公开(公告)号：WO2007030365A2

公开(公告)日：2007-03-15

申请号：PCT/US2006/033778

申请日：2006-08-29

Applicant: THE BOEING COMPANY ,  ENGLUND, Norman, J. ,  BOHR, Gerard, V.

Inventor： ENGLUND, Norman, J. ,  BOHR, Gerard, V.

IPC: G05B19/19

CPC classification number: G05B19/19 ,  G05B2219/42083 ,  G05B2219/42087 ,  G05B2219/42092

Abstract: A force control system (50, 300) for actuation of a test object (54, 304) includes a force actuator (52, 356) that is coupled to and applies a force on the test object (54, 304). A velocity signal generator (124, 310) is in a feedback configuration relative to the force actuator and generates a velocity signal (150, 324) that is indicative of the velocity of the test object (54, 304). A controller (62, 302) is coupled to the force actuator (52, 356) and to the velocity signal generator (124, 310) and generates a desired applied force signal (130, 380) in response to the velocity signal (150, 324).

Abstract translation: 用于致动测试对象（54,304）的力控制系统（50,300）包括与所述测试对象（54,304）上的力耦合并施加力的力致动器（52,356）。 速度信号发生器（124,310）相对于力致动器处于反馈构造，并产生指示测试对象（54,304）的速度的速度信号（150,324）。 控制器（62,302）联接到力致动器（52,356）和速度信号发生器（124,310），并响应于速度信号（150,380）产生期望的施加力信号（130,380） 324）。

公开(公告)号：WO2004055607A2

公开(公告)日：2004-07-01

申请号：PCT/IB2003/005935

申请日：2003-12-15

Applicant: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. ,  VAN EIJK, Jan ,  BAKKER, Arjan, F. ,  BOS, Dennis, E. ,  COMPTER, Johan, C. ,  DE KLERK, Angelo, C., P. ,  ROES, Franciscus, M. ,  VROOMEN, Hubert, G., J., J., A. ,  WARMERDAM, Thomas, P., H.

Inventor： VAN EIJK, Jan ,  BAKKER, Arjan, F. ,  BOS, Dennis, E. ,  COMPTER, Johan, C. ,  DE KLERK, Angelo, C., P. ,  ROES, Franciscus, M. ,  VROOMEN, Hubert, G., J., J., A. ,  WARMERDAM, Thomas, P., H.

IPC: G05B19/00

CPC classification number: F16C32/0472 ,  F16C32/0444 ,  G05B2219/41327 ,  G05B2219/42092 ,  G05B2219/49276 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/20278 ,  H01J2237/3175 ,  H02K11/22 ,  H02K41/031

Abstract: A apparatus processes an object (19), such as a semi-conductor wafer at accurately controlled positions. The object (19) is supported by a working platform (12) that is moveable along a path. A suspension actuator part (14) attached to the working platform (12), contains a soft magnetic core (24) with poles facing the surface of a soft magnetic element (34) on the support structure along the path and a winding (20) for application of a current to generate a magnetic field that runs through the core (24) via the poles and returns via the soft magnetic element (34). A sensor (17) senses a measured position of the suspension actuator part (14) relative to the position reference element (16). A control circuit comprises an outer control circuit (40) and an inner control circuit (42). The outer control circuit (40) receives a sensing result and determines force set point information to regulate the measured position of the actuator part (14) to a required value. The inner control circuit (42) receives the force set point information and controls the current to realize a force between the actuator part (14) and the support structure (10) according to the force set point information.

Abstract translation: 一种设备在精确控制的位置处理诸如半导体晶片的物体（19）。 物体（19）由可沿着路径移动的工作平台（12）支撑。 安装在工作平台（12）上的悬架致动器部件（14）包含一个软磁芯（24），该软磁芯（24）具有面向沿该路径的支撑结构上的软磁元件（34）表面的磁极和一个绕组（20） 用于施加电流以产生通过所述磁极穿过所述磁芯（24）并经由所述软磁元件（34）返回的磁场。 传感器（17）相对于位置参考元件（16）感测悬架致动器部件（14）的测量位置。 控制电路包括外部控制电路（40）和内部控制电路（42）。 外部控制电路（40）接收感测结果并且确定力设定点信息以将致动器部件（14）的测量位置调节到所需值。 内部控制电路（42）接收力设定点信息并根据力设定点信息控制电流以实现致动器部件（14）和支撑结构（10）之间的力。

