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    走査機構および走査型プローブ顕微鏡
    2.
    发明申请
    走査機構および走査型プローブ顕微鏡 审中-公开
    扫描机械和扫描探针显微镜

    公开(公告)号：WO2013150624A1

    公开(公告)日：2013-10-10

    申请号：PCT/JP2012/059249

    申请日：2012-04-04

    申请人： オリンパス株式会社 ,  酒井 信明

    发明人： 酒井　信明

    IPC分类号： G01Q20/02

    CPC分类号： G01Q10/00 ,  G01Q10/04 ,  G01Q20/02 ,  G01Q30/025

    摘要： 　走査機構（１０）は、固定枠（１１）と、ＸＹ方向に移動可能なＸＹ可動部（１４）を有するＸＹステージ（１３）と、ＸＹ可動部（１４）をＸＹ方向に走査するＸＹアクチュエータを構成する圧電素子（１２Ａ，１２Ｂ）を有している。走査機構（１０）はまた、ＸＹ可動部（１４）に保持された圧電素子（２１）と、圧電素子（２１）に保持されたホルダ（２２）と、ホルダ（２２）に保持されたカンチレバー（２３）を有している。圧電素子（２１）は、カンチレバー（２３）をＺ方向に走査するＺアクチュエータを構成している。走査機構（１０）はさらに、ＸＹ可動部（１４）に保持された集光部（２５）を有している。集光部（２５）は、カンチレバー（２３）の変位を検出するための光をカンチレバー（２３）に入射させる働きをする。圧電素子（２１）と集光部（２５）は、Ｘ－Ｙ平面への投影において並ぶように配置されている。

    摘要翻译： 扫描机构（10）具有固定框架（11），XY台（13），其具有可在XY方向上移动的XY可动部分（14）和形成在XY方向上的压电元件（12A和12B） XY致动器，其在XY方向上扫描XY可动部分（14）。 扫描机构（10）还具有由XY可动部（14）保持的压电元件（21），由压电元件（21）保持的保持器（22）和由保持器（11）保持的悬臂（23） 22）。 压电元件（21）形成在Z方向扫描悬臂（23）的Z致动器。 扫描机构（10）还具有由XY可动部（14）保持的聚光单元（25）。 光聚焦单元（25）用于引起光检测悬臂（23）的入射到悬臂（23）的位移。 压电元件（21）和聚光单元（25）在投影X-Y平面上并列配置。

    MICROSCOPE OBJECTIVE MECHANICAL TESTING INSTRUMENT
    3.
    发明申请
    MICROSCOPE OBJECTIVE MECHANICAL TESTING INSTRUMENT 审中-公开
    显微镜目标机械测试仪器

    公开(公告)号：WO2013148204A1

    公开(公告)日：2013-10-03

    申请号：PCT/US2013/030918

    申请日：2013-03-13

    申请人： ASIF, Syed Amanulla Syed ,  DAMA, Rajiv ,  MAJOR, Ryan

    发明人： ASIF, Syed Amanulla Syed ,  DAMA, Rajiv ,  MAJOR, Ryan

    IPC分类号： G01Q30/02

    CPC分类号： G01N3/40 ,  G01N3/04 ,  G01N3/068 ,  G01N3/42 ,  G01N3/56 ,  G01N2203/0078 ,  G01N2203/0647 ,  G01Q30/025 ,  G01Q60/366 ,  G01Q70/02 ,  G02B7/16 ,  G02B21/248

    摘要： An objective testing module includes a module base configured for coupling with an objective turret of a microscope. The objective testing module includes a mechanical testing assembly. The mechanical testing assembly is configured to mechanically test a sample at macro scale or less, and quantitatively determine one or more properties of the sample based on the mechanical testing. The mechanical testing assembly optionally includes a probe and one or more transducers coupled with the probe. The transducer measures one or more of force applied to a sample by the probe or displacement of the probe within the sample. In operation, an optical instrument locates a test location on a sample and the objective testing module mechanically tests at the test location with the mechanical testing assembly at a macro scale or less. The mechanical testing assembly further determines one or more properties of the sample according to the mechanical test.

    摘要翻译： 客观测试模块包括被配置为与显微镜的目标转台耦合的模块基座。 客观测试模块包括机械测试组件。 机械测试组件被配置为以大规模或更小的尺寸机械测试样品，并且基于机械测试定量地确定样品的一个或多个特性。 机械测试组件可选地包括探针和与探针耦合的一个或多个换能器。 传感器测量通过探头施加到样品的力或样品内探针位移的一种或多种。 在操作中，光学仪器将测试位置定位在样品上，并且客观测试模块在机械测试组件以大规模或更小的程度在测试位置进行机械测试。 机械测试组件根据机械测试进一步确定样品的一个或多个特性。

    DISPOSITIVO DE MICROSCOPIA PROVISTO DE UNA HORQUILLA RESONANTE Y UNA PUNTA RECTILÍNEA
    4.
    发明申请
    DISPOSITIVO DE MICROSCOPIA PROVISTO DE UNA HORQUILLA RESONANTE Y UNA PUNTA RECTILÍNEA 审中-公开
    显微镜设备提供了一个共振叉和一个重整点

