft auch eine Bondvorrichtung, die zur Durchführung des Verfahrens geeignet ist. Die Erfindung betrifft außerdem weitere Verfahren zur Qualitätskontrolle beim Ultraschall-Bonden und zur Durchführung dieser Verfahren geeignete Bondvorrichtungen.
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ultraschallbonden, wobei in einem oder mehreren Ultraschalltransducern (2.1-2.4) zwei longitudinale, sich in einer gemeinsamen, parallel zu einem Substrat orientierten Wirkebene ausbreitende Ultraschallwelle angeregt werden, die durch Ultraschall leitende Arme (4.1-4.4) aus verschiedenen Raumrichtungen auf eine gemeinsame Verbindungsstelle der Arme (4.1-4.4) geleitet werden, und an der Verbindungsstelle ein an dieser direkt oder indirekt angeordnetes Ultraschallwerkzeug in zwei- oder dreidimensionale Schwingungen versetzen, wobei wenigstens ein Ultraschalltransducer (2.1-2.4) eine Ultraschallwelle mit einem ersten harmonischen Schwingungsanteil und mit einem zweiten Schwingungsanteil anregt.
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Bondvorrichtung, insbesondere zur Herstellung von Bondverbindungen zwischen elektrischen Leitern aus Draht- oder Bandmaterial und Kontaktstellen von Substraten wie insbesondere von elektrischen Schaltungen, wobei die Bondvorrichtung einen um eine, insbesondere senkrechte, geometrische Drehachse (D) drehbaren Bondkopf (2) aufweist, an dem ein Bondwerkzeug (5) und ein Ultraschalltransducer (35) zur Ultraschall-Schwingungsanregung des Bondwerkzeugs (5) vorgesehen sind. Um eine Bond Vorrichtung der eingangs genannten Art vorteilhaft weiterzubilden, wird vorgeschlagen, dass sich die Haupterstreckungsrichtung (36) des Ultraschall transducers (35) und/oder dessen Erstreckungsrichtung in Richtung der Achse des minimalen Massenträgheitsmoments parallel zu der geometrischen Drehachse (D) des Bondkopfes (2) erstreckt. Gemäß weiteren Aspekten betrifft die Erfindung ebenfalls eine Bondvorrichtung oder einen Ultraschalltransducer.
Abstract:
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Bondvorrichtung, aufweisend zumindest ein Bondwerkzeug und aufweisend eine Schneideinrichtung zum teilweisen oder vollständigen Zertrennen des Leiterquerschnittes und schlägt zur vorteilhaften Weiterbildung vor, dass auf der Schneideinrichtung (9) zumindest ein Piezoelement (17) montiert ist, da es bei Erregung mittels elektrischer Wechselspannung, vorzugsweise im Ultraschall-Frequenzbereich, zumindest einen Teilbereich der Schneideinrichtung (9), vorzugsweise zumindest eine Schneide (10) der Schneideinrichtung (9), in Schwingungen versetzt. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Herstellung elektrisch leitfähiger Verbindungen zwischen Verbindungspartnern mittels Befestigung von elektrischem Leiter an den miteinander elektrisch leitfähig zu verbindenden Verbindungspartnern durch Bondverbindungen, vorzugsweise Ultraschall-Bondverbindungen, wobei nach dem Herstellen einer gewünschten Anzahl von Bond Verbindungen zum Abtrennen eines Längenabschnittes des Leiters der Querschnitt des Leiters mittels einer Schneideinrichtung teilweise oder ganz zertrennt wird, und schlägt zur vorteilhaften Weiterbildung vor, dass die Schneideinrichtung (9), während der Leiterquerschnitt ganz oder teilweise zertrennt wird, zumindest in einem Teilbereich (20) der Schneideinrichtung (9), vorzugsweise zumindest an deren Schneide (10), in Schwingungen versetzt wird.
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Durchführung einer Vakuumprüfung an einer Verpackung, insbesondere in der Lebensmittelindustrie, umfassend die folgenden Verfahrensschritte: eine Wandung der Vakuumverpackung wird mittels einer Betätigungseinheit zu Schwingungen angeregt; die Schwingungen der zu Schwingungen angeregten Wandung werden mittels einer Erfassungseinheit messtechnisch erfasst zur Erzeugung eines Messsignals; aus dem Messsignal wird durch Abgleich mit Referenzdaten ein Qualitätsmaß bestimmt, wobei das Qualitätsmaß zu einem Vakuumisierungsgrad der Vakuumverpackung korreliert und der Vakuumisierungsgrad ein Maß für eine Druckdifferenz zwischen einem Innendruck im Inneren der Vakuumverpackung und einem von außen auf die Vakuumverpackung wirkenden Außendruck ist.
Abstract:
Die Erfindung betrifft einen Ultraschalltransducer mit wenigstens einem Sensor, insbesondere zum Einsatz bei Ultraschallbondern, wobei wenigstens ein Sensor (4,6) in/an einer Lagerung (2,3) des Ultraschalltransducers angeordnet ist, insbesondere mittels dem eine Querdehnung senkrecht zu einer sich ausbreitenden anregenden Ultraschallwelle meßtechnisch erfassbar ist.