TFT基板的制造方法
    9.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2017219438A1

    公开(公告)日:2017-12-28

    申请号:PCT/CN2016/091810

    申请日:2016-07-27

    Inventor: 卢马才 赵书力

    Abstract: 一种TFT基板的制造方法包括:步骤10、在基板(200)上利用第一道光罩形成TFT栅极图案(203);步骤20、在该基板(200)上利用第二道光罩形成有源层图案(305)、源漏极金属电极图案(306);步骤30、在该基板(200)上沉积钝化层(401),以及涂布光阻(402),利用第三道光罩工艺定义像素电极图案,进行刻蚀以及光阻制绒,然后沉积像素电极(501);步骤40、通过刻蚀处理或直接光阻剥离,形成像素电极图案(601)。TFT基板的制造方法提供了PR上沉积ITO有效剥离方法用于3Mask TFT制程,将会提高制程效率及降低难度,有效提升3Mask TFT制程能力。

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