    公开(公告)号：WO2011012741A2

    公开(公告)日：2011-02-03

    申请号：PCT/ES2010/000297

    申请日：2010-07-12

    申请人： UNIVERSIDAD DE BARCELONA ,  PUIG VIDAL, Manuel ,  OTERO DÍAZ, Jorge

    发明人： PUIG VIDAL, Manuel ,  OTERO DÍAZ, Jorge

    CPC分类号： G01Q70/02 ,  G01Q10/045 ,  G01Q30/025 ,  G01Q30/14

    摘要： Está provisto de una horquilla resonante y una punta rectilínea fijada a una pata de la horquilla, una superficie de soporte de objetos a analizar y medios para sostener y desplazar a la horquilla, dispuestos de modo que la punta está inclinada con respecto a la superficie de soporte, siendo dicho ángulo tal que permite explorar con una punta rectilínea evitando a la vez que la horquilla entre en contacto con los objetos o el líquido donde dicho objeto podría estar sumergido, haciendo posible simultáneamente acceder visualmente a la posición del extremo de la punta rectilínea desde encima dicha superficie de soporte y que permite colocar una pluralidad de conjuntos de horquilla resonante/ punta, lo cual permite a su vez medir simultáneamente varios parámetros físicos de la superficie del objeto.

    摘要翻译：

    这是 配备有一个固定在叉子腿上的共鸣叉和直尖端，一个用于分析物体的支撑表面以及用于支撑和移动叉子的装置，其布置使得尖端位于叉子上。 相对于支撑表面倾斜，所述角度使得它允许利用直的尖端进行扫描，同时避免叉子与物体或所述物体可能被淹没的液体接触 ，同时使得可以从所述支撑表面的上方视觉地访问直线尖端的端部的位置，并且允许放置多个共振/尖端叉组件，这继而允许同时测量。 物体表面的几个物理部分。

    VORRICHTUNG UND EIN VERFAHREN ZUM SONDENMIKROSKOPISCHEN UNTERSUCHEN EINER PROBE
    5.
    发明申请
    VORRICHTUNG UND EIN VERFAHREN ZUM SONDENMIKROSKOPISCHEN UNTERSUCHEN EINER PROBE 审中-公开
    装置和方法用于检查样品探针显微镜

    公开(公告)号：WO2008019679A1

    公开(公告)日：2008-02-21

    申请号：PCT/DE2007/001468

    申请日：2007-08-20

    申请人： JPK INSTRUMENTS AG ,  SOMMER, Gunnar ,  KAMPS, Jörn

    发明人： SOMMER, Gunnar ,  KAMPS, Jörn

    IPC分类号： G12B21/22 ,  G01N13/16 ,  G02B21/08

    CPC分类号： G02B21/08 ,  B82Y35/00 ,  G01Q30/025 ,  G02B21/002

    摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum sondenmikroskopischen Untersuchen einer Probe, insbesondere zum rastersondenmikroskopischen Untersuchen. Die Vorrichtung umfasst eine Sondemikroskopeinrichtung, welche eine Probenaufnahme zum Aufnehmen einer zu untersuchenden Probe, eine Messsonde und eine Verlagerungseinheit aufweist, die konfiguriert ist, für eine sondenmikroskopische Untersuchung der Probe die Probenaufnahme und die Messsonde relativ zueinander zu verlagern, und eine Kondensorbeleuchtung sowie ein der Kondensorbeleuchtung nachgelagertes optisches System, welches konfiguriert ist, von der Kondensorbeleuchtung in einen Kondensorlichtweg abgegebenes Kondensorlicht unter wenigstens teilweiser Aufrechterhaltung von Kondensorlichtparametern, mit denen das Kondensorlicht von der Kondensorbeleuchtung abgegeben wird, in den Bereich der Probenaufnahme für eine optische Mikroskopie der zu untersuchenden Probe abzubilden.

    摘要翻译： 本发明涉及一种装置和用于样品的探针显微镜检查用于扫描探针显微镜的方法，特别是。 该装置包括探针显微镜装置，包括：用于接收一个待检查样品，探针和位移单元，配置成移动所述样品，所述样品保持器和相对于彼此的探针的探针显微镜检查，和冷凝器的灯光和所述冷凝器的样品贮 其被配置为输出由所述冷凝器中的冷凝器的冷凝器光与与该冷凝器光由聚光发射在样本容器的区域来映射用于测试样品的光学显微镜Kondensorlichtparametern的至少部分维持下游的光学系统。

    走査型プローブ顕微鏡
    8.
    发明申请
    走査型プローブ顕微鏡 审中-公开
    扫描探针显微镜

    公开(公告)号：WO2014017326A1

    公开(公告)日：2014-01-30

    申请号：PCT/JP2013/069199

    申请日：2013-07-12

    申请人： オリンパス株式会社

    发明人： 酒井　信明 ,  植草　良嗣

    IPC分类号： G01Q30/14

    CPC分类号： G01Q10/00 ,  G01Q20/02 ,  G01Q30/025 ,  G01Q30/14

    摘要： 　走査型プローブ顕微鏡のプローブ顕微鏡ヘッド１０は、カンチレバーチップ１を互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸に沿って走査する走査機構１１と、液体に接触して配置される光学透過板２０を備えている。光学透過板２０は、カンチレバーチップ１のカンチレバーの変位を検出するための検出光を透過し、走査機構１１によって走査されない。

    摘要翻译： 扫描探针显微镜的探针显微镜头（10）设置有扫描机构（11），其沿着X轴，Y轴和Z轴正交地扫描悬臂芯片（1） 彼此; 和与液体接触的光传输板（20）。 光传输板（20）使得用于检测悬臂式芯片（1）的悬臂的位移的检测光透过，并且不被扫描机构（11）扫描。