Abstract:
A 400 Gb/s transmitter is integrated on a silicon substrate. The transmitter uses four gain chips, sixteen lasers, four modulators to modulate the sixteen lasers at 25 Gb/s, and four multiplexers to produce four optical outputs. Each optical output can transmit at 100 Gb/s to produce a 400 Gb/s transmitter. Other variations are also described.
Abstract:
In mindestens einer Ausführungsform ist das Verfahren zur Herstellung von optoelektronischen Halbleiterchips (10) eingerichtet und umfasst die Schritte: A) Bereitstellen eines Trägerverbunds (11), der ein Saphirwafer ist, B) Aufbringen einer Halbleiterschichtenfolge (2) auf den Trägerverbund (11), und C) Zerteilen des Trägerverbunds (11) und der Halbleiterschichtenfolge (2) zu den einzelnen Halbleiterchips (10). Der Schritt C) umfasst hierbei: D) Erzeugen je einer Vielzahl von selektiv ätzbaren Materialveränderungen in dem Trägerverbund (11) in Trennbereichen(s)durch eine fokussierte, gepulste Laserstrahlung (L), wobei die Laserstrahlung (L) eine Wellenlänge aufweist, bei der der Trägerverbund (11) transparent ist, und E) nasschemisches Ätzen der Materialveränderungen, sodass der Trägerverbund (11) zu einzelnen Trägern (1) für die Halbleiterchips (2) alleine durch das nasschemisches Ätzen oder in Kombination mit einem weiteren Materialabtrageverfahren vereinzelt wird.
Abstract:
A single-mode, etched facet distributed Bragg reflector laser includes an A1GalnAs/InP laser cavity (70), a front mirror stack (32) with multiple Fabry-Perot elements (60, 62, 64, 66), a rear DBR reflector (68), and rear detector. The front mirror stack elements and the rear reflector elements include input and output etched facets (72, 76), and the laser cavity is an etched ridge cavity, all formed from an epitaxial wafer (30) by a two-step lithography and CAIBE process.
Abstract:
The present invention is a semiconductor structure for light emitting devices that can emit in the red to ultraviolet portion of the electromagnetic spectrum. The structure includes a first n-type cladding layer of AlxInyGa1-x-yN, where 0
Abstract translation:本发明是一种能够在电磁光谱的红色至紫外部分发射的发光器件的半导体结构。 该结构包括Al x In y Ga 1-x-y N的第一n型包覆层,其中0 <= x <= 1且0 <= y <1且(x + y)<= 1; Al x In y Ga 1-x-y N的第二n型包覆层,其中0 <= x <= 1且0 <= y <1且(x + y)<= 1,其中第二n型包覆层进一步表征 基本上没有镁; 在具有多个In x Ga 1-x N阱层的多重量子阱形式的第一和第二覆层之间的有效部分,其中0
Abstract:
A quantum well active layer is doped with oxygen. TMG, TMI, O2, and NH3 are supplied over an n-type GaN light guide layer (405) at flow rates of 10 sccm, 30 sccm, 20 sccm, and 10 slm, respectively, and an n-type In0.02Ga0.98N barrier layer (550) of 10 nm thickness is formed. The flow rate of TMI is increased to 50 sccm, and an undoped In0.2Ga0.8N well layer (553) of 3 nm thickness is formed. This step is repeated three cycles. Thereafter, an n-type In0.02Ga0.98N barrier layer (550) is formed. Over the thus formed multiple quantum well structure active layer (420), TMG, TMA, (EtCp)2Mg as impurities, and NH3 are supplied at flow rates of 15 sccm, 5 sccm, 5 sccm, and 10 slm, and a p-type Al0.2Ga0.8N cap layer (407) of 20 nm thickness is formed.