酸化物焼結体及び該酸化物焼結体からなるスパッタリングターゲット
    2.
    发明申请
    酸化物焼結体及び該酸化物焼結体からなるスパッタリングターゲット 审中-公开
    氧化物烧结体和包含氧化物烧结体的溅射靶

    公开(公告)号:WO2016152349A1

    公开(公告)日:2016-09-29

    申请号:PCT/JP2016/054839

    申请日:2016-02-19

    Abstract: インジウム(In)、ガリウム(Ga)、亜鉛(Zn)、酸素(O)及び不可避的不純物からなる酸化物焼結体であって、前記焼結体に存在するクラックの平均長さが3μm以上、15μm以下であることを特徴とするIGZO焼結体。DCスパッタリングによる成膜時にターゲット割れやパーティクル発生を低減し、良好な薄膜を形成することができるスパッタリングターゲットを提供することを課題とする。

    Abstract translation: 该氧化物烧结体包括铟(In),镓(Ga),锌(Zn),氧(O)和不可避免的杂质,并且是具有烧结体中存在的平均裂纹长度的IGZO烧结体, 超过3μm但不大于15μm。 本发明解决了提供一种能够通过减少靶中裂纹发生而形成优异薄膜的溅射靶的问题,并且通过DC溅射进行沉积时减少了颗粒的产生。

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