公开(公告)号：WO2009015789A1

公开(公告)日：2009-02-05

申请号：PCT/EP2008/005918

申请日：2008-07-18

Applicant: MATEC MASCHINENBAU GMBH ,  UNGER, Erich

Inventor： UNGER, Erich

IPC: G05B19/19 ,  B23K20/12

CPC classification number: G05B19/19 ,  B23K20/123 ,  B23K20/125 ,  G05B2219/42092 ,  G05B2219/42263 ,  G05B2219/45146

Abstract: Die Erfindung betrifft eine numerisch gesteuerte Werkzeugmaschine (10) mit mindestens fünf angetriebenen Maschinenachsen zur Positionierung und Orientierung eines Werkzeugs (18) der Werkzeugmaschine (10) relativ zu einem durch das Werkzeug (18) zu bearbeitenden Werkstück (16) und einem von einer Steuerung zur Einstellung der Maschinenachsenpositionen und einer gegebenenfalls vorhandenen Steuerung oder Regelung eines Hauptantriebs separaten geschlossenen Regelkreis, welcher einen unabhängig von den Maschinenachsen und dem gegebenenfalls vorhandenen Hauptantrieb betätigbaren Aktuator (24) zum Bewegen des Werkzeugs (18) relativ zu dem Werkstück (16) und einen Sensor (38) zum Erfassen des Istwerts einer bearbeitungsrelevanten Regelgröße umfasst und dazu dient, die Regelgröße durch Betätigung des Aktuators (24) auf einen vorgegebenen Sollwert zu regeln. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Bearbeitung eines Werkstücks (16) mittels eines Werkzeugs (18) einer numerisch gesteuerten Werkzeugmaschine (10).

Abstract translation: 本发明涉及一种数控机床（10）具有至少五个从动机器轴用于机床的刀具（18）的定位和定向工件的相对（10），以通过工具（18）（16）和一个控制用于被加工成一个 设置机器的轴位置，和主驱动器的任何现有的控制一个分离的闭合回路，用于移动所述工具（18）相对于工件（16）和一传感器，其可操作独立的机轴和任选存在的主要驱动促动器（24）（ 38）用于检测受控变量相关处理的实际值和由致动器（24）的致动服务的受控变量，以调节到预定的目标值。 本发明还涉及一种用于通过数控机床（10）的工具（18）的装置处理工件（16）的方法。

公开(公告)号：WO2002071161A1

公开(公告)日：2002-09-12

申请号：PCT/US2002/004418

申请日：2002-02-14

Applicant: HUDSON-SHARP MACHINE COMPANY

Inventor： ELLSWORTH, David, W. ,  POWELL, Larry, J. ,  LABER, David, I.

IPC: G05B11/06

CPC classification number: G05B19/39 ,  B29C65/18 ,  B29C66/81457 ,  B29C66/8223 ,  B29C66/8246 ,  B29C66/8322 ,  B29C66/92211 ,  B29C66/961 ,  B29L2031/7148 ,  G05B2219/42092

Abstract: A system for maintaining a desired sealing force is provided, which incorporates a closed loop control system. The system includes a platen (18), which has a surface for making contact with one or more items to be sealed, a motor (14) for producing a linear movement, a linkage (20) coupled to the platen (18) and the motor (14) for transferring the linear movement produced by the motor (14) to the platen (18), and a transducer (22) coupled between the linkage (20) and the platen (18) for measuring the force applied to the platen (18) via the linkage (20) through the linear movement of the motor (14) and producing a signal representative of the force measured. A motor controller (12) produces a motor control signal, which is supplied to the motor (14) for controlling the same. The motor control signal is used to control the linear movement produced by the motor (14). The motor controller (12) further receives the feedback signal from the transducer (22), and correspondingly adjusts the value of the control signal used to control the magnitude of the linear movement.

Abstract translation: 提供了一种用于保持期望的密封力的系统，其包括闭环控制系统。 该系统包括压板（18），其具有用于与要密封的一个或多个物品接触的表面，用于产生线性运动的马达（14），联接到压板（18）的联动装置（20） 用于将由电动机（14）产生的线性运动传递到压板（18）的电动机（14）和耦合在联动装置（20）和压板（18）之间的换能器（22），用于测量施加到压板 （18）通过所述连杆（20）通过所述马达（14）的线性运动，并且产生表示所测量的力的信号。 电动机控制器（12）产生电动机控制信号，供给电动机（14）进行控制。 马达控制信号用于控制马达（14）产生的线性运动。 马达控制器（12）进一步接收来自换能器（22）的反馈信号，并且相应地调节用于控制线性运动幅度的控制信号的值。

公开(公告)号：WO2015040238A1

公开(公告)日：2015-03-26

申请号：PCT/EP2014/070222

申请日：2014-09-23

Applicant: INSTITUT NATIONAL DES SCIENCES APPLIQUEES DE RENNES ,  INSTITUT MAUPERTUIS

Inventor： GUILLO, Mario ,  DUBOURG, Laurent ,  COURTEILLE, Eric ,  MAURINE, Patrick

IPC: G05B19/18 ,  B25J9/16 ,  G05D15/01

CPC classification number: G05B19/18 ,  B25J9/1633 ,  G05B2219/39319 ,  G05B2219/39529 ,  G05B2219/42092

Abstract: L'invention concerne un procédé et un dispositif de réglage d'un système mécanique actionné (ROB), dans lequel on met en œuvre une commande en boucle fermée du système mécanique actionné par rapport à une grandeur physique délivrée par au moins un capteur (CAP). Suivant l'invention, au cours d'une première étape d'identification, on sélectionne selon un premier réglage du contrôleur (CONT2) une première fonction de transfert PID, au cours d'une deuxième étape, on détermine une deuxième fonction (G) de transfert, donnant la valeur mesurée (Fm) en fonction de la grandeur (ΔXd) de déplacement ayant été calculée au cours de la première étape, au cours d'une troisième étape, on sélectionne selon un deuxième réglage du contrôleur (CONT2) une loi de commande du deuxième contrôleur (CONT2), déterminée à partir au moins de la deuxième fonction (G) de transfert pour donner la grandeur (ΔXd) de déplacement présente sur la deuxième sortie (S2).

Abstract translation: 本发明涉及一种用于调节致动机械系统（ROB）的方法和装置，其中致动的机械系统的闭环控制相对于由至少一个传感器（CAP）发出的物理量来实现。 根据本发明，在第一识别步骤中，根据控制器（CONT2）的第一调整选择第一传递函数PID，在第二步骤期间，确定第二传递函数（G），给出测量值 （Fm），基于在第一步骤期间计算出的移动量（＆Dgr; Xd），在第三步骤期间，根据控制器的第二调整来选择第二控制器（CONT2）的控制规则 （CONT2），所述定律至少从第二传递函数（G）确定，以给出存在于第二输出（S2）上的移动量（＆Dgr; Xd）。

公开(公告)号：WO2013008518A1

公开(公告)日：2013-01-17

申请号：PCT/JP2012/061261

申请日：2012-04-26

Applicant: 富士機械製造株式会社 ,  名桐 啓祐 ,  藤田 政利 ,  永田 良

Inventor： 名桐　啓祐 ,  藤田　政利 ,  永田　良

IPC: H05K13/04 ,  B23P19/02

CPC classification number: B23P19/02 ,  G01L5/0038 ,  G05B19/19 ,  G05B2219/42092 ,  G05B2219/45143

Abstract: 　可動体１１の先端部１１ａが加圧対象物１４に衝突したときの圧電素子１５の出力信号（衝撃力の検出信号）から低周波帯域信号抽出フィルタ１６で低周波帯域の信号成分を抽出することで、可動体１１の先端部１１ａに加わる衝撃力の大きさを抽出し、フィードバック制御部１７によってアクチュエータ１３の駆動力（加圧対象物１４に対する可動体１１の加圧力）を加圧力指令に一致させるようにフィードバック制御する。更に、圧電素子１５の出力信号（衝撃力の検出信号）から高周波帯域信号抽出フィルタ１８で抽出した高周波帯域の信号成分に基づいて可動体１１の先端部１１ａが加圧対象物１４に衝突したときの衝撃力を緩和するように圧電素子１５の駆動電圧を衝撃緩和制御部１９によって制御する。

Abstract translation: 使用低频带信号提取滤波器（16），当从压电元件（15）的顶部（11a）输出时，从压电元件（15）输出的信号（冲击力检测信号）中提取低频带信号元件 移动体（11）与要加压的物体（14）碰撞，以便提取施加到移动体（11）的顶端部分（11a）的冲击的强度; 并且反馈控制单元（17）执行反馈控制，使得致动器（13）的驱动力（由移动体（11）施加到待加压物体的压力（14））与施加的压力指令相匹配。 此外，冲击缓解控制单元（19）调节压电元件（15）的驱动电压，以便减轻由移动体（11）的顶端部分（11a）与该移动体（11）的碰撞产生的冲击力与 基于从使用高频带信号提取滤波器的压电元件（15）的输出信号（冲击力检测信号）中提取的高频带信号元素，加压对象（14） 18）。

公开(公告)号：WO2007030365A3

公开(公告)日：2007-05-03

申请号：PCT/US2006033778

申请日：2006-08-29

Applicant: BOEING CO ,  ENGLUND NORMAN J ,  BOHR GERARD V

Inventor： ENGLUND NORMAN J ,  BOHR GERARD V

IPC: G05B19/19

CPC classification number: G05B19/19 ,  G05B2219/42083 ,  G05B2219/42087 ,  G05B2219/42092

Abstract: A force control system (50, 300) for actuation of a test object (54, 304) includes a force actuator (52, 356) that is coupled to and applies a force on the test object (54, 304). A velocity signal generator (124, 310) is in a feedback configuration relative to the force actuator and generates a velocity signal (150, 324) that is indicative of the velocity of the test object (54, 304). A controller (62, 302) is coupled to the force actuator (52, 356) and to the velocity signal generator (124, 310) and generates a desired applied force signal (130, 380) in response to the velocity signal (150, 324).

Abstract translation: 用于致动测试对象（54,304）的力控制系统（50,300）包括力传感器（52,356），其与测试对象（54,304）耦合并施加力。 速度信号发生器（124,310）相对于力致动器处于反馈配置并且生成指示测试对象（54,304）的速度的速度信号（150,324）。 控制器（62,302）耦合到力致动器（52,356）和速度信号发生器（124,310）并且响应于速度信号（150,350）产生期望的施加的力信号（130,380） 324）。

公开(公告)号：WO2005109139A1

公开(公告)日：2005-11-17

申请号：PCT/JP2004/010335

申请日：2004-07-21

Applicant: 学校法人慶應義塾 ,  大西公平 ,  北島政樹 ,  森川康英 ,  小澤壮治 ,  古川俊治 ,  村上俊之 ,  中澤和夫 ,  飯田亘 ,  矢野智子

Inventor： 大西公平 ,  北島政樹 ,  森川康英 ,  小澤壮治 ,  古川俊治 ,  村上俊之 ,  中澤和夫 ,  飯田亘 ,  矢野智子

IPC: G05D3/12

CPC classification number: G05B19/19 ,  G05B2219/41384 ,  G05B2219/42092

Abstract: 　高い周波数帯域での応答性能を向上させ、繊細な作業を実現することを可能とする。 　マスタ１側とスレーブ３側にそれぞれ位置検出器をそれぞれ設け、位置検出器の出力に基づき反力オブザーバ２，４により、マスタ側の操作部が受ける反力および、スレーブ側の対象物が受ける反力を推定する。位置制御部５は位置検出器が出力する位置信号に基づき、マスタ側およびスレーブ側の位置を制御するための加速度信号ａ pm ，ａ ps に生成する。操作力制御部６は、マスタ側とスレーブ側に加わる力を制御するための加速度信号ａ fm ，ａ fs を生成する。加速度合成部７は、上記加速度信号ａ pm ，ａ ps 、加速度信号ａ fm ，ａ fs を合成してマスタ側とスレーブ側の駆動信号を出力する。

Abstract translation: 可以提高高频段的响应性能，实现精细的工作。 位置检测器布置在主机（1）的侧面和从机（3）侧。 根据位置检测器的输出，反作用力观察者（2,4）估计施加到主侧的操作部和从侧的物体的反作用力。 根据从位置检测器输出的位置信号，位置控制部（5）产生用于控制主机侧和从侧的位置的加速度信号a pm，ps。 操作力控制部（6）生成用于控制施加到主侧和从侧的力的加速度信号a fm，a fs。 加速度组合部分（7）将加速度信号a pm，a ps和加速度信号a fm，a fs组合，并输出主机侧和从机侧的驱动信号。

公开(公告)号：WO2004055607A3

公开(公告)日：2004-12-16

申请号：PCT/IB0305935

申请日：2003-12-15

Applicant: KONINKL PHILIPS ELECTRONICS NV ,  VAN EIJK JAN ,  BAKKER ARJAN F ,  BOS DENNIS E ,  COMPTER JOHAN C ,  DE KLERK ANGELO C P ,  ROES FRANCISCUS M ,  VROOMEN HUBERT G J J A ,  WARMERDAM THOMAS P H

Inventor： VAN EIJK JAN ,  BAKKER ARJAN F ,  BOS DENNIS E ,  COMPTER JOHAN C ,  DE KLERK ANGELO C P ,  ROES FRANCISCUS M ,  VROOMEN HUBERT G J J A ,  WARMERDAM THOMAS P H

IPC: F16C39/06 ,  G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H01J37/20 ,  H01J37/317 ,  H01L21/68 ,  H02K11/00 ,  H02K41/03

CPC classification number: F16C32/0472 ,  F16C32/0444 ,  G05B2219/41327 ,  G05B2219/42092 ,  G05B2219/49276 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/20278 ,  H01J2237/3175 ,  H02K11/22 ,  H02K41/031

Abstract: A apparatus processes an object (19), such as a semi-conductor wafer at accurately controlled positions. The object (19) is supported by a working platform (12) that is moveable along a path. A suspension actuator part (14) attached to the working platform (12), contains a soft magnetic core (24) with poles facing the surface of a soft magnetic element (34) on the support structure along the path and a winding (20) for application of a current to generate a magnetic field that runs through the core (24) via the poles and returns via the soft magnetic element (34). A sensor (17) senses a measured position of the suspension actuator part (14) relative to the position reference element (16). A control circuit comprises an outer control circuit (40) and an inner control circuit (42). The outer control circuit (40) receives a sensing result and determines force set point information to regulate the measured position of the actuator part (14) to a required value. The inner control circuit (42) receives the force set point information and controls the current to realize a force between the actuator part (14) and the support structure (10) according to the force set point information.

Abstract translation: 装置在准确控制的位置处处理诸如半导体晶片的物体（19）。 物体（19）由可沿着路径移动的工作平台（12）支撑。 附接到工作平台（12）的悬架致动器部件（14）包含软磁芯（24），其具有面向支撑结构上沿着该路径的软磁元件（34）的表面的极和绕组（20） 用于施加电流以产生磁场，该磁场经由磁极穿过磁芯（24）并经由软磁元件（34）返回。 传感器（17）感测悬架致动器部件（14）相对于位置参考元件（16）的测量位置。 控制电路包括外部控制电路（40）和内部控制电路（42）。 外部控制电路（40）接收感测结果并确定力设定点信息以将致动器部分（14）的测量位置调节到所需值。 内部控制电路（42）接收力设定点信息并根据力设定点信息控制电流以实现致动器部分（14）与支撑结构（10）之间的力。

公开(公告)号：WO1995010076A1

公开(公告)日：1995-04-13

申请号：PCT/US1994011161

申请日：1994-09-30

Applicant: OMAX CORPORATION ,  OLSEN, John, H.

Inventor： OMAX CORPORATION

IPC: G05B19/18

CPC classification number: B26F3/004 ,  B26D5/00 ,  G05B19/237 ,  G05B19/258 ,  G05B19/298 ,  G05B19/416 ,  G05B2219/34097 ,  G05B2219/34098 ,  G05B2219/34221 ,  G05B2219/35002 ,  G05B2219/35097 ,  G05B2219/35132 ,  G05B2219/36308 ,  G05B2219/36568 ,  G05B2219/41186 ,  G05B2219/41384 ,  G05B2219/41408 ,  G05B2219/42072 ,  G05B2219/42092 ,  G05B2219/43162 ,  G05B2219/45036 ,  G05B2219/49369 ,  G05B2219/50207

Abstract: A system for controlling motion of machine tools and industrial robots. From the specification of a part to be cut or a path to be followed by a machine tool or robot, the system calculates for each axis, for each incremental step along the path, a position command (69), a time delay between successive position commands, and, optionally, a force command (68) based on a prediction of predicted resistive forces. Calculations are specified for precisely controlling velocity, acceleration, and jerk. The generated data is stored in a memory device and subsequently directed to the machine tool or robot.

Abstract translation: 一种用于控制机床和工业机器人运动的系统。 从要切割的部件的规格或机床或机器人遵循的路径，系统针对沿着路径的每个增量步长计算每个轴，位置指令（69），连续位置之间的时间延迟 命令和可选地基于预测的阻力的预测的力命令（68）。 规定精确控制速度，加速度和加加速度的计算。 生成的数据被存储在存储设备中，并且随后指向机床或机器